بخاری گرافیتی پوشش سرامیکی سیلیکون

آن نیمه هادی است بخاری گرافیتی پوشش سرامیکی سیلیکونهدایت الکتریکی و حرارتی عالی گرافیت را با مقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت در برابر خوردگی و مقاومت در برابر سایش پوشش سرامیکی کربن سیلیکون ترکیب می کند و برای محیط های تولید نیمه هادی سخت طراحی شده است. 

بخاری گرافیتی پوشش سرامیکی سیلیکونبه طور عمده در تجهیزات پوشش خلاء (تبخیر) استفاده می شود و روش هایی که معمولاً مورد استفاده قرار می گیرد PCD (خشک کردن شیمیایی پلاسما) و PVD (رسوب بخار فیزیکی) است. این محصول نقش مهمی در ارتقاء پیشرفت تکنولوژیکی و بهبود کارآیی تولید در صنعت نیمه هادی داشته است.ما صمیمانه منتظر همکاری بیشتر با شما هستیم.

مواد و ویژگی های ساختاری بخاری گرافیت پوشش سرامیکی سیلیکون به شرح زیر است:

بستر گرافیتی: گرافیت به دلیل هدایت حرارتی بالا و ضریب گسترش حرارتی کم شناخته شده است. این می تواند به سرعت در برابر تغییرات دما پاسخ داده و پایداری ساختاری را در دماهای بالا حفظ کند.

روکش سرامیکی کربن سیلیکون: پوشش SIC از طریق رسوب بخار شیمیایی یا سایر فرآیندهای پیشرفته به طور مساوی روی سطح گرافیت پوشانده می شود. SIC از سختی و مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی بسیار بالایی برخوردار است ، که می تواند از بستر گرافیت در برابر اکسیداسیون درجه حرارت بالا و محیط های خورنده محافظت کند.

طراحی ساختاری محصول ویژه از بخاری گرافیت پوشش سرامیکی سیلیکون تعیین می کندمزایای غیر قابل تعویض محصول این محصول در فرآیند پردازش نیمه هادی:

گرمایش کارآمد و یکنواخت:

هدایت حرارتی: هدایت حرارتی بالا گرافیت ، بخاری را قادر می سازد تا به سرعت دمای مورد نیاز را به دست آورد و حفظ کند ، و پوشش SIC توزیع یکنواخت گرما را تضمین می کند. این امر به ویژه برای فرآیندهای نیمه هادی که نیاز به کنترل دما دقیق دارند ، مانند پردازش سریع حرارتی (RTP) و رسوب بخار شیمیایی (CVD) بسیار مهم است.

یکنواختی دما: از طریق توزیع گرمای یکنواخت ، بخاری گرافیت پوشش سرامیکی سیلیکون می تواند به طور موثری استرس حرارتی و گرادیان دما را کاهش دهد و از قوام و پایداری کیفیت ویفرهای نیمه هادی در طول فرآیند گرمایش اطمینان حاصل کند.

Anti-corrosion protection:

مقاومت شیمیایی: مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی پوشش SIC ، بخاری را قادر می سازد تا به طور پایدار و برای مدت طولانی در محیط های خورنده و شیمیایی کار کند و از آسیب به بستر گرافیت جلوگیری کند. این ویژگی به ویژه در فرایندهایی مانند رسوب بخار شیمیایی (CVD) و رسوب بخار شیمیایی تقویت شده پلاسما (PECVD) بسیار مهم است.

مقاومت در برابر اکسیداسیون: در دماهای بالا ، پوشش SIC می تواند از اکسیداسیون بستر گرافیت جلوگیری کند ، عمر سرویس بخاری را افزایش داده و فرکانس و هزینه نگهداری تجهیزات را کاهش دهد.

آلودگی ذرات را کاهش دهید:

ثبات سطح: پوشش SIC نه تنها مقاوم در برابر سایش است ، بلکه از سقوط ذرات از سطح مواد به دلیل دوچرخه سواری حرارتی یا واکنشهای شیمیایی جلوگیری می کند ، از این طریق خطر آلودگی ذرات را که ممکن است در زمان تولید نیمه هادی رخ دهد و از محیط فرآیند تمیز بودن برخوردار باشد ، کاهش می دهد.

قابلیت اطمینان و کارآیی فرآیند را بهبود بخشید:

طراحی طولانی مدت: با توجه به ترکیب استحکام مکانیکی گرافیت و مقاومت سایش پوشش SIC ، بخاری گرافیتی پوشش سرامیکی سیلیکون می تواند عملکرد با راندمان بالا را برای مدت طولانی در شرایط فرآیند سخت حفظ کند و به طور قابل توجهی قابلیت اطمینان کلی تجهیزات را بهبود بخشد.

مصرف انرژی کارآمد: هدایت حرارتی بالا گرافیت و پایداری درجه حرارت بالا از پوشش SIC ، بخاری را قادر می سازد ضمن بهبود دقت کنترل دما ، مصرف انرژی را کاهش دهد و از این طریق باعث بهبود کارایی کلی تولید نیمه هادی می شود.

خصوصیات بدنی اساسی ازبخاری گرافیتی پوشش سرامیکی سیلیکون:

آن نیمه هادی استبخاری گرافیتی پوشش سرامیکی سیلیکونمغازه:

نمای کلی زنجیره صنعت Epitaxy تراشه نیمه هادی:

/فرآیند دیگر