نیترید سیلیکونی

1. ثبات شیمیایی عالی

سرامیک های نیترید سیلیکون از ثبات شیمیایی بسیار خوبی برخوردار هستند و می توانند در برابر انواع اسیدهای قوی ، قلیایی و گازهای خورنده مقاومت کنند. در فرآیند تولید نیمه هادی اغلب نیاز به مقابله با مواد شیمیایی خورنده ، سرامیک های نیترید سیلیکون می توانند ضمانت عملکرد پایدار طولانی مدت را ارائه دهند.

2. خصوصیات مکانیکی عالی

سرامیک های نیترید سیلیکون از سختی بالایی ، استحکام فشاری عالی و مقاومت در برابر سایش ، قادر به مقاومت در برابر استرس مکانیکی و سایش سطح ، تغییر شکل یا پارگی آسان نیست. این خاصیت مکانیکی آن را به عنوان ماده ای برای قطعات ساختاری و پردازش در تجهیزات نیمه هادی بسیار مناسب می کند.

3. ثبات درجه حرارت بالا

سرامیک های نیترید سیلیکون می توانند پایداری را در محیط های درجه حرارت بالا حفظ کنند ، نرم شدن یا ذوب آن آسان نیست و می تواند در برابر پردازش و کار با دمای بالا در فرآیند تولید نیمه هادی مقاومت کند. این اجازه می دهد تا در ساخت اجزای کلیدی تجهیزات فرآیند با درجه حرارت بالا ، مانند دستگیره ها ، اجزای محفظه واکنش و غیره استفاده شود.

4. خصوصیات عایق عالی

خواص عایق در ساخت دستگاه نیمه هادی بسیار مهم است. سرامیک های نیترید سیلیکون دارای خواص عایق خوبی هستند ، که می تواند به طور موثر اجزای مدار را از نشت فعلی یا تداخل الکترومغناطیسی محافظت کند و به بهبود ثبات و قابلیت اطمینان دستگاه کمک می کند.

5. هدایت حرارتی و هدایت حرارتی

سرامیک های نیترید سیلیکون دارای هدایت حرارتی بالایی هستند ، می توانند به طور موثری گرمای تولید شده توسط دستگاه را انجام داده و از بین ببرند و به حفظ پایداری دما دستگاه در فرآیند عملیاتی کمک می کنند. این برای عملکرد با کارایی بالا دستگاههای نیمه هادی بسیار مهم است.

1. چاک های الکترواستاتیک و اجزای محفظه اچینگ

سرامیک های نیترید سیلیکون اغلب به دلیل ثبات شیمیایی عالی و مقاومت در برابر دمای بالا ، به عنوان مواد برای چاک های الکترواستاتیک و اجزای محفظه اچینگ در ساخت نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرند. از چاک های الکترواستاتیک برای رفع و تثبیت ویفرها یا بسترها استفاده می شود ، در حالی که از اجزای محفظه اچ برای مقاومت در برابر گازهای خورنده و محیط های درجه حرارت بالا استفاده می شود.

2. صفحات توزیع گاز و بازتابنده

سرامیک نیترید سیلیکون نیز در ساخت تجهیزات نیمه هادی در صفحات توزیع گاز و بازتاب دهنده ها استفاده می شود. صفحات توزیع گاز برای توزیع یکنواخت گازهای واکنشی یا محافظ در محفظه واکنش استفاده می شود ، در حالی که بازتابنده ها برای بهینه سازی توزیع و بازتاب نور در محفظه واکنش برای بهبود راندمان و یکنواختی واکنش استفاده می شوند.

3. دارندگان و اجزای حرارتی

سرامیک های نیترید سیلیکون اغلب به عنوان دارندگان و اجزای مدیریت حرارتی در تجهیزات تولید نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرند. این مؤلفه ها برای اطمینان از عملکرد تجهیزات پایدار و دقت پردازش دستگاه ، باید از استحکام مکانیکی ، مقاومت در برابر سایش و هدایت حرارتی برخوردار باشند.

4. لنت های جلا دادن مکانیکی شیمیایی (CMP)

سرامیک نیترید سیلیکون به طور گسترده ای به عنوان یک ماده پد در فرآیند پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP) مورد استفاده قرار می گیرد. این ماده از صافی و مقاومت در برابر سایش بسیار عالی برخوردار است و می تواند در طی فرآیند پولیش پشتیبانی پایدار داشته باشد تا از صافی و دقت سطح ویفر نیمه هادی اطمینان حاصل شود.