محصولات

Halfmoon یک جزء گرافیتی است که در راکتورهای LPE SiC استفاده می شود که عمدتاً در اطراف منطقه داغ محفظه نصب شده است. اگرچه مستقیماً با ویفر تماس نمی‌گیرد، اما همچنان نقشی در پایداری جریان گاز و عملکرد راکتور در طول رشد همپایه ایفا می‌کند. برای کنترل دمای بالا و شرایط فرآیند واکنشی، معمولاً جزء با پوشش CVD SiC محافظت می‌شود، در حالی که پوشش TaC برای برخی کاربردها نیز موجود است. VETEK همچنین عایق نمدی گرافیتی و سایر قطعات گرافیتی روکش شده را برای سیستم های اپیتاکسی SiC عرضه می کند.

حلقه بالایی SiC epi 8 اینچی یک بخش سخت افزاری برای راکتورهای نیمه هادی است. در داخل سیستم های اپیتاکسی Si/SiC و MOCVD/CVD کار می کند. این حلقه گرمای داخل محفظه را تثبیت می کند. همچنین جریان گازها را کنترل می کند. مواد با خلوص بالا CVD سیلیکون کاربید است. مسائل مربوط به خروج گاز از گرافیت را ندارد. همچنین آلودگی ذرات را در طول تولید کاهش می دهد. از سوالات شما استقبال می کنیم.

VETEK نمد نرم فیبر کربنی ما را با استفاده از ترکیبی از کارتینگ دقیق و فن آوری جت هوا توسعه داده است. ما می توانیم یک ساختار فیبر بسیار یکنواخت را در سراسر مواد تضمین کنیم. این برای مقاومت در برابر گرمای شدید کوره های صنعتی ساخته شده است و در عین حال بسیار سبک وزن باقی می ماند. با چنین جرم حرارتی کم و بافت انعطاف‌پذیر، نصب آن آسان است و به خوبی در گوشه‌های کوره قرار می‌گیرد و به به حداکثر رساندن بهره‌وری انرژی در هر چرخه کمک می‌کند.

کیفیت مواد منبع اولیه عامل اصلی محدود کننده عملکرد ویفر در تولید تک بلورهای SiC است. 7N با خلوص بالا CVD SiC Bulk VETEK یک جایگزین پلی کریستالی با چگالی بالا برای پودرهای سنتی است که به طور خاص برای حمل و نقل بخار فیزیکی (PVT) مهندسی شده است. با استفاده از فرم انبوه CVD، نقایص رشد رایج را از بین می‌بریم و توان عملیاتی کوره را به میزان قابل توجهی بهبود می‌دهیم. مشتاقانه منتظر درخواست شما هستیم.

در ساخت‌های پیشرفته مانند Diffusion، Oxidation یا LPCVD، قایق ویفر فقط یک نگهدارنده نیست، بلکه بخش مهمی از محیط حرارتی است. در دماهای بین 1000 تا 1400 درجه سانتی گراد، مواد استاندارد اغلب به دلیل تاب برداشتن یا خروج گاز از بین می روند. محلول SiC-on-SiC VETEK (زیر لایه با خلوص بالا با پوشش CVD متراکم) به طور خاص برای تثبیت این متغیرهای گرمای بالا طراحی شده است.

محیط های با دمای بالا و واکنش شیمیایی MOCVD، حفاظت از محفظه واکنش و دقت کنترل فرآیند بسیار مهم هستند. VETEK قطعات کوارتز مات (سفید شیری) ممتاز را ارائه می دهد که به طور خاص طراحی شده اند تا به عنوان "اتاق تمیز" و "دروازه دقیق" در تجهیزات نیمه هادی شما عمل کنند. این قطعات راه حلی مقرون به صرفه و در عین حال با کارایی بالا برای مدیریت تشعشعات حرارتی و جلوگیری از آلودگی ارائه می دهند.