بخاری گرافیت منطقه گرم

بخاری های گرافیتی منطقه داغ نیمه هادی Vetek برای کنترل شرایط شدید موجود در کوره های درجه حرارت بالا طراحی شده اند. بخاری ها بسته به ویژگی های خاص محصول ذکر شده در زیر ، قادر به مقاومت در برابر محیط های سخت هستند که معمولاً در پردازش درجه حرارت بالا یافت می شوند.

توزیع دمای یکنواخت

بخاری گرافیت منطقه گرم به دلیل ترکیب کامل آن از انتخاب مواد با دقت بالا و فناوری پردازش دقیق ، به دلیل ویژگی های عالی گرمایش یکنواخت شناخته شده است. چنین یکنواختی توزیع صاف دما را در کل سطح گرمایش تضمین می کند ، و به طور موثری پردازش ویفر ناهموار را به دلیل شیب های حرارتی کاهش می دهد و از این طریق عملکرد محصول و ثبات عملکرد تجهیزات را بهبود می بخشد.

reg مقاومت در برابر خوردگی عالی

بخاری گرافیت برای منطقه گرم مقاومت شدید در برابر گازهای خورنده و مواد شیمیایی مختلف که در فرآیندهای تولید نیمه هادی با دمای بالا مشاهده می شوند ، نشان می دهد. عدم تحرک طبیعی مواد گرافیتی به بخاری های گرافیتی اجازه می دهد تا پایداری طولانی مدت در محیط های سخت را حفظ کنند ، و به طور قابل توجهی خطر آلودگی و گسترش عمر خدمات تجهیزات را کاهش می دهد.

● عملکرد عالی آنتی اکسیداسیون

در مقایسه با مواد گرافیتی سنتی ، بخاری گرافیت منطقه گرم هنوز هم توانایی آنتی اکسیداسیون عالی در دماهای بالا دارد. این ویژگی برای جلوگیری از وخامت اکسیداتیو سطح بخاری در طی پردازش دمای بالا بسیار مهم است و از تولید آلودگی ذرات در محفظه پردازش جلوگیری می کند و از ادامه کارآیی کارآمد تجهیزات اطمینان حاصل می کند.

● خلوص شیمیایی فوق العاده بلند

پس از پردازش دقیق ، بخاری گرافیت ما به سطح بسیار بالایی از خلوص شیمیایی رسیده است ، به طور موثری مانع از ورود ناخالصی های مضر به محیط پردازش نیمه هادی می شود. این خلوص برای محافظت از یکپارچگی مواد نیمه هادی دقیق و تولید دستگاه هایی که دارای خواص الکتریکی و نوری مورد انتظار هستند بسیار مهم است.

strow قدرت و ثبات مکانیکی بالا

بخاری گرافیت منطقه گرم Veteksemicon از استحکام مکانیکی عالی و ثبات ابعادی برخوردار است و یکپارچگی ساختاری را حتی در شرایط عملیاتی با دمای بالا حفظ می کند. چه در مواجهه با چرخه های حرارتی مکرر یا استرس مکانیکی سنگین ، بخاری های گرافیتی برای منطقه داغ استحکام خود را حفظ کرده و پشتیبانی جامد و قابل اعتماد را برای محیط های پردازش نیمه هادی سخت فراهم می کنند.

علاوه بر این ، Veteksemicon همچنین انواع مختلفی از اندازه های سفارشی و پیکربندی بخاری های گرافیتی را برای پاسخگویی به نیازهای فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی ارائه می دهد. ما صمیمانه امیدواریم که شریک بلند مدت شما در چین باشیم.