بهینه سازی و تولید انبوه

بزرگترین چالش در انتقال هموار از معرفی محصول جدید (NPI) به تولید با حجم بالا (HVM) سازگاری است. از طریق قفل کردن فرآیند، کنترل فرآیند آماری SPC و تشخیص عمیق قطعات بازگردانده شده، اطمینان حاصل می کنیم که هزارمین محصول از نظر کیفیت از نمونه اول قابل تشخیص نیست.

سیستم تضمین تولید انبوه:

قابلیت تولید CVD با ظرفیت بالا و میدان حرارتی یکنواخت:چند راکتور CVD با اندازه بزرگ و چند منطقه ای با خلوص بالا، رسوب کارآمد را بر روی بسترهای گرافیتی بزرگ امکان پذیر می کند و از ثبات بسیار بالای میدان های حرارتی و جریان در طول تولید دسته ای اطمینان می دهد.
کنترل دقیق "Copy-Exact":پس از تایید تولید انبوه، دسته‌های مواد خام گرافیت، مسیرهای ماشینکاری CNC، خلوص واکنش CVD-گاز، منحنی‌های سطح شیبدار دمای کوره و فشار محفظه قفل می‌شوند و تغییرات دسته به دسته را به حداقل می‌رسانند.
کنترل فرآیند آماری SPC:نظارت بر فرآیند کامل معیارهای حیاتی مانند توزیع ضخامت لایه، زبری سطح و مقاومت در طول تولید حجم، هدایت پارامترهای اصلی به همگرایی پایدار با قابلیت ردیابی کامل داده ها.
تشخیص عمیق قطعات بازگردانده شده:با مشتریان برای انجام تشخیص میکروسکوپی (SEM + تجزیه و تحلیل مقطع) قطعات بازگردانده شده از شرایط عملیاتی شدید، دقیقاً مکان یابی نقاط سایش محلی و تمرکز تنش، همکاری کنید.
تنظیم دقیق دینامیک دستور العمل های ساختار و فرآیند:بر اساس داده‌های سایش محفظه واقعی، هندسه اجزا و پارامترهای فرآیند رسوب‌گذاری را معکوس بهینه کنید تا عمر سرویس دسته‌های بعدی از منبع را افزایش دهید و یک چرخه با فضیلت تشکیل دهید.

مزایای مورد واقعی و مشتری (تجربه):

تولید کننده پیشرو سلول های فتوولتائیک TOPCon:در طول معرفی اولیه، لوازم جانبی قایق گرافیتی تغییر ضخامت فیلم (15±٪) بین دسته‌ها را نشان دادند که بر یکنواختی پوشش تأثیر می‌گذارد. ما پایش SPC تمام فرآیند را آغاز کردیم و سه پارامتر فرآیند حیاتی (دمای رسوب، سرعت جریان گاز، فشار محفظه) را قفل کردیم.در عرض 3 هفته، تغییر یکنواختی ضخامت فیلم از 15±٪ به 3±٪ کاهش یافت.این خط در حال حاضر به طور پایدار برای بیش از 200 دسته عرضه شده است، با نرخ عبور دسته ای به طور مداوم بالای 99.2٪، به مشتری کمک می کند تا نرخ شکستگی ویفر را تا 1.5٪ کاهش دهد.

سوالات متداول

1. س: چگونه باید بین پوشش CVD SiC و پوشش CVD TaC انتخاب کنم؟

▼

الف:به دمای فرآیند و شدت خوردگی فاز گاز خود نگاه کنید. اگر دمای فرآیند زیر 1000 درجه سانتیگراد است و عمدتاً شامل اچ مبتنی بر Cl2/F2 یا اپیتاکسی معمولی است، انتخاب کنیدسی وی دی سی سیبرای بهترین عملکرد هزینه؛ اگر دمای فرآیند بیش از 1200 درجه سانتیگراد باشد و دارای اتمسفرهای به شدت خورنده باشد (به عنوان مثال رشد تک کریستالی SiC PVT)، توصیه می کنیمCVD TaCکه مقاومت بالایی در برابر دما و خوردگی دارد. ما می توانیم یک گزارش توصیه انتخاب رایگان بر اساس پارامترهای فرآیند خاص شما ارائه دهیم.

2. س: آیا از نمونه سازی تک تکه / دسته کوچک پشتیبانی می کنید؟ زمان تحویل چقدر است؟

▼

الف:بله! برای نمونه های اولیه مهندسی معکوس،MOQ 1 قطعه است. برای قطعات ساده معمولی، از دریافت نمونه تا تحویل قطعه نقشه‌برداری شده، سریع‌ترین زمان تحویل تقریباً است.10-15 روز کاری; برای قطعاتی که شامل فرآیندهای پوشش پیچیده هستند، تقریباً است20-25 روز کاری. برای ارزیابی سریع با مهندسان ما تماس بگیرید.

3. س: چه چیزی باعث لایه لایه شدن پوشش CVD روی قطعات گرافیتی در حین استفاده می شود؟ میشه حلش کرد؟

▼

الف:90٪ موارد لایه لایه شدن به دلیل عدم تطابق بین ضریب انبساط حرارتی (CTE) بستر گرافیت و پوشش ایجاد می شود که منجر به لایه برداری خستگی تحت گرما/سرد شدن سریع می شود. راه حل ما: ابتدا منحنی CTE قطعه اصلی خود را دقیقا اندازه گیری کنید، سپس چگالی بستر و گرادیان دمای رسوب را به طور ویژه تنظیم کنید تا دو CTE بسیار مطابقت داشته باشند. استحکام باند را می توان به بیش از1.5 بارسطح متعارف صنعت

4. س: آیا می توانید یک CoA (گواهی تجزیه و تحلیل) برای محصولات ارائه دهید؟ شامل چه داده هایی می شود؟

▼

الف:هر محصول ارسال شده دارای استاندارد استشماره سریال منحصر به فرد + گزارش کامل CoA. این گزارش شامل: داده‌های بازرسی CMM بعد بحرانی، نقشه توزیع ضخامت پوشش چند نقطه‌ای، مقادیر زبری سطح (Ra) و نتایج تجزیه و تحلیل خلوص مواد (GDMS) است.