VeTek Semiconductor طیف گسترده ای از سرامیک های نیمه هادی را برای پردازش پیشرفته ارائه می دهد. پوشش‌های کاربید سیلیکون ما به دلیل چگالی، مقاومت در برابر دمای بالا و مقاومت شیمیایی مشهور هستند، که آنها را برای مراحل مختلف تولید نیمه‌رسانا ایده‌آل می‌کند. این پوشش ها در پردازش و ساخت ویفر نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرند و کارایی و قابلیت اطمینان را تضمین می کنند.
علاوه بر این، ما سایر سرامیک های نیمه هادی را ارائه می دهیم:
کوارتز: کوارتز پایداری عالی در دمای بالا، بی اثری شیمیایی و شفافیت نوری را نشان می دهد. کاربردهای گسترده ای در تولید نیمه هادی ها از جمله فتولیتوگرافی، رسوب گیری بخار شیمیایی (CVD) و رسوب فیزیکی بخار (PVD) پیدا می کند. زیرلایه‌های کوارتز، لوله‌ها و پنجره‌ها نقش مهمی در فرآیند تولید نیمه‌رسانا دارند.
سرامیک های اکسید آلومینیوم: سرامیک های اکسید آلومینیوم دارای خواص عایق برجسته، پایداری در دمای بالا و بی اثری شیمیایی هستند. آنها معمولاً در تجهیزات نیمه هادی برای اجزایی مانند عایق ها، واشرها، بسته بندی ها و بسترها استفاده می شوند. عایق بالا و مقاومت در برابر دمای بالا سرامیک های اکسید آلومینیوم آنها را به مواد حیاتی در تولید نیمه هادی تبدیل می کند.
سرامیک های نیترید بور: سرامیک های نیترید بور هدایت حرارتی عالی، سختی بالا و بی اثری شیمیایی را از خود نشان می دهند. آنها به طور گسترده در محیط های با دمای بالا در تولید نیمه هادی ها مانند بازپخت، عملیات حرارتی و بسته بندی استفاده می شوند. سرامیک‌های نیترید بور معمولاً برای تولید وسایل، عناصر گرمایش، سینک‌های حرارتی و زیرلایه‌ها استفاده می‌شوند.
زیرکونیا: زیرکونیا یک ماده سرامیکی با مقاومت بالا، سختی بالا و مقاوم در برابر حرارت است. این دارای پایداری شیمیایی استثنایی و خواص عایق خوبی است. در تولید نیمه هادی، زیرکونیا اغلب برای ساخت اجزای عایق، پنجره ها و سنسورها در محیط های با دمای بالا استفاده می شود. زیرکونیا به دلیل هدایت حرارتی عالی و تلفات دی الکتریک کم، به طور گسترده ای در دستگاه های RF و مایکروویو استفاده می شود.
نیترید سیلیکون: نیترید سیلیکون یک ماده سرامیکی با درجه حرارت بالا و مقاوم در برابر خوردگی با مقاومت مکانیکی و هدایت حرارتی عالی است. معمولاً در تولید نیمه هادی برای اجزای حیاتی مانند محصورسازی لایه نازک، لایه های جداسازی، سنسورها و فاصله ها استفاده می شود. نیترید سیلیکون خواص عایق و پایداری شیمیایی فوق‌العاده‌ای را از خود نشان می‌دهد و عملکرد پایدار را در محیط‌های با دمای بالا و سخت ممکن می‌سازد. علاوه بر این، ثابت دی الکتریک پایین و تلفات دی الکتریک کم آن، آن را به گزینه ای ایده آل برای دستگاه های الکترونیکی با فرکانس بالا و بسته بندی های میکروالکترونیک تبدیل می کند.
در VeTek Semiconductor، ما متعهد به ارائه سایر سرامیک های نیمه هادی با کیفیت بالا هستیم که نیازهای مورد نیاز صنعت را برآورده می کند.
ویژگی های کلیدی
● مجموعه مواد جامع: کوارتز، آلومینا (Al2O3)، نیترید بور (BN)، زیرکونیا (ZrO2) و نیترید سیلیکون (Si3N4).
● خلوص بالا و آلودگی کم مناسب برای محیط های فرآیند نیمه هادی.
● پایداری عالی در دمای بالا، بی اثری شیمیایی و خواص حرارتی/الکتریکی مناسب برای هر ماده.
● قابلیت ماشینکاری دقیق برای قایق ها، لوله ها، پنجره ها، سپرها، عایق ها، وسایل، حسگرها و قطعات سفارشی.
● کاربردهای ثابت شده در دستگاه های CVD/PVD، فوتولیتوگرافی، انتشار، بازپخت، بسته بندی و دستگاه های RF/مایکروویو.
● پشتیبانی از کنترل کیفیت و سفارشی سازی گواهی ISO9001 برای مطابقت با تجهیزات خاص و الزامات فرآیند.
برنامه های کاربردی
برای پاسخگویی به نیازهای متنوع فرآیندهای نیمه هادی، VeTek محصولات دیگر سرامیک نیمه هادی هدفمند را ارائه می دهد. جدول زیر آنها را بر اساس مواد اصلی و زمینه های کاربردی طبقه بندی می کند:
| مواد / زمینه |
محصولات معمولی |
توضیحات برنامه |
| کوارتز |
قایق های ویفر کوارتز, سپر/دریچه های کوارتز مات, رویه های پوشش, بوته ها, لوله ها، پنجره ها |
پایداری در دمای بالا، بی اثری شیمیایی و شفافیت نوری برای فوتولیتوگرافی، CVD، PVD، انتشار، اکسیداسیون، بازپخت و حفاظت محفظه MOCVD. |
| اکسید آلومینیوم (Al2O3) |
عایق ها، واشرها، قطعات بسته بندی، بسترها |
عایق برجسته، پایداری در دمای بالا و بی اثری شیمیایی برای اجزای تجهیزات نیمه هادی که نیاز به عایق الکتریکی و مقاومت حرارتی دارند. |
| نیترید بور (BN) |
وسایل، عناصر گرمایش، سینک های حرارتی، بسترها |
هدایت حرارتی عالی، سختی بالا و بی اثری شیمیایی برای بازپخت، عملیات حرارتی و بسته بندی در فرآیندهای نیمه هادی با دمای بالا. |
| زیرکونیا (ZrO2) |
اجزای عایق، پنجره ها، سنسورها |
استحکام، سختی و مقاومت در برابر حرارت بالا با عایق خوب؛ به دلیل تلفات دی الکتریک کم در محیط های با دمای بالا و دستگاه های RF/مایکروویو استفاده می شود. |
| نیترید سیلیکون (Si3N4) |
کپسوله سازی لایه نازک، لایه های ایزوله، حسگرها، اسپیسرها |
مقاومت در برابر دما و خوردگی با مقاومت مکانیکی عالی؛ ایده آل برای دستگاه های با فرکانس بالا و بسته بندی میکروالکترونیک (ثابت دی الکتریک پایین / تلفات). |
برای جزئیات بیشتر راه حل های تطبیق فرآیند، لطفا به مراجعه کنیدکوارتز نیمه هادیصفحات مرتبط
به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده حرفه ای سرامیک پیشرفته در چین، ما کارخانه خود را داریم. چه به خدمات سفارشی برای رفع نیازهای خاص منطقه خود نیاز داشته باشید و چه بخواهید سایر سرامیک های نیمه هادی پیشرفته و بادوام ساخت چین را خریداری کنید، می توانیدبرای ما پیام بگذارید.
