پوشش کاربید تانتالیوم

نیمه هادی VeTek تولید کننده پیشرو مواد پوشش کاربید تانتالم برای صنعت نیمه هادی است. محصولات اصلی ما شامل قطعات پوشش کاربید تانتالیوم CVD، قطعات پوشش TaC متخلخل شده برای رشد کریستال SiC یا فرآیند اپیتاکسی نیمه هادی است. با تصویب ISO9001، نیمه هادی VeTek کنترل خوبی بر کیفیت دارد. نیمه هادی VeTek برای تبدیل شدن به مبتکر در صنعت پوشش کاربید تانتالم از طریق تحقیق و توسعه مداوم فناوری های تکراری اختصاص داده شده است.

محصولات اصلی هستندحلقه راهنما با پوشش TaC, حلقه راهنمای سه گلبرگ با روکش CVD TaC, نیمه ماه با پوشش کاربید تانتالیوم TaC, گیرنده سیاره ای سیاره ای اپیتاکسیال پوشش CVD TaC, حلقه پوشش کاربید تانتالیوم, گرافیت متخلخل با پوشش کاربید تانتالم, محافظ چرخشی پوشش TaC, حلقه کاربید تانتالیوم, صفحه چرخشی پوشش TaC, گیرنده ویفر با پوشش TaC, حلقه منحرف کننده با روکش TaC, پوشش CVD TaC Coating, چاک با پوشش TaCو غیره، خلوص زیر 5ppm است، می تواند نیازهای مشتری را برآورده کند.

گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز از کاربید تانتالم توسط فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد می شود. مزیت آن در تصویر زیر نشان داده شده است:

Excellent properties of TaC coating graphite

پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) به دلیل نقطه ذوب بالای آن تا 3880 درجه سانتیگراد، استحکام مکانیکی عالی، سختی و مقاومت در برابر شوک های حرارتی مورد توجه قرار گرفته است و آن را به جایگزینی جذاب برای فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی مرکب با شرایط دمایی بالاتر تبدیل کرده است. مانند سیستم Aixtron MOCVD و فرآیند اپیتاکسی LPE SiC. همچنین کاربرد گسترده ای در روش PVT کریستال SiC دارد. روند رشد

ویژگی های کلیدی:

●پایداری دما

●خلوص فوق العاده بالا

●مقاومت در برابر H2، NH3، SiH4، Si

●مقاومت در برابر استوک حرارتی

●چسبندگی قوی به گرافیت

●پوشش پوششی منسجم

● اندازه تا قطر 750 میلی متر (تنها سازنده در چین به این اندازه می رسد)

برنامه های کاربردی:

●حامل ویفر

● گیرنده گرمایش القایی

● المنت حرارتی مقاومتی

●دیسک ماهواره

●سر دوش

●حلقه راهنما

●گیرنده LED Epi

●نازل تزریق

●حلقه ماسک

● سپر حرارتی

پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) روی سطح مقطع میکروسکوپی:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

پارامتر پوشش کاربید تانتالم نیمه هادی VeTek:

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم	14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه	0.3
ضریب انبساط حرارتی	6.3 10^-6/ ک
سختی (HK)	2000 هنگ کنگ
مقاومت	1×10^-5اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی	<2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند	-10-20 میلی متر
ضخامت پوشش	مقدار معمولی ≥20um (10±35um)

داده های EDX پوشش TaC：

EDX data of TaC coating

داده های ساختار کریستالی پوشش TaC:

عنصر	درصد اتمی
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	میانگین
سی ک	52.10	57.41	52.37	53.96
ام	47.90	42.59	47.63	46.04

چاک پوشش TaC دیسک سیاره ای پوشش TaC
صفحه با پوشش TaC صفحه چرخشی پوشش TaC گیرنده پوشش TaC پوشش CVD TaC پوشش حلقه پوشش CVD TaC صفحه پوشش TaC

