اخبار صنعت

قابلیت‌های ماشین‌کاری دقیق CNC VeTek Semiconductor را برای گرافیت با خلوص بالا، اجزای پوشش‌داده‌شده CVD SiC/TaC، قطعات SiC جامد و راه‌حل‌های نیمه‌رسانای سفارشی کشف کنید.

حامل های ویفر گرافیتی با پوشش SiC اجزای حرارتی و مکانیکی حیاتی در سیستم های MOCVD برای اپیتاکسی GaN و LED هستند. این مقاله فنی توضیح می دهد که چگونه هندسه حامل، عمق پاکت، صافی، خواص گرافیت و شرایط پوشش CVD SiC بر توزیع دمای ویفر، یکنواختی اپیتاکسیال و تکرارپذیری فرآیند تأثیر می گذارد. همچنین رابطه بین یکنواختی حرارتی و بازده دستگاه، مکانیسم‌های رایج تخریب پوشش، ملاحظات عمر سرویس و داده‌های مهندسی مورد نیاز هنگام تعیین یک حامل ویفر MOCVD سفارشی یا جایگزین را بررسی می‌کند.

گرافیت با پوشش SiC قابلیت ماشینکاری و رفتار حرارتی گرافیت با خلوص بالا را با سطح فرآیند کاربید سیلیکون CVD از نظر شیمیایی پایدار ترکیب می کند. این مقاله فنی توضیح می‌دهد که چرا گرافیت خالی می‌تواند به منبع برهمکنش شیمیایی، ناخالصی‌ها و ذرات در راکتورهای اپیتاکسی تبدیل شود، چگونه CVD SiC یک مرز فرآیند پایدارتر ایجاد می‌کند و چرا یکپارچگی پوشش، سازگاری بستر، هندسه و رفتار حرارتی باید با هم مهندسی شوند. همچنین نیازهای مختلف اپیتاکسی سیلیکون و SiC را بررسی می‌کند و چگونگی تعیین گیرنده‌های پوشش‌داده‌شده برای کاربردهای نیمه‌رسانا را مشخص می‌کند.

یک گیرنده گرافیتی با پوشش SiC یک جزء میدان حرارتی حیاتی در اپیتاکسی نیمه هادی است و نه صرفاً نگهدارنده ویفر. این مقاله فنی توضیح می‌دهد که چگونه هندسه گیرنده، صافی، طراحی پاکت، خواص گرافیت و کیفیت پوشش CVD SiC با هم کار می‌کنند تا بر مرزهای حرارتی ویفر، توزیع دما و یکنواختی همپایی تأثیر بگذارند. همچنین حالت‌های رایج خرابی گیرنده، تخریب پوشش، خطرات ذرات و پارامترهای مهندسی کلیدی مورد نیاز هنگام تعیین یک گیرنده اپیتاکسی سفارشی یا جایگزین را بررسی می‌کند.

پوشش کاربید سیلیکون CVD با قرار دادن یک لایه SiC متراکم بر روی گرافیت با خلوص بالا از طریق واکنش‌های فاز گاز و سطح کنترل‌شده تولید می‌شود. این مقاله آماده‌سازی بستر، رشد CVD مبتنی بر MTS، هسته‌زایی و انتقال جرم، ضخامت و یکنواختی پوشش، تنش رابط SiC/گرافیت، عیوب رایج و بازرسی درجه نیمه‌رسانا را توضیح می‌دهد. همچنین نشان می‌دهد که چرا پارامترهای فرآیند و هندسه اجزا باید با هم برای گیرنده‌ها و حامل‌های ویفر مورد استفاده در اپیتاکسی و MOCVD مهندسی شوند.

پوشش کاربید سیلیکون یک لایه CVD SiC متراکم است که برای اجزای گرافیت با خلوص بالا استفاده می شود که در پردازش نیمه هادی استفاده می شود. این مقاله توضیح می‌دهد که چرا گرافیت با SiC پوشش داده می‌شود، چگونه CVD SiC تشکیل می‌شود، کدام ویژگی‌های پوشش و عوامل رابط عملکرد را کنترل می‌کنند، و چگونه گرافیت پوشش‌داده‌شده با SiC از اپیتاکسی سیلیکون، اپیتاکسی SiC و MOCVD پشتیبانی می‌کند. همچنین ضخامت پوشش، عدم تطابق CTE، خطر لایه لایه شدن و اطلاعات مهندسی مورد نیاز هنگام تعیین گیرنده ها، حامل های ویفر و سایر اجزای پوشش داده شده را بررسی می کند.

