اخبار صنعت

محصولات کوارتز به دلیل خلوص زیاد ، مقاومت در دمای بالا و ثبات شیمیایی قوی ، در فرآیند تولید نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرند.

کوره های رشد کریستالی کاربید سیلیکون (SIC) نقش مهمی در تولید ویفرهای SIC با کارایی بالا برای دستگاه های نیمه هادی نسل بعدی دارند. با این حال ، فرایند رشد کریستال های SIC با کیفیت بالا چالش های قابل توجهی را نشان می دهد. از مدیریت شیب های حرارتی شدید گرفته تا کاهش نقص کریستال ، اطمینان از رشد یکنواخت و کنترل هزینه های تولید ، هر مرحله به راه حل های پیشرفته مهندسی نیاز دارد. در این مقاله چالش های فنی کوره های رشد کریستال SIC از دیدگاه های مختلف مورد تجزیه و تحلیل قرار خواهد گرفت.

Smart Cut یک فرآیند تولید نیمه هادی پیشرفته مبتنی بر کاشت یون و سلب ویفر است که به طور خاص برای تولید ویفرهای فوق العاده نازک و بسیار یکنواخت 3C-SIC (کاربید سیلیکون مکعب) طراحی شده است. این ماده می تواند مواد کریستالی فوق العاده نازک را از یک بستر به دیگری منتقل کند ، در نتیجه محدودیت های بدنی اصلی را بشکند و کل صنعت بستر را تغییر دهد.

در تهیه بسترهای کاربید سیلیکون با کیفیت بالا و با بازده بالا ، هسته نیاز به کنترل دقیق دمای تولید توسط مواد میدان حرارتی خوب دارد. در حال حاضر ، کیت های قابل حمل میدان حرارتی که عمدتا مورد استفاده قرار می گیرد ، اجزای ساختاری گرافیتی با خلوص بالا هستند که عملکرد آنها گرم کردن پودر کربن مذاب و پودر سیلیکون و همچنین برای حفظ گرما است.

وقتی نیمه هادی های نسل سوم را می بینید ، مطمئناً تعجب خواهید کرد که نسل های اول و دوم چیست. "نسل" در اینجا بر اساس مواد مورد استفاده در ساخت نیمه هادی طبقه بندی می شود.

چاک الکترواستاتیک (ESC) ، همچنین به عنوان چاک الکترواستاتیک (ESC ، E-Chuck) شناخته می شود ، یک فیکسچر است که از اصل جذب الکترواستاتیک برای نگه داشتن و رفع مواد جذب شده استفاده می کند. برای محیط های خلاء و پلاسما مناسب است.