محصولات

پوشش کاربید سیلیکون

نیمه هادی VeTek در تولید محصولات پوشش کاربید سیلیکون فوق خالص تخصص دارد، این پوشش ها برای اعمال بر روی گرافیت خالص، سرامیک و اجزای فلزی نسوز طراحی شده اند.


پوشش‌های با خلوص بالا عمدتاً برای استفاده در صنایع نیمه‌رسانا و الکترونیک هدف‌گذاری شده‌اند. آنها به عنوان یک لایه محافظ برای حامل‌های ویفر، گیرنده‌ها و عناصر گرمایشی عمل می‌کنند و از آنها در برابر محیط‌های خورنده و واکنش‌پذیری که در فرآیندهایی مانند MOCVD و EPI با آن مواجه می‌شوند، محافظت می‌کنند. این فرآیندها برای پردازش ویفر و ساخت دستگاه یکپارچه هستند. علاوه بر این، پوشش‌های ما برای کاربرد در کوره‌های خلاء و گرمایش نمونه، که در آن محیط‌های خلاء، واکنش‌پذیر و اکسیژن بالا وجود دارد، مناسب هستند.


در VeTek Semiconductor، ما یک راه حل جامع با قابلیت های پیشرفته ماشین آلات خود ارائه می دهیم. این ما را قادر می سازد تا اجزای پایه را با استفاده از گرافیت، سرامیک یا فلزات نسوز تولید کنیم و پوشش های سرامیکی SiC یا TaC را در داخل خود اعمال کنیم. ما همچنین خدمات پوشش را برای قطعات عرضه شده توسط مشتری ارائه می دهیم و انعطاف پذیری را برای رفع نیازهای مختلف تضمین می کنیم.


محصولات پوشش کاربید سیلیکون ما به طور گسترده ای در اپیتاکسی Si، اپیتاکسی SiC، سیستم MOCVD، فرآیند RTP/RTA، فرآیند اچینگ، فرآیند اچ کردن ICP/PSS، فرآیند انواع مختلف LED، از جمله LED آبی و سبز، LED UV و UV عمیق استفاده می شود. LED و غیره، که با تجهیزات LPE، Aixtron، Veeco، Nuflare، TEL، ASM، Annealsys سازگار است، TSI و غیره.


قطعات راکتوری که می توانیم انجام دهیم:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


پوشش سیلیکون کاربید چندین مزیت منحصر به فرد دارد:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



پارامتر پوشش سیلیکون کاربید نیمه هادی VeTek

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC
اموال ارزش معمولی
ساختار کریستالی فاز β FCC پلی کریستالی، عمدتاً (111) گرا
چگالی پوشش SiC 3.21 گرم بر سانتی متر مکعب
سختی پوشش SiC سختی 2500 ویکرز (بار 500 گرم)
اندازه دانه 2 تا 10 میکرومتر
خلوص شیمیایی 99.99995%
ظرفیت حرارتی 640 ژون کیلوگرم-1· K-1
دمای تصعید 2700 ℃
قدرت خمشی 415 مگاپاسکال RT 4 نقطه
مدول یانگ 430 Gpa خم 4pt، 1300℃
هدایت حرارتی 300W·m-1· K-1
انبساط حرارتی (CTE) 4.5×10-6K-1

ساختار کریستالی فیلم CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
بخش های پوشش پوشش SIC داخلی

بخش های پوشش پوشش SIC داخلی

در نیمه هادی Vetek ، ما در تحقیق ، توسعه و صنعتی شدن پوشش CVD SIC و پوشش CVD TAC تخصص داریم. یک محصول نمونه ، بخش های پوشش پوشش SIC داخلی است که برای دستیابی به یک سطح CVD بسیار دقیق و متراکم CVD SIC ، پردازش گسترده ای انجام می دهد. این پوشش مقاومت استثنایی در برابر درجه حرارت بالا نشان می دهد و از خوردگی قوی برخوردار است. برای هرگونه سوالات با ما تماس بگیرید.
بخش های پوشش پوشش SIC

بخش های پوشش پوشش SIC

نیمه هادی VTech متعهد به توسعه و تجاری سازی قطعات پوشش داده شده CVD برای راکتورهای Aixstron است. به عنوان نمونه ، بخش های پوشش پوشش SIC ما با دقت پردازش شده اند تا یک پوشش CVD متراکم با مقاومت در برابر خوردگی عالی ، پایداری شیمیایی ، از بحث در مورد سناریوهای کاربردی با ما استفاده کنیم.
پشتیبانی MOCVD

پشتیبانی MOCVD

MOCVD SUSTION با دیسک سیاره ای و حرفه ای به دلیل عملکرد پایدار آن در اپیتاکسی مشخص شده است. نیمه هادی Vetek دارای تجربه غنی در ماشینکاری و پوشش CVD SIC این محصول است ، از ارتباط با ما در مورد موارد واقعی خوش آمدید.
حلقه پیش گرما

حلقه پیش گرما

حلقه پیش گرما در فرآیند اپیتاکسی نیمه هادی برای پیش گرم کردن ویفرها و پایدارتر و یکنواخت تر کردن دمای ویفرها استفاده می شود که برای رشد با کیفیت بالای لایه های اپیتاکسی اهمیت زیادی دارد. نیمه هادی Vetek به شدت خلوص این محصول را کنترل می کند تا از تبخیر ناخالصی ها در دماهای بالا جلوگیری کند. خوش آمدید به بحث بیشتر با ما.
پین لیفت ویفر

پین لیفت ویفر

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده پیشرو و مبتکر پین آسانسور EPI Wafer است. ما سالهاست که در پوشش SIC روی سطح گرافیت تخصص داریم. ما یک پین آسانسور EPI Wafer را برای فرآیند EPI ارائه می دهیم. با کیفیت بالا و قیمت رقابتی ، ما از شما برای بازدید از کارخانه ما در چین استقبال می کنیم.
گیرنده بشکه ای با پوشش SiC

گیرنده بشکه ای با پوشش SiC

Epitaxy تکنیکی است که در ساخت دستگاه های نیمه هادی برای رشد کریستال های جدید در یک تراشه موجود برای ایجاد یک لایه نیمه هادی جدید استفاده می شود. نیمه هادی Vetek مجموعه ای جامع از راه حل های مؤلفه برای اتاق های واکنش Epitaxy LPE را ارائه می دهد ، با ارائه طول عمر طولانی ، کیفیت پایدار و بهبود یافته عملکرد لایه محصول ما مانند Barrel Barrel Sistor با روکش SIC بازخورد موقعیتی را از مشتریان دریافت کرد. ما همچنین پشتیبانی فنی را برای SI EPI ، SIC EPI ، MOCVD ، Epitaxy به رهبری UV و موارد دیگر ارائه می دهیم. در صورت تمایل می توانید از اطلاعات قیمت گذاری سؤال کنید.
ما به عنوان یک تولید کننده و تأمین کننده 77 پوند حرفه ای در چین ، کارخانه خودمان را داریم. این که آیا شما برای تأمین نیازهای خاص منطقه خود به خدمات سفارشی نیاز دارید یا می خواهید 77 پوند پیشرفته و با دوام ساخته شده در چین خریداری کنید ، می توانید برای ما پیام بگذارید.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept