سرامیک سیلیکون کاربید

VeTek Semiconductor شریک نوآور شما در زمینه پردازش نیمه هادی است. با مجموعه گسترده ای از ترکیبات مواد سرامیک سیلیکون کاربید درجه نیمه هادی، قابلیت های ساخت قطعات و خدمات مهندسی برنامه، می توانیم به شما در غلبه بر چالش های مهم کمک کنیم. سرامیک های سیلیکون کاربید فنی مهندسی به دلیل عملکرد مواد استثنایی خود به طور گسترده در صنعت نیمه هادی ها استفاده می شوند. سرامیک های سیلیکون کاربید فوق خالص VeTek Semiconductor اغلب در کل چرخه تولید و پردازش نیمه هادی ها استفاده می شود.

انتشار و پردازش LPCVD

VeTek Semiconductor اجزای سرامیکی مهندسی شده را ارائه می دهد که به طور خاص برای انتشار دسته ای و الزامات LPCVD طراحی شده اند از جمله:

اجزای فرآیند اچ

آلودگی و نگهداری برنامه ریزی نشده را با اجزای با خلوص بالا که برای سختی های پردازش اچ پلاسما مهندسی شده اند، به حداقل برسانید، از جمله:

پردازش حرارتی سریع و اجزای فرآیند اپیتاکسیال

VeTek Semiconductor اجزای مواد پیشرفته ای را فراهم می کند که برای کاربردهای پردازش حرارتی در دمای بالا در صنعت نیمه هادی ها طراحی شده است. این برنامه‌ها شامل فرآیندهای RTP، Epi، انتشار، اکسیداسیون و بازپخت می‌شوند. سرامیک های فنی ما به گونه ای طراحی شده اند که در برابر شوک های حرارتی مقاومت کنند و عملکرد قابل اعتماد و ثابتی را ارائه دهند. با اجزای VeTek Semiconductor، تولیدکنندگان نیمه هادی می توانند به پردازش حرارتی کارآمد و باکیفیت دست یابند که به موفقیت کلی تولید نیمه هادی کمک می کند.

دسته بندی محصولات

دست و پا زدن SiC Cantilever لوله های فرآیند SiC لوله فرآیند کاربید سیلیکون قایق ویفر عمودی SiC قایق ویفر افقی SiC SiC افقی چهار قایق ویفر قایق ویفر SiC LPCVD قایق صفحه افقی SiC حلقه مهر و موم سرامیکی SiC

ویژگی های کلیدی

● خلوص فوق العاده بالا: محتوای SiC > 99.96٪، سیلیکون آزاد <0.1٪، به حداقل رساندن آلودگی فلزی.

● عملکرد عالی در دمای بالا: دمای کار تا 1600 درجه سانتیگراد (اکسید کننده) / 1700 درجه سانتیگراد (کاهش کننده).

● مقاومت در برابر شوک حرارتی عالی و انبساط حرارتی کم برای عملکرد قابل اعتماد تحت سیکل های حرارتی سریع.

● استحکام مکانیکی بالا (تراکم >600 مگاپاسکال) و بی اثری شیمیایی در برابر گازهای فرآیند و پلاسما.

● محدوده محصول جامع برای فرآیندهای انتشار/LPCVD، اچ، RTP و epi - از قایق های ویفر گرفته تا حلقه های فوکوس و قطعات سفارشی.

● عمر طولانی و تولید ذرات کاهش یافته، به کاهش فرکانس نگهداری و بهبود عملکرد کمک می کند.

مشخصات محصول

خواص فیزیکی کاربید سیلیسیم تبلور مجدد

برنامه های کاربردی

برای پاسخگویی به نیازهای متنوع فرآیندهای نیمه هادی، VeTek محصولات سرامیک سیلیکون کاربید هدفمند را ارائه می دهد. جدول زیر آنها را بر اساس حوزه های کاربردی اصلی طبقه بندی می کند:

برای جزئیات بیشتر راه حل های تطبیق فرآیند، لطفا به مراجعه کنیدکوره اکسیداسیون و انتشارصفحات مرتبط

به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای سرامیک کاربید سیلیکون در چین، ما کارخانه خود را داریم. چه به خدمات سفارشی برای رفع نیازهای خاص منطقه خود نیاز داشته باشید و چه بخواهید سرامیک های پیشرفته و بادوام سیلیکون کاربید ساخت چین را خریداری کنید، می توانیدبرای ما پیام بگذارید.