VeTek Semiconductor گرافیت ویژه ای مانند گرافیت سیلیکونی شده، کربن پیرولیتیک، گرافیت متخلخل، پوشش کربن شیشه ای، ورق گرافیت با خلوص بالا و گرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا، انواع مختلفی از مواد گرافیت ویژه هستند که ویژگی ها و کاربردهای مشترکی دارند. در اینجا به معرفی مختصری از ویژگی ها و کاربردهای آنها می پردازیم:
● گرافیت سیلیکونی شده: گرافیت سیلیکونی شده یک ماده گرافیتی ویژه است که از ترکیب گرافیت با ترکیبات سیلیکونی تشکیل می شود. مقاومت بسیار خوبی در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی و خواص مکانیکی از خود نشان می دهد. گرافیت سیلیکونی شده معمولاً در کوره های با دمای بالا، تجهیزات مقاوم در برابر خوردگی و ساخت نیمه هادی ها استفاده می شود.
● کربن پیرولیتیک: کربن پیرولیتیک یک ماده کربنی است که از تجزیه در حرارت بالا مواد آلی مانند زغال سنگ و کک نفتی به دست می آید. دارای خلوص، چگالی، استحکام و هدایت الکتریکی کم است. کربن پیرولیتیک کاربردهای گسترده ای به عنوان مواد با دمای بالا و اجزای ساختاری در نیمه هادی ها، تجهیزات شیمیایی، هوافضا و سایر زمینه ها پیدا می کند.
● گرافیت متخلخل: گرافیت متخلخل یک ماده گرافیت خاص با ساختارهای میکرو و مزوپور است. دارای سطح ویژه و تخلخل بزرگ است و خاصیت جذب عالی و هدایت حرارتی را ارائه می دهد. گرافیت متخلخل معمولاً در جداسازی گاز، رشد کریستال SiC و سایر کاربردها استفاده می شود.
● پوشش کربن شیشه ای: پوشش کربن شیشه ای به تکنیک اعمال مواد کربن شیشه ای به عنوان پوشش سطحی اشاره دارد. مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و هدایت الکتریکی فوق العاده ای از خود نشان می دهد. پوششهای کربن شیشهای اغلب در پوششهای مقاوم در برابر خوردگی، مواد پوششی برای E-Beam Gun و سایر زمینههای نیمهرسانا استفاده میشوند.
● گرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا: گرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا یک ماده گرافیت ویژه با خلوص بالا است که از طریق فرآیند پرس ایزواستاتیک با دمای بالا تهیه می شود. دارای ریزساختار یکنواخت، چگالی بالا و محتوای اکسیژن کم است. گرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا به طور گسترده در ماشینکاری دقیق، مواد اتلاف حرارت، تولید نیمه هادی ها، فتوولتائیک، هوافضا و سایر صنایع استفاده می شود.
کاغذ گرافیتی با خلوص بالا یک ماده تخصصی است که در صنعت نیمه هادی استفاده می شود. با هدایت حرارتی و الکتریکی استثنایی خود، نقش حیاتی در کاربردهایی مانند سینک های حرارتی، مواد رابط حرارتی و عایق الکتریکی ایفا می کند. ماهیت سبک و انعطاف پذیر کاغذ گرافیتی با خلوص بالا، آن را برای بهبود مدیریت حرارتی و بهینه سازی عملکرد دستگاه های نیمه هادی ایده آل می کند. خلوص بالای آن (ناخالصی زیر 5ppm) عملکرد قابل اعتماد و کارآمد را تضمین می کند و آن را به یک جزء ارزشمند در ساخت و مونتاژ نیمه هادی ها تبدیل می کند.
این مواد گرافیتی ویژه خواص و مزایای کاربردی منحصر به فردی را در زمینه های مربوطه ارائه می دهند. آنها نقش مهمی در محیطهای با دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، الکترونیک، انرژی، مهندسی شیمی، هوافضا و صنایع نیمهرسانا ایفا میکنند و از پیشرفتها و نوآوریها در این بخشها پشتیبانی میکنند.
ویژگی های کلیدی
● گزینه های خلوص فوق العاده بالا با سطوح ناخالصی زیر 5 ppm برای فرآیندهای نیمه هادی بحرانی.
● پایداری عالی در دمای بالا و مقاومت در برابر شوک حرارتی مناسب برای رشد کریستال PVT SiC و کوره های خلاء.
