عنصر گرمایش پوشش CVD SIC

عنصر گرمایش پوشش CVD SIC عمدتاً در تجهیزات PVD (رسوب بخار فیزیکی) استفاده می شود. در فرآیند تبخیر ، مواد برای دستیابی به تبخیر یا لکه دار شدن گرم می شوند و در نهایت یک فیلم نازک یکنواخت روی بستر شکل می گیرد.

ⅰکاربرد خاص

رسوب فیلم نازک: عنصر گرمایش پوشش CVD SIC در منبع تبخیر یا منبع لکه دار استفاده می شود. با گرمایش ، این عنصر ماده ای را که به دمای بالا رسوب می شود گرم می کند ، به طوری که اتمها یا مولکول های آن از سطح مواد جدا می شوند و در نتیجه بخار یا پلاسما تشکیل می شوند. پوشش SIC مبتنی بر عنصر گرمایش ما همچنین می تواند به طور مستقیم مقداری از مواد فلزی یا سرامیکی را گرم کند تا آنها را در یک محیط خلاء برای استفاده به عنوان منبع ماده در فرآیند PVD تبخیر یا تصویب کند. از آنجا که این سازه دارای شیارهای متمرکز است ، می تواند مسیر فعلی و توزیع گرما را بهتر کنترل کند تا از یکنواختی گرمایش اطمینان حاصل شود.

نمودار شماتیک فرآیند PVD تبخیر

ⅱاصل کار

گرمایش مقاومت ، هنگامی که جریان از مسیر مقاومت بخاری پوشش داده شده SIC عبور می کند ، گرمای ژول ایجاد می شود و از این طریق به اثر گرمایش می رسد. ساختار متمرکز اجازه می دهد تا جریان به طور مساوی توزیع شود. یک دستگاه کنترل دما معمولاً برای نظارت و تنظیم دما به عنصر وصل می شود.

ⅲطراحی مواد و ساختاری

عنصر گرمایش پوشش CVD SIC از گرافیت با خلوص بالا و پوشش SIC برای مقابله با محیط با درجه حرارت بالا ساخته شده است. گرافیت با خلوص بالا به خودی خود به عنوان یک ماده میدانی حرارتی مورد استفاده قرار گرفته است. پس از استفاده از لایه ای از پوشش بر روی سطح گرافیت با روش CVD ، پایداری درجه حرارت بالا ، مقاومت در برابر خوردگی ، راندمان حرارتی و سایر خصوصیات بهبود می یابد.

طراحی شیارهای متمرکز به جریان اجازه می دهد تا یک حلقه یکنواخت را روی سطح دیسک تشکیل دهد. این امر به توزیع حرارت یکنواخت می رسد ، از گرمای بیش از حد موضعی ناشی از غلظت در مناطق خاص جلوگیری می کند ، باعث کاهش گرمای اضافی ناشی از غلظت جریان می شود و در نتیجه راندمان گرمایش را بهبود می بخشد.

عنصر گرمایش پوشش CVD SIC از دو پا و یک بدن تشکیل شده است. هر پا دارای نخ است که به منبع تغذیه متصل می شود. نیمه هادی Vetek می تواند قطعات یک تکه یا قطعات تقسیم شود ، یعنی پاها و بدن به طور جداگانه ساخته می شوند و سپس مونتاژ می شوند. مهم نیست که چه الزامی برای بخاری پوشش داده شده CVD SIC دارید ، لطفاً با ما مشورت کنید. Veteksemi می تواند محصولات مورد نیاز شما را فراهم کند.

خصوصیات بدنی اساسی پوشش CVD Sic