ویفر کاربید سیلیکون چاک

Vetek نیمه هادی سیلیکون کاربید ویفر چاک از خواص عالی مواد کاربید سیلیکون برای برآورده کردن نیازهای دقیق تولید نیمه هادی ، به ویژه در پردازش نیمه هادی که نیاز به دقت و قابلیت اطمینان بسیار بالا دارد ، استفاده می کند.

در فرآیند پردازش نیمه هادی ،کاربید سیلیکونمقاومت در برابر دمای بالا عالی (می تواند تا حداکثر 1400 درجه سانتیگراد پایدار باشد) ، هدایت کم (SIC دارای هدایت نسبتاً کم ، به طور معمول 10^^-3S/M) و ضریب انبساط حرارتی کم (حدود 10 × 4.0^^-6/° C) ، که یک ماده ضروری و مهم است ، به ویژه برای ساخت چاک ویفر کاربید سیلیکون مناسب است.

در طولروند رشد اپیتاکسیال، یک لایه نازک از مواد نیمه هادی روی یک بستر قرار می گیرد و برای اطمینان از لایه های رسوب فیلم یکنواخت و با کیفیت بالا ، به ثبات مطلق از ویفر نیاز دارد. خلاء SIC با ایجاد یک خلاء محکم و سازگار برای جلوگیری از هرگونه حرکت یا تغییر شکل ویفر ، این امر را به دست می آورد.

ویفر ویفر کاربید سیلیکون همچنین مقاومت بسیار خوبی در برابر شوک حرارتی ارائه می دهد. تغییرات سریع درجه حرارت در تولید نیمه هادی متداول است و موادی که نمی توانند در برابر این نوسانات مقاومت کنند ممکن است شکسته ، خم یا شکست بخورند. کاربید سیلیکون ضریب گسترش حرارتی کم دارد و می تواند شکل و عملکرد خود را حتی در تغییر دمای شدید حفظ کند ، و اطمینان حاصل کند که ویفر در طی فرآیند اپیتاکس بدون حرکت یا سوء استفاده ایمن است.

علاوه بر این ،فرآیند epitaxyاغلب شامل گازهای واکنشی و سایر مواد شیمیایی خورنده است. عدم تحرک شیمیایی چاک ویفر SIC تضمین می کند که تحت تأثیر این محیط های سخت قرار نمی گیرد ، عملکرد آن را حفظ می کند و عمر خدمات خود را گسترش می دهد. این دوام شیمیایی نه تنها فرکانس جایگزینی ویفر چاک را کاهش می دهد ، بلکه عملکرد محصول مداوم را نیز نسبت به چرخه های تولیدی چندگانه تضمین می کند ، و به بهبود کارایی کلی و مقرون به صرفه بودن فرآیند تولید نیمه هادی کمک می کند.

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده پیشرو و تأمین کننده محصولات Wafer Carbide Carbide Chuck در چین است. ما می توانیم انواع مختلفی از محصولات چاک مانندچاک سرامیکی متخلخل, خلاء متخلخل, خلاء سرامیکی متخلخلوتچاک روکش شده تاک، و غیره. نیمه هادی Vetek متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است. ما صمیمانه امیدواریم که شریک بلند مدت شما در چین باشیم.

داده های SEM از CVDساختار کریستالی فیلم sic：

Vetek نیمه هادی سیلیکون کاربید ویفر مغازه های چاک：