مقاله سفید فنی در مورد چگونگی تاثیر پوشش‌های CVD SiC و TaC بر پایداری حرارتی، آلودگی، ذرات و تکرارپذیری در اپیتاکسی نیمه‌رسانا، با جداول پارامتر، درخت تصمیم‌گیری انتخاب پوشش، مکانیسم‌های شکست و معیارهای RFQ.

SiC 8 اینچی اکنون در حجم تولید است، اما عملکرد ویفر - نه ظرفیت - برندگان را از هم جدا می کند. این راهنما توضیح می دهد که چرا پوشش TaC بر روی قطعات منطقه گرم گرافیت، عملکرد را تعیین می کند و چگونه یک تامین کننده را واجد شرایط می کند.

در تولید تراشه های مدرن، زیرلایه پشتیبانی فیزیکی و یک مسیر اتلاف گرما را فراهم می کند، در حالی که لایه اپیتاکسیال محدودیت های عملکرد الکتریکی دستگاه را تعیین می کند. این مقاله تجزیه و تحلیل عمیقی از تفاوت های اساسی بین بسترهای سیلیکون تک کریستال و کاربید سیلیکون و فرآیندهای همپایی CVD/MBE ارائه می دهد و نشان می دهد که چگونه فناوری همبستگی عملکرد دستگاه های فرکانس بالا و ولتاژ بالا را با کاهش تراکم نقص و ترکیب مهندسی کرنش افزایش می دهد. چه یک مهندس فرآیند یا یک تصمیم گیرنده خرید باشید، این راهنما به شما کمک می کند تا به سرعت مناسب ترین استراتژی انتخاب ویفر را شناسایی کنید.

تجزیه و تحلیل عمیق علل زرد شدن لبه و لایه برداری پوشش کاربید سیلیکون بر روی گیرنده های گرافیت اپیتاکسی MOCVD. VeTek با کنترل دقیق میزان رسوب اولیه CVD و میدان جریان، افزایش بازده پوشش از 50٪ به 90٪ و افزایش عمر مفید قطعات گرافیتی با خلوص بالا، ریز استرس را حذف کرد.

VeTek Semi با توجه به تغییر ضخامت 1.4 درصدی ضخامت جیب به جیب در گیره‌های گرافیت اپیتاکسی سیلیکونی چند جیبی، صافی گیره را به <0.08 میلی‌متر بهبود داد و تغییرات را به 0.69 درصد از طریق شبیه‌سازی میدان جریان CVD و پوشش فوق‌العاده دقیق SiC کاهش داد.

بیاموزید که چگونه Vetek ترک های شعاعی را در گیرنده های گرافیت پوشش داده شده با SiC سایز بزرگ MOCVD حذف کرد. طراحی مجدد بافر تنش ساختاری و تطبیق CTE عمر سرویس را تا 300% + افزایش داد.

یک دهه تکامل SiC - از اولین چالش های تجاری سازی 4 اینچی تا انتقال ویفر 8 اینچی امروزی. کشف کنید که چگونه پوشش‌های CVD SiC، مواد جامد SiC و TaC، تولید نیمه‌رسانا قابل اعتماد را امکان‌پذیر می‌سازند.

بیاموزید که چگونه گیرنده‌های گرافیتی با پوشش سی‌وی‌دی CVD با بهبود یکنواختی حرارتی، کاهش آلودگی و افزایش عمر قطعات در تولید نیمه‌رساناهای SiC، GaN، LED و سیلیکون، رشد هم‌پایه را افزایش می‌دهند.

کشف کنید که چگونه بخاری های گرافیتی با پوشش TaC باعث افزایش یکنواختی دما، کاهش مصرف انرژی و افزایش طول عمر در اپیتاکسی GaN MOCVD در مقایسه با بخاری های معمولی با پوشش pBN می شوند.

کشف کنید که چگونه پوشش CVD TaC رشد کریستال SiC را در کوره های PVT با کاهش آلودگی کربن، محافظت از اجزای گرافیت، افزایش عمر مفید و افزایش کیفیت کریستال برای ساخت نیمه هادی های پیشرفته بهبود می بخشد.