View as

حلقه گرافیتی با پوشش CVD TaC

حلقه گرافیتی با پوشش CVD TaC توسط Veteksemicon برای پاسخگویی به نیازهای شدید پردازش ویفر نیمه هادی مهندسی شده است. با استفاده از فناوری رسوب بخار شیمیایی (CVD)، یک پوشش متراکم و یکنواخت کاربید تانتالم (TaC) روی بسترهای گرافیتی با خلوص بالا اعمال می شود که به سختی استثنایی، مقاومت در برابر سایش و بی اثری شیمیایی دست می یابد. در ساخت نیمه هادی، حلقه گرافیتی با پوشش CVD TaC به طور گسترده در محفظه های MOCVD، اچینگ، انتشار و رشد همپایه استفاده می شود و به عنوان یک جزء کلیدی ساختاری یا آب بندی برای حامل های ویفر، گیرنده ها و مجموعه های محافظ عمل می کند. منتظر مشاوره بیشتر شما هستیم

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

حلقه گرافیتی متخلخل با پوشش TaC

حلقه گرافیتی با پوشش TaC متخلخل تولید شده توسط VETEK از یک بستر گرافیت متخلخل سبک وزن استفاده می کند و با یک پوشش کاربید تانتالوم با خلوص بالا پوشانده شده است که دارای مقاومت عالی در برابر دماهای بالا، گازهای خورنده و فرسایش پلاسما است.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

حلقه راهنمای گرافیتی پوشش داده شده TAC

حلقه های راهنمای گرافیتی با پوشش TAC ما اجزای اصلی دقیق برای ساخت ویفر نیمه هادی هستند. آنها دارای یک بستر گرافیت با خلوص بالا با پوشش مقاوم در برابر سایش و شیمیایی بی اثر کاربید (TAC) هستند. آنها برای فرآیندهای خواستار مانند رسوب اپی کلیسای و اچ پلاسما طراحی شده اند ، آنها از تراز دقیق ویفر و ثبات ، به طور مؤثر کنترل آلودگی را کنترل می کنند و عمر مؤلفه را به طور قابل توجهی گسترش می دهند. Veteksemicon خدمات شخصی سازی را ارائه می دهد تا کاملاً تجهیزات و نیازهای فرآیند شما را مطابقت دهد.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

حلقه روکش شده TAC برای رشد Pvt از کریستال تک Sic

به عنوان یکی از تأمین کنندگان پیشرو در زمینه پوشش TAC در چین ، نیمه هادی Vetek قادر به ارائه قطعات سفارشی با پوشش TAC با کیفیت بالا است. حلقه روکش شده TAC برای رشد Pvt از Crystal Sic Single یکی از محصولات برجسته و بالغ نیمه هادی Vetek است. این نقش مهمی در رشد PVT فرآیند کریستال SIC دارد و می تواند به مشتریان کمک کند تا کریستال های SIC با کیفیت بالا رشد کنند. مشتاقانه منتظر پرسش شما هستم.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

حلقه راهنمای سه گلبرگ CVD TAC روکش شده

نیمه هادی Vetek سالها توسعه تکنولوژیکی را تجربه کرده است و به فناوری پیشرو فرآیند پوشش CVD TAC تسلط داشته است. حلقه راهنمای سه گانه پوشش داده شده CVD TAC یکی از بالغ ترین محصولات پوشش CVD TAC نیمه هادی Vetek است و یک مؤلفه مهم برای تهیه کریستال های SIC با روش PVT است. با کمک نیمه هادی Vetek ، من معتقدم که تولید کریستال SIC شما نرم تر و کارآمدتر خواهد بود.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

حلقه پوشش کاربید Tantalum

حلقه پوشش کاربید نیمه هادی Vetek Tantalum یک مؤلفه ضروری در صنعت نیمه هادی است ، به ویژه در اچ کردن ویفرهای SIC. ترکیب آن از یک پایه گرافیتی و پوشش TAC ، عملکرد برتر در محیط های با دمای بالا و شیمیایی تهاجمی را تضمین می کند. حلقه روکش شده با کاربید Tantalum با افزایش پایداری حرارتی ، مقاومت در برابر خوردگی و مقاومت مکانیکی ، به تولید کنندگان نیمه هادی کمک می کند تا در فرآیندهای تولید خود به دقت ، قابلیت اطمینان و با کیفیت بالا دست یابند.

بیشتر ببینید >> ارسال استعلام >>

ما به عنوان یک تولید کننده و تأمین کننده 77 پوند حرفه ای در چین ، کارخانه خودمان را داریم. این که آیا شما برای تأمین نیازهای خاص منطقه خود به خدمات سفارشی نیاز دارید یا می خواهید 77 پوند پیشرفته و با دوام ساخته شده در چین خریداری کنید ، می توانید برای ما پیام بگذارید.