سیکن متخلخل

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده پیشرو در سرامیک متخلخل SIC برای صنعت نیمه هادی است. عبور از ISO9001 ، نیمه هادی Vetek کنترل خوبی بر کیفیت دارد. نیمه هادی Vetek همواره متعهد بوده است که در صنعت سرامیک متخلخل SIC متخلف و رهبر شود.

دیسک سرامیکی متخلخل

سرامیک های متخلخل SIC مواد سرامیکی هستند که در دماهای بالا شلیک می شوند و تعداد زیادی از منافذ به هم پیوسته یا بسته در داخل دارند. همچنین به عنوان یک فنجان مکش خلاء ریز ریز شناخته می شود و اندازه منافذ آن از 2 تا 100um است.

سرامیک های متخلخل SIC به طور گسترده در متالورژی ، صنعت شیمیایی ، حفاظت از محیط زیست ، زیست شناسی ، نیمه هادی و سایر زمینه ها مورد استفاده قرار گرفته است. سرامیک های متخلخل SIC را می توان با روش کف سازی ، روش ژل SOL ، روش ریخته گری نوار ، روش پخت و پز جامد و روش پیرولیز آغشته سازی تهیه کرد.

تهیه سرامیک های متخلخل Sic با روش پخت

خواص سرامیک کاربید سیلیکون متخلخل تهیه شده توسط روشهای مختلف به عنوان تابعی از تخلخل

فنجان های مکش سرامیک متخلخل در ساخت ویفر نیمه هادی

سرامیک های متخلخل SIC متخلخل وتک نقش بستن و حمل ویفرها را در تولید نیمه هادی ایفا می کنند. آنها متراکم و یکنواخت ، قدرت بالا ، در نفوذپذیری هوا و یکنواخت در جذب هستند.

آنها به طور موثری بسیاری از مشکلات دشوار مانند تورفتگی ویفر و تجزیه الکترواستاتیک تراشه را برطرف می کنند و به دستیابی به پردازش ویفرهای با کیفیت بالا کمک می کنند.

نمودار کار سرامیک های متخلخل:

اصل کار سرامیک های متخلخل SIC: ویفر سیلیکون توسط اصل جذب خلاء ثابت شده است. در حین پردازش ، از سوراخ های کوچک روی سرامیک های متخلخل SIC برای استخراج هوا بین ویفر سیلیکون و سطح سرامیک استفاده می شود ، به طوری که ویفر سیلیکون و سطح سرامیک در فشار کم قرار دارند و از این طریق ویفر سیلیکون را برطرف می کنند.

پس از پردازش ، آب پلاسما از سوراخ ها بیرون می آید تا از چسبیدن ویفر سیلیکون به سطح سرامیک جلوگیری شود و در عین حال ویفر سیلیکون و سطح سرامیک تمیز شود.

ریزساختار سرامیک های متخلخل

مزایا و ویژگی های برجسته:

● مقاومت درجه حرارت بالا

● مقاومت در برابر پوشیدن

● مقاومت شیمیایی

strow قدرت مکانیکی بالا

● آسان برای بازسازی

● مقاومت عالی در شوک حرارتی

قسمت	واحد	سرامیک های متخلخل
قطر منافذ	یکی	10 ~ 30
تراکم	g / cm3	1.3 ~ 1.3
روگجنجال	یکی	2.5 ~ 3
مقدار جذب هوا	kpa	-45
قدرت انعطاف پذیری	MPA	30
ثابت دی الکتریک	1 مگاهرتز	33
هدایت حرارتی	w/(m · k)	60 ~ 70

چندین مورد زیاد برای سرامیک های متخلخل SIC وجود دارد:

1. جذب خلاء قوی

2. صافی بسیار مهم است ، در غیر این صورت در حین کار مشکلاتی ایجاد می شود

3. بدون تغییر شکل و ناخالصی فلزی

بنابراین ، مقدار جذب هوا از سرامیک SIC متخلخل نیمه هادی Vetek به -45kpa می رسد. در همان زمان ، آنها به مدت 1200 ℃ به مدت 1.5 ساعت قبل از ترک کارخانه برای از بین بردن ناخالصی ها و در کیسه های خلاء بسته بندی می شوند.

سرامیک های متخلخل SIC به طور گسترده در فناوری پردازش ویفر ، انتقال و سایر پیوندها مورد استفاده قرار می گیرند. آنها دستاوردهای بزرگی را در پیوند ، دویدن ، نصب ، پرداخت ، جلا دادن و سایر پیوندها کسب کرده اند.