محصولات

پوشش کاربید سیلیکون

نیمه هادی VeTek در تولید محصولات پوشش کاربید سیلیکون فوق خالص تخصص دارد، این پوشش ها برای اعمال بر روی گرافیت خالص، سرامیک و اجزای فلزی نسوز طراحی شده اند.


پوشش‌های با خلوص بالا عمدتاً برای استفاده در صنایع نیمه‌رسانا و الکترونیک هدف‌گذاری شده‌اند. آنها به عنوان یک لایه محافظ برای حامل‌های ویفر، گیرنده‌ها و عناصر گرمایشی عمل می‌کنند و از آنها در برابر محیط‌های خورنده و واکنش‌پذیری که در فرآیندهایی مانند MOCVD و EPI با آن مواجه می‌شوند، محافظت می‌کنند. این فرآیندها برای پردازش ویفر و ساخت دستگاه یکپارچه هستند. علاوه بر این، پوشش‌های ما برای کاربرد در کوره‌های خلاء و گرمایش نمونه، که در آن محیط‌های خلاء، واکنش‌پذیر و اکسیژن بالا وجود دارد، مناسب هستند.


در VeTek Semiconductor، ما یک راه حل جامع با قابلیت های پیشرفته ماشین آلات خود ارائه می دهیم. این ما را قادر می سازد تا اجزای پایه را با استفاده از گرافیت، سرامیک یا فلزات نسوز تولید کنیم و پوشش های سرامیکی SiC یا TaC را در داخل خود اعمال کنیم. ما همچنین خدمات پوشش را برای قطعات عرضه شده توسط مشتری ارائه می دهیم و انعطاف پذیری را برای رفع نیازهای مختلف تضمین می کنیم.


محصولات پوشش کاربید سیلیکون ما به طور گسترده ای در اپیتاکسی Si، اپیتاکسی SiC، سیستم MOCVD، فرآیند RTP/RTA، فرآیند اچینگ، فرآیند اچ کردن ICP/PSS، فرآیند انواع مختلف LED، از جمله LED آبی و سبز، LED UV و UV عمیق استفاده می شود. LED و غیره، که با تجهیزات LPE، Aixtron، Veeco، Nuflare، TEL، ASM، Annealsys سازگار است، TSI و غیره.


قطعات راکتوری که می توانیم انجام دهیم:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


پوشش سیلیکون کاربید چندین مزیت منحصر به فرد دارد:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



پارامتر پوشش سیلیکون کاربید نیمه هادی VeTek

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC
اموال ارزش معمولی
ساختار کریستالی فاز β FCC پلی کریستالی، عمدتاً (111) گرا
چگالی پوشش SiC 3.21 گرم بر سانتی متر مکعب
سختی پوشش SiC سختی 2500 ویکرز (بار 500 گرم)
اندازه دانه 2 تا 10 میکرومتر
خلوص شیمیایی 99.99995%
ظرفیت حرارتی 640 ژون کیلوگرم-1· K-1
دمای تصعید 2700 ℃
قدرت خمشی 415 مگاپاسکال RT 4 نقطه
مدول یانگ 430 Gpa خم 4pt، 1300℃
هدایت حرارتی 300W·m-1· K-1
انبساط حرارتی (CTE) 4.5×10-6K-1

ساختار کریستالی فیلم CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
دیسک مجموعه پوشش SIC

دیسک مجموعه پوشش SIC

نیمه هادی Vetek تولید کننده برتر پوشش CVD SIC در چین است ، دیسک مجموعه ای از پوشش SIC را در راکتورهای Aixstron Mocvd ارائه می دهد. این دیسک مجموعه پوشش SIC با استفاده از گرافیت با خلوص بالا ساخته شده و دارای یک پوشش CVD SIC با ناخالصی زیر 5ppm است. از پرسش شما استقبال می شود.
مرکز جمع آوری پوشش SIC

مرکز جمع آوری پوشش SIC

نیمه هادی Vetek یک سازنده معتبر برای پوشش CVD SIC در چین است ، مرکز جمع آوری پوشش SIC برش SIC را در سیستم Aixstron G5 MOCVD به ارمغان می آورد. این مرکز جمع آوری پوشش SIC به طور دقیق با گرافیت با خلوص بالا طراحی شده و دارای یک پوشش پیشرفته CVD SIC است که از ثبات درجه حرارت بالا ، مقاومت در برابر خوردگی ، خلوص بالا اطمینان حاصل می کند.
جمع کننده پوشش SIC بالا

جمع کننده پوشش SIC بالا

به نیمه هادی Vetek ، تولید کننده قابل اعتماد از پوشش های CVD SIC خوش آمدید. ما در ارائه جمع کننده پوشش پوشش Aixstron SIC افتخار می کنیم ، که با استفاده از گرافیت با خلوص بالا مهندسی می شوند و دارای یک پوشش پیشرفته CVD SIC با ناخالصی زیر 5ppm هستند. لطفا دریغ نکنید که با هرگونه سؤال یا سؤال به ما مراجعه کنید
پایین جمع کننده پوشش SIC

پایین جمع کننده پوشش SIC

با تخصص ما در زمینه تولید پوشش CVD SIC ، نیمه هادی Vetek با افتخار Aixstron SIC Coaling Collector Collector Bottom ، Center و Top را ارائه می دهد. این پایین جمع کننده پوشش SIC با استفاده از گرافیت با خلوص بالا ساخته شده و با CVD SIC پوشش داده می شود و از ناخالصی زیر 5ppm اطمینان می دهد. برای کسب اطلاعات بیشتر و سوالات ، احساس راحتی کنید.
بخش های پوشش پوشش SIC داخلی

بخش های پوشش پوشش SIC داخلی

در نیمه هادی Vetek ، ما در تحقیق ، توسعه و صنعتی شدن پوشش CVD SIC و پوشش CVD TAC تخصص داریم. یک محصول نمونه ، بخش های پوشش پوشش SIC داخلی است که برای دستیابی به یک سطح CVD بسیار دقیق و متراکم CVD SIC ، پردازش گسترده ای انجام می دهد. این پوشش مقاومت استثنایی در برابر درجه حرارت بالا نشان می دهد و از خوردگی قوی برخوردار است. برای هرگونه سوالات با ما تماس بگیرید.
بخش های پوشش پوشش SIC

بخش های پوشش پوشش SIC

نیمه هادی VTech متعهد به توسعه و تجاری سازی قطعات پوشش داده شده CVD برای راکتورهای Aixstron است. به عنوان نمونه ، بخش های پوشش پوشش SIC ما با دقت پردازش شده اند تا یک پوشش CVD متراکم با مقاومت در برابر خوردگی عالی ، پایداری شیمیایی ، از بحث در مورد سناریوهای کاربردی با ما استفاده کنیم.
ما به عنوان یک تولید کننده و تأمین کننده 77 پوند حرفه ای در چین ، کارخانه خودمان را داریم. این که آیا شما برای تأمین نیازهای خاص منطقه خود به خدمات سفارشی نیاز دارید یا می خواهید 77 پوند پیشرفته و با دوام ساخته شده در چین خریداری کنید ، می توانید برای ما پیام بگذارید.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept