فرآیند RTA/RTP

VeTek Semiconductor حامل ویفر فرآیند RTA/RTP ساخته شده از گرافیت با خلوص بالا و پوشش SiC باناخالصی زیر 5ppm.

کوره آنیل سریع نوعی تجهیزات برای عملیات بازپخت مواد وفرآیند RTA/RTPبا کنترل فرآیند گرمایش و سرمایش مواد، می تواند ساختار کریستالی مواد را بهبود بخشد، تنش داخلی را کاهش دهد و خواص مکانیکی و فیزیکی مواد را بهبود بخشد. یکی از اجزای اصلی در محفظه کوره بازپخت سریع، حامل ویفر است/گیرنده ویفربرای بارگیری ویفر به عنوان یک بخاری ویفر در محفظه فرآیند، اینصفحه حاملنقش مهمی در گرمایش سریع و یکسان سازی دما دارد.

کاربید سیلیکون، نیترید آلومینیوم و کاربید سیلیکون گرافیت مواد موجود برای کوره آنیل سریع هستند و انتخاب اصلی در بازار گرافیت وپوشش کاربید سیلیکون به عنوان مواد. 

موارد زیر هستندویژگی ها و عملکرد عالیحامل ویفر فرآیند RTA RTP با پوشش نیمه هادی VeTek SiC:

-پایداری در دمای بالا: پوشش SiC پایداری فوق‌العاده‌ای در دمای بالا نشان می‌دهد و یکپارچگی ساختار و استحکام مکانیکی را حتی در دماهای شدید تضمین می‌کند. این قابلیت آن را برای فرآیندهای عملیات حرارتی بسیار مناسب می کند.

-هدایت حرارتی عالی: لایه پوشش SiC دارای رسانایی حرارتی استثنایی است که توزیع سریع و یکنواخت گرما را امکان پذیر می کند. این به پردازش حرارت سریع تر ترجمه می شود، به طور قابل توجهی زمان گرمایش را کاهش می دهد و بهره وری کلی را افزایش می دهد. با بهبود راندمان انتقال حرارت، به راندمان بالاتر تولید و کیفیت برتر محصول کمک می کند.

-بی اثری شیمیایی: بی اثری شیمیایی ذاتی کاربید سیلیکون مقاومت بسیار خوبی در برابر خوردگی ناشی از مواد شیمیایی مختلف ایجاد می کند. حامل ویفر کاربید سیلیکون پوشش داده شده با کربن ما می تواند به طور قابل اعتماد در محیط های شیمیایی مختلف بدون آلودگی یا آسیب رساندن به ویفرها کار کند.

-صافی سطح: لایه کاربید سیلیکون CVD یک سطح بسیار صاف و صاف را تضمین می کند و تماس پایدار با ویفرها را در طول پردازش حرارتی تضمین می کند. این باعث حذف عیوب سطح اضافی می شود و نتایج پردازش بهینه را تضمین می کند.

-سبک و استحکام بالا: حامل ویفر RTP با پوشش SiC ما سبک وزن است و در عین حال دارای استحکام قابل توجهی است. این ویژگی بارگیری و تخلیه راحت و قابل اعتماد ویفر را تسهیل می کند.

نحوه استفاده از حامل ویفر RTA RTP Process:

پوشش گیرنده و گیرنده ویفر با پوشش SiC VeTek Semiconductor

گیرنده RTA RTP حامل ویفر RTA RTP سینی RTP (برای عملیات حرارتی سریع RTA) سینی RTP (برای عملیات حرارتی سریع RTA) گیرنده RTP سینی پشتیبانی ویفر RTP