● اشکال مواد متنوع: گرافیت ایزواستاتیک، گرافیت متخلخل، گرافیت سیلیکونی، پوشش PyC، پوشش کربن شیشه ای و ورق های گرافیت انعطاف پذیر.
● مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و تخلخل کنترل شده برای مدیریت گاز و کاربردهای میدان حرارتی.
● قابلیت ماشینکاری و پوشش داخلی (SiC / TaC / PyC) که راه حل های سفارشی یک مرحله ای را ممکن می کند.
● سازگار با پلتفرم های عمده تجهیزات نیمه هادی و رشد کریستال.
مشخصات محصول
| پارامتر پوشش کربن پیرولیتیک ( PyC ). |
| مورد |
واحد |
ارزش |
| ساختار کریستالی |
-
|
شش ضلعی |
| تراز |
-
|
جهت یا بدون جهت در جهت 001 |
| چگالی حجیم |
g/cm³ |
~ 2.24 |
| ریزساختار |
-
|
گرافن پلی کریستالی/چند لایه |
| سختی |
GPa |
1.1
|
| مدول الاستیک |
GPa |
10
|
| ضخامت معمولی |
میکرومتر |
30-100 |
| زبری سطح |
میکرومتر |
1.5
|
| خلوص محصول |
ppm |
≤5ppm |
برنامه های کاربردی
برای برآوردن نیازهای متنوع فرآیندهای نیمه هادی و دمای بالا، VeTek محصولات گرافیت خاص را ارائه می دهد. جدول زیر آنها را بر اساس حوزههای کاربردی اصلی طبقهبندی میکند و مواد/اجزای معمولی و فرآیندهای قابل اجرا را فهرست میکند:
| فیلد برنامه |
مواد / محصولات معمولی |
توضیحات برنامه |
| رشد کریستال SiC (PVT) |
گرافیت متخلخل, حلقه گرافیتی با پوشش PyC, بوته گرافیتی ایزواستاتیک, حلقه راهنما
|
مورد استفاده در زمینه های حرارتی رشد کریستال PVT SiC. انتقال بخار کنترل شده، خلوص بالا و پایداری حرارتی تا بیش از 2200 درجه سانتیگراد را فراهم می کند و آلودگی ذرات را کاهش می دهد. |
| اپیتاکسی نیمه هادی / MOCVD |
بخاری ها, قطعات پوشش داده شده با کربن شیشه ای PyC/
|
اجزای میدان حرارتی با خلوص بالا برای سیستمهای اپیتاکسی Si/SiC/GaN و MOCVD. یکنواختی درجه حرارت عالی و بی اثری شیمیایی. |
| کوره های با دمای بالا و خلاء |
بخاری های گرافیتی, بوته گرافیتی سه گلبرگ
|
مواد مقاوم در برابر خوردگی و از نظر حرارتی پایدار برای کوره های خلاء، بخاری های منطقه گرم و تجهیزات پردازش در دمای بالا. |
| مدیریت حرارتی |
نمد گرافیت با خلوص بالا, کاغذ گرافیتی
|
ورق های انعطاف پذیر با هدایت حرارتی/الکتریکی بالا برای سینک های حرارتی، مواد رابط حرارتی و عایق الکتریکی در دستگاه های نیمه هادی (ناخالصی کمتر از 5 ppm). |
| محافظت در برابر خوردگی / سایش |
پوشش کربن شیشه ای، گرافیت سیلیکونی |
پوششهای سطحی و مواد حجیم با مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و هدایت الکتریکی برای تفنگهای E-beam و محیطهای خشن ارائه میدهند. |
| جداسازی و جذب گاز |
گرافیت متخلخل
|
ساختار میکرو / مزوپور با سطح ویژه بزرگ برای جداسازی گاز، فیلتراسیون و کاربردهای جوی کنترل شده. |
برای جزئیات بیشتر راه حل های تطبیق محصول و فرآیند، لطفاً به صفحات زیرمجموعه مربوطه مراجعه کنید:گرافیت متخلخل, گرافیت ایزوتروپیک, پوشش کربن پیرولیتیکو غیره
به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده گرافیت ویژه حرفه ای در چین، ما کارخانه خود را داریم. چه به خدمات سفارشی برای رفع نیازهای خاص منطقه خود نیاز داشته باشید و چه بخواهید گرافیت ویژه پیشرفته و بادوام ساخت چین را خریداری کنید، می توانیدبرای ما پیام بگذارید.
