بخاری روکش سرامیکی سیلیکون

آن نیمه هادی استبخاری پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون بخاری است که برای دمای بالا و محیط های سخت طراحی شده است. این لایه از پوشش سرامیکی کربن سیلیکون (SIC) را بر روی سطح عنصر گرمایش می پوشاند تا تجهیزات مقاومت در برابر حرارت عالی ، مقاومت در برابر خوردگی و هدایت حرارتی را ارائه دهد. 

بخاری روکش سرامیکی سیلیکونعمدتا در تجهیزات پوشش خلاء (تبخیر) استفاده می شود. روشهای متداول PCD (خشک کردن شیمیایی پلاسما) و PVD (رسوب بخار فیزیکی) است که به طور گسترده در تولید نیمه هادی و سایر کاربردهای صنعتی با تقاضای بالا استفاده می شود.

همراه با طراحی پوشش با کارایی بالا از بخاری پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون ،این می تواند یک راه حل گرمایش عالی برای فرآیندهای درجه حرارت بالا فراهم کند.

هدایت حرارتی عالی: مواد SIC دارای هدایت حرارتی عالی هستند ، اطمینان حاصل می کند که بخاری می تواند به توزیع حرارت یکنواخت در منطقه کار دست یابد و شیب دما را کاهش دهد.

توزیع گرمای یکنواخت: بخاری پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون از هدایت حرارتی بالای مواد SIC برای دستیابی به توزیع دمای یکنواخت در سراسر منطقه گرمایش استفاده می کند. این امر برای اطمینان از عملیات حرارتی یکنواخت ویفرهای نیمه هادی در فرآیندهای مختلف درجه حرارت بالا مانند پردازش سریع حرارتی (RTP) ، انتشار و اکسیداسیون ، جلوگیری از نقص محصول ناشی از گرمای بیش از حد یا دمای ناهموار بسیار مهم است.

تحمل درجه حرارت بالا: پوشش SIC بخاری را قادر می سازد در برابر دمای بسیار بالا ، به طور معمول تا 1600 درجه سانتیگراد ، مناسب برای فرآیندهای مختلف پردازش با دمای بالا باشد.

مقاومت در برابر گرما را بهبود بخشید: از آنجا که این پوشش می تواند در برابر درجه حرارت بسیار بالایی مقاومت کند ، در فرآیندی که نیاز به عملکرد طولانی مدت با دمای بالا دارند ، عملکرد خوبی دارد. به عنوان مثال ، در فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی (CVD) ، بخاری پوشش سرامیکی سیلیکون می تواند عملکرد پایدار طولانی مدت تجهیزات را در دماهای بالا تضمین کرده و عملکرد گرمایش مداوم را حفظ کند ، در نتیجه تکرارپذیری و قابلیت اطمینان روند را بهبود بخشد.

مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی: پوشش SIC مقاومت بسیار بالایی در برابر گازهای اسید ، قلیایی و خورنده دارد و می تواند برای مدت طولانی در یک محیط جو شیمیایی پیچیده پایدار بماند و عمر تجهیزات را گسترش دهد. 

افزایش عمر تجهیزات: پوشش SIC دارای مقاومت اکسیداسیون عالی و مقاومت در برابر خوردگی است و می تواند به طور موثری در برابر فرسایش شیمیایی و اکسیداسیون در دماهای بالا مقاومت کند. این در فرآیند تولید نیمه هادی ، به ویژه در محیطی که گازهای خورنده و مواد شیمیایی را کنترل می کند بسیار مهم است. اثر محافظتی پوشش می تواند عمر سرویس بخاری را به میزان قابل توجهی افزایش داده و فرکانس هزینه های جایگزینی و نگهداری تجهیزات را کاهش دهد.

خصوصیات بدنی اساسی بخاری پوشش سرامیکی سیلیکون:

Vetek نیمه هادی Silicon Carbide Silicon Carbide Coating Coating:

نمای کلی از زنجیره صنعت Epitaxy نیمه هادی Vetek Vetek: