محصولات

پوشش کاربید تانتالیوم

نیمه هادی VeTek تولید کننده پیشرو مواد پوشش کاربید تانتالم برای صنعت نیمه هادی است. محصولات اصلی ما شامل قطعات پوشش کاربید تانتالیوم CVD، قطعات پوشش TaC متخلخل شده برای رشد کریستال SiC یا فرآیند اپیتاکسی نیمه هادی است. با تصویب ISO9001، نیمه هادی VeTek کنترل خوبی بر کیفیت دارد. نیمه هادی VeTek برای تبدیل شدن به مبتکر در صنعت پوشش کاربید تانتالم از طریق تحقیق و توسعه مداوم فناوری های تکراری اختصاص داده شده است.


محصولات اصلی هستندحلقه راهنما با پوشش TaC, حلقه راهنمای سه گلبرگ با روکش CVD TaC, نیمه ماه با پوشش کاربید تانتالیوم TaC, گیرنده سیاره ای سیاره ای اپیتاکسیال پوشش CVD TaC, حلقه پوشش کاربید تانتالیوم, گرافیت متخلخل با پوشش کاربید تانتالم, محافظ چرخشی پوشش TaC, حلقه کاربید تانتالیوم, صفحه چرخشی پوشش TaC, گیرنده ویفر با پوشش TaC, حلقه منحرف کننده با روکش TaC, پوشش CVD TaC Coating, چاک با پوشش TaCو غیره، خلوص زیر 5ppm است، می تواند نیازهای مشتری را برآورده کند.


گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز از کاربید تانتالم توسط فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد می شود. مزیت آن در تصویر زیر نشان داده شده است:


Excellent properties of TaC coating graphite


پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) به دلیل نقطه ذوب بالای آن تا 3880 درجه سانتیگراد، استحکام مکانیکی عالی، سختی و مقاومت در برابر شوک های حرارتی مورد توجه قرار گرفته است و آن را به جایگزینی جذاب برای فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی مرکب با شرایط دمایی بالاتر تبدیل کرده است. مانند سیستم Aixtron MOCVD و فرآیند اپیتاکسی LPE SiC. همچنین کاربرد گسترده ای در روش PVT کریستال SiC دارد. روند رشد


ویژگی های کلیدی:

 ●پایداری دما

 ●خلوص فوق العاده بالا

 ●مقاومت در برابر H2، NH3، SiH4، Si

 ●مقاومت در برابر استوک حرارتی

 ●چسبندگی قوی به گرافیت

 ●پوشش پوششی منسجم

 اندازه تا قطر 750 میلی متر (تنها سازنده در چین به این اندازه می رسد)


برنامه های کاربردی:

 ●حامل ویفر

 ● گیرنده گرمایش القایی

 ● المنت حرارتی مقاومتی

 ●دیسک ماهواره

 ●سر دوش

 ●حلقه راهنما

 ●گیرنده LED Epi

 ●نازل تزریق

 ●حلقه ماسک

 ● سپر حرارتی


پوشش کاربید تانتالیوم (TaC) روی سطح مقطع میکروسکوپی:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


پارامتر پوشش کاربید تانتالم نیمه هادی VeTek:

خواص فیزیکی پوشش TaC
تراکم 14.3 (g/cm³)
انتشار ویژه 0.3
ضریب انبساط حرارتی 6.3 10-6/ ک
سختی (HK) 2000 هنگ کنگ
مقاومت 1×10-5اهم * سانتی متر
پایداری حرارتی <2500℃
اندازه گرافیت تغییر می کند -10-20 میلی متر
ضخامت پوشش مقدار معمولی ≥20um (10±35um)


داده های EDX پوشش TaC

EDX data of TaC coating


داده های ساختار کریستالی پوشش TaC:

عنصر درصد اتمی
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 میانگین
سی ک 52.10 57.41 52.37 53.96
ام 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
حلقه روکش شده TAC برای رشد Pvt از کریستال تک Sic

حلقه روکش شده TAC برای رشد Pvt از کریستال تک Sic

به عنوان یکی از تأمین کنندگان پیشرو در زمینه پوشش TAC در چین ، نیمه هادی Vetek قادر به ارائه قطعات سفارشی با پوشش TAC با کیفیت بالا است. حلقه روکش شده TAC برای رشد Pvt از Crystal Sic Single یکی از محصولات برجسته و بالغ نیمه هادی Vetek است. این نقش مهمی در رشد PVT فرآیند کریستال SIC دارد و می تواند به مشتریان کمک کند تا کریستال های SIC با کیفیت بالا رشد کنند. مشتاقانه منتظر پرسش شما هستم.
حلقه راهنمای سه گلبرگ CVD TAC روکش شده

حلقه راهنمای سه گلبرگ CVD TAC روکش شده

نیمه هادی Vetek سالها توسعه تکنولوژیکی را تجربه کرده است و به فناوری پیشرو فرآیند پوشش CVD TAC تسلط داشته است. حلقه راهنمای سه گانه پوشش داده شده CVD TAC یکی از بالغ ترین محصولات پوشش CVD TAC نیمه هادی Vetek است و یک مؤلفه مهم برای تهیه کریستال های SIC با روش PVT است. با کمک نیمه هادی Vetek ، من معتقدم که تولید کریستال SIC شما نرم تر و کارآمدتر خواهد بود.
حلقه پوشش کاربید Tantalum

حلقه پوشش کاربید Tantalum

حلقه پوشش کاربید نیمه هادی Vetek Tantalum یک مؤلفه ضروری در صنعت نیمه هادی است ، به ویژه در اچ کردن ویفرهای SIC. ترکیب آن از یک پایه گرافیتی و پوشش TAC ، عملکرد برتر در محیط های با دمای بالا و شیمیایی تهاجمی را تضمین می کند. حلقه روکش شده با کاربید Tantalum با افزایش پایداری حرارتی ، مقاومت در برابر خوردگی و مقاومت مکانیکی ، به تولید کنندگان نیمه هادی کمک می کند تا در فرآیندهای تولید خود به دقت ، قابلیت اطمینان و با کیفیت بالا دست یابند.
حلقه پوشش TaC

حلقه پوشش TaC

حلقه پوشش TAC یک مؤلفه با کارایی بالا است که برای استفاده در فرآیندهای نیمه هادی طراحی شده است ، حلقه پوشش TAC نیمه هادی Vetek دارای پایداری حرارتی بالایی ، مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی و مقاومت مکانیکی عالی است و به طور خاص برای نگه داشتن و پشتیبانی از ویفرهای SIC در طی فرآیند اچ استفاده می شود. جایی که کنترل و دوام دقیق برای دستیابی به ویفرهای با کیفیت بالا ضروری است. ما مشتاقانه منتظر مشاوره بیشتر شما هستیم.
پوشش TAC Crucible

پوشش TAC Crucible

به عنوان یک تأمین کننده و تولید کننده پوشش حرفه ای TAC در چین ، پوشش Crucible TAC نیمه هادی Vetek نقش غیر قابل تعویض در فرآیند رشد کریستالی تک هادی ها با هدایت حرارتی عالی ، ثبات شیمیایی برجسته و مقاومت در برابر خوردگی را ایفا می کند. از سوالات بیشتر خود استقبال کنید.
حلقه راهنما با روکش کاربید تانتالیوم

حلقه راهنما با روکش کاربید تانتالیوم

به عنوان یک تامین کننده و سازنده حلقه راهنمای پوشش TaC در چین، حلقه راهنمای پوشش داده شده با کاربید تانتالیوم نیمه هادی VeTek جزء مهمی است که برای هدایت و بهینه سازی جریان گازهای راکتیو در روش PVT (انتقال بخار فیزیکی) استفاده می شود. با تنظیم توزیع و سرعت جریان گاز باعث رسوب یکنواخت تک بلورهای SiC در ناحیه رشد می شود. VeTek Semiconductor تولید کننده و تامین کننده برجسته حلقه های راهنمای پوشش TaC در چین و حتی در جهان است و ما مشتاق مشاوره شما هستیم.
ما به عنوان یک تولید کننده و تأمین کننده 77 پوند حرفه ای در چین ، کارخانه خودمان را داریم. این که آیا شما برای تأمین نیازهای خاص منطقه خود به خدمات سفارشی نیاز دارید یا می خواهید 77 پوند پیشرفته و با دوام ساخته شده در چین خریداری کنید ، می توانید برای ما پیام بگذارید.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept