تفاوت بین CVD TAC و TAC سینتر چیست؟

1. کاربید Tantalum چیست؟

Tantalum Carbide (TAC) یک ترکیب باینری است که از تانتالوم و کربن با فرمول تجربی TACX تشکیل شده است ، که در آن X معمولاً در محدوده 0.4 تا 1. متفاوت است. آنها مواد سرامیکی نسوز رسانا بسیار سخت و شکننده فلزی هستند. آنها پودرهای قهوه ای خاکستری هستند که معمولاً از آن استفاده می شوند. به عنوان یک ماده سرامیکی فلزی مهم ، کاربید Tantalum از نظر تجاری برای ابزارهای برش استفاده می شود و گاهی اوقات به آلیاژهای کاربید تنگستن اضافه می شود.

شکل 1. مواد اولیه کاربید Tantalum

سرامیک کاربید Tantalum یک سرامیک است که شامل هفت مرحله کریستالی از کاربید تانتالوم است. فرمول شیمیایی TAC ، شبکه مکعب صورت محور است.

شکل 2.Tantalum Carbide - ویکی پدیا

چگالی نظری 1.44 ، نقطه ذوب 3730-3830 است ، ضریب انبساط حرارتی 10-3 8.3 ، مدول الاستیک 291GPA است ، هدایت حرارتی 0.22J/cm · S · C است و نقطه ذوب اوج از تانتالوم کاربید در حدود 3880 ℃ ، به صورت پاکیتی ، به صورت پاکیتی و در حدود 3880 ℃ ، به صورت پاکیتی ، و به صورت شیوه ای به نظر می رسد. این مقدار بالاترین در بین ترکیبات باینری است.

شکل 3.رسوب بخار شیمیایی کاربید Tantalum در Tabr5 & ndash

2. کاربید Tantalum چقدر قوی است؟

با آزمایش سختی ویکرز ، چقرمگی شکستگی و چگالی نسبی یک سری نمونه ها ، می توان مشخص کرد که TAC بهترین خواص مکانیکی را در 5.5GPA و 1300 دارد. چگالی نسبی ، سختی شکستگی و سختی ویکرز TAC به ترتیب 97.7 ٪ ، 7.4MPAM1/2 و 21.0GPA است.

کاربید Tantalum همچنین سرامیک کاربید Tantalum نامیده می شود ، که نوعی ماده سرامیکی به معنای گسترده است.روشهای آماده سازی کاربید Tantalum شامل می شودCVDروش ، روش پخت، و غیره در حال حاضر ، روش CVD بیشتر در نیمه هادی ها ، با خلوص بالا و هزینه بالا استفاده می شود.

3. مقایسه بین کاربید تانتالوم سینتر شده و کاربید تانتالومCVD

در فن آوری پردازش نیمه هادی ها ، کاربید تانتالوم سینتر شده و رسوب بخار شیمیایی (CVD) کاربید تانتالوم دو روش متداول برای تهیه کاربید تانتالوم است که در فرآیند آماده سازی ، ریزساختار ، عملکرد و کاربرد تفاوت معنی داری دارند.

3.1 فرآیند آماده سازی

کاربید تانتالوم سینتر: پودر کاربید Tantalum در دمای بالا و فشار زیاد برای شکل دادن به یک شکل ، در دمای بالا و فشار بالایی سینتر می شود. این فرایند شامل تراکم پودر ، رشد دانه و حذف ناخالصی است.

CVD Tantalum Carbide: Tantalum Carbide Gaseous Gaseous برای واکنش شیمیایی روی سطح بستر گرم شده استفاده می شود و فیلم کاربید Tantalum لایه بر روی لایه قرار می گیرد. فرآیند CVD دارای توانایی کنترل ضخامت فیلم خوب و یکنواختی ترکیب است.

3.2 ساختار ساختار

کاربید تانتالوم سینتر: به طور کلی ، این یک ساختار پلی کریستالی با اندازه و منافذ بزرگ دانه است. ریزساختار آن تحت تأثیر عواملی مانند دمای پخت ، فشار و خصوصیات پودر است.

CVD Tantalum Carbide: معمولاً یک فیلم پلی کریستالی متراکم با اندازه دانه کوچک است و می تواند به رشد بسیار گرا باشد. ریزساختار فیلم تحت تأثیر عواملی مانند دمای رسوب ، فشار گاز و ترکیب فاز گاز قرار دارد.

3.3 تفاوت عملکرد

شکل 4 تفاوت عملکرد بین TAC و CVD TAC

3.4 برنامه

کاربید تانتالوم سینتر: با توجه به استحکام بالا ، سختی زیاد و مقاومت در برابر دمای بالا ، از آن به طور گسترده ای در ابزارهای برش ، قطعات مقاوم در برابر سایش ، مواد ساختاری درجه حرارت بالا و سایر زمینه ها استفاده می شود. به عنوان مثال ، می توان از کاربید تانتالوم سینتر شده برای تولید ابزارهای برش مانند مته ها و برش های فرز برای بهبود کارایی پردازش و کیفیت سطح استفاده کرد.

CVD Tantalum Carbide: به دلیل خاصیت فیلم نازک ، چسبندگی و یکنواختی خوب ، در دستگاه های الکترونیکی ، مواد پوشش ، کاتالیزورها و زمینه های دیگر به طور گسترده استفاده می شود. به عنوان مثال ، CVD Tantalum Carbide می تواند به عنوان اتصال دهنده برای مدارهای یکپارچه ، پوشش های مقاوم در برابر سایش و حامل های کاتالیزور استفاده شود.

:

به عنوان یک تولید کننده پوشش کاربید Tantalum ، تأمین کننده و کارخانه ، نیمه هادی Vetek تولید کننده پیشرو مواد پوشش کاربید Tantalum برای صنعت نیمه هادی است.

محصولات اصلی ما شاملقطعات پوشش داده شده با کاربیدCVD، قطعات پوشش داده شده TAC برای رشد کریستال SIC یا فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی. محصولات اصلی ما حلقه های راهنمای پوشش داده شده با کاربید Tantalum ، حلقه های راهنمای پوشش داده شده TAC ، قطعات نیمه ماه پوشش داده شده TAC ، دیسک های چرخشی سیاره ای با پوشش کاربید Tantalum (Aixstron G10) ، صلیب های پوشش داده شده TAC است. حلقه های روکش شده TAC ؛ گرافیت متخلخل TAC پوشش داده شده ؛ حساس گرافیت گرافیت روکش شده با کاربید Tantalum ؛ حلقه های راهنمای پوشش داده شده TAC ؛ صفحات روکش شده با کاربید TAC Tantalum ؛ مستعار ویفر پوشش داده شده TAC ؛ کلاه های گرافیتی پوشش داده شده TAC ؛ بلوک های پوشش داده شده TAC و غیره ، با خلوص کمتر از 5ppm برای برآورده کردن نیازهای مشتری.

شکل 5. محصولات پوشش TAC با فروش داغ نیمه هادی Vetek Vetek

نیمه هادی Vetek متعهد است از طریق تحقیق و توسعه مداوم فن آوری های تکراری ، در صنعت پوشش کاربید Tantalum در صنعت پوشش کاربید Tantalum شود. 

اگر به محصولات TAC علاقه دارید ، لطفاً مستقیماً با ما تماس بگیرید.

اوباش: +86-180 6922 0752

WhatsApp: +86 180 6922 0752

ایمیل: anny@veteksemi.com