در تولید نیمه هادی، فناوری تصفیه سطح نقش مهمی در افزایش دوام، عملکرد و قابلیت اطمینان اجزا با اصلاح خواص سطحی آنها از طریق روش های پوشش دهی و رسوب گذاری پیشرفته ایفا می کند.
رسوب بخار فیزیکی (PVD)
رسوب فیزیکی بخار PVD یک فرآیند پوشش مبتنی بر خلاء است که لایه‌های نازک را از طریق تبخیر مواد جامد روی لایه‌ها رسوب می‌کند. سختی سطح، مقاومت حرارتی و رسانایی را افزایش می دهد و آن را برای ابزارهای نیمه هادی و اجزای دقیق ضروری می کند.
فناوری پاشش حرارتی نیمه هادی
این تکنیک شامل پاشیدن پودرهای ریز در دمای بالا بر روی سطوح برای ایجاد پوشش های متراکم و محافظ است. به طور قابل توجهی مقاومت در برابر گرما، سایش و خوردگی را در اجزای نیمه هادی حیاتی که در معرض محیط های خشن قرار دارند، افزایش می دهد.
نانوپودر فاز MAX
نانو پودرهای فاز MAX سرامیک های لایه ای با خواص فلزی هستند که استحکام، رسانایی و مقاومت در برابر شوک حرارتی بالایی دارند. آنها برای پوشش های محافظ و کاربردهای نیمه هادی نوظهور که نیاز به پایداری در دمای بالا دارند ایده آل هستند.
ویژگی های کلیدی
- پوشش خلاء PVD: لایه های نازک با دقت بالا با سختی عالی، مقاومت حرارتی، رسانایی و چسبندگی قوی.
- پاشش حرارتی: پوشش های محافظ متراکم با ضخامت قابل کنترل، مقاومت در برابر حرارت / سایش / خوردگی بالا برای محیط های خشن.
- نانوپودر فاز MAX: سرامیک های لایه ای ترکیبی از خواص فلزی و سرامیکی – استحکام بالا، رسانایی و مقاومت در برابر شوک حرارتی.
- دوغاب پرداخت CMP: مسطح سازی شیمیایی-مکانیکی برای صافی سطح نانو در پردازش های نیمه هادی و دقیق.
- راه حل های متمرکز بر کاربرد برای ابزارهای نیمه هادی، بوته های پخت MLCC، اجزای فرآیند و الکترونیک با دمای بالا در حال ظهور.
برنامه های کاربردی
برای پاسخگویی به نیازهای متنوع تولید نیمه هادی و دقیق، VeTek راه حل های هدفمند فناوری تصفیه سطح را ارائه می دهد. جدول زیر آنها را بر اساس فناوری و حوزه های کاربردی اصلی طبقه بندی می کند:
| فناوری / رشته |
محصولات / راه حل های معمولی |
توضیحات برنامه |
| رسوب بخار فیزیکی (PVD) |
پوشش های لایه نازک PVD برای ابزارها و اجزای دقیق |
رسوب گذاری لایه های نازک بر پایه خلاء برای افزایش سختی سطح، مقاومت حرارتی و رسانایی ابزارهای نیمه هادی و قطعات با دقت بالا. |
| پاشش حرارتی نیمه هادی |
پوشش های اسپری حرارتی، پوشش های بوته پخت MLCC |
پاشش پودرها در دمای بالا برای تشکیل پوشش های محافظ متراکم با مقاومت در برابر حرارت، سایش و خوردگی؛ به طور گسترده برای اجزای نیمه هادی و بوته های پخت مواد MLCC استفاده می شود. |
| مواد فاز MAX |
نانو پودر فاز MAX |
سرامیک های لایه ای با خواص فلزی برای پوشش های محافظ و کاربردهای نیمه هادی نوظهور که نیاز به استحکام، رسانایی و مقاومت در برابر شوک حرارتی بالایی دارند. |
| CMP / Planarization |
دوغاب پولیش CMP |
مواد پولیش شیمیایی-مکانیکی برای صافی و کیفیت سطح نانو در ساخت نیمه هادی و پردازش مواد دقیق. |
| حفاظت از اجزا و طول عمر |
پوشش های محافظ PVD و اسپری حرارتی |
اصلاح سطح قطعات حیاتی تجهیزات نیمه هادی برای بهبود دوام، کاهش سایش و افزایش عمر مفید در محیط های فرآیند خشن. |
برای راه حل های مربوط به پوشش و مواد، لطفاً به بخش مراجعه کنیدپوشش کاربید تانتالیوموپوشش سیلیکون کاربیدصفحات
به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای فناوری درمان سطح در چین، ما کارخانه خود را داریم. چه به خدمات سفارشی برای رفع نیازهای خاص منطقه خود نیاز داشته باشید و چه بخواهید فناوری سطح پیشرفته و بادوام ساخت چین را خریداری کنید، می توانیدبرای ما پیام بگذارید.
