محصولات

پوشش کاربید سیلیکون

نیمه هادی VeTek در تولید محصولات پوشش کاربید سیلیکون فوق خالص تخصص دارد، این پوشش ها برای اعمال بر روی گرافیت خالص، سرامیک و اجزای فلزی نسوز طراحی شده اند.


پوشش‌های با خلوص بالا عمدتاً برای استفاده در صنایع نیمه‌رسانا و الکترونیک هدف‌گذاری شده‌اند. آنها به عنوان یک لایه محافظ برای حامل‌های ویفر، گیرنده‌ها و عناصر گرمایشی عمل می‌کنند و از آنها در برابر محیط‌های خورنده و واکنش‌پذیری که در فرآیندهایی مانند MOCVD و EPI با آن مواجه می‌شوند، محافظت می‌کنند. این فرآیندها برای پردازش ویفر و ساخت دستگاه یکپارچه هستند. علاوه بر این، پوشش‌های ما برای کاربرد در کوره‌های خلاء و گرمایش نمونه، که در آن محیط‌های خلاء، واکنش‌پذیر و اکسیژن بالا وجود دارد، مناسب هستند.


در VeTek Semiconductor، ما یک راه حل جامع با قابلیت های پیشرفته ماشین آلات خود ارائه می دهیم. این ما را قادر می سازد تا اجزای پایه را با استفاده از گرافیت، سرامیک یا فلزات نسوز تولید کنیم و پوشش های سرامیکی SiC یا TaC را در داخل خود اعمال کنیم. ما همچنین خدمات پوشش را برای قطعات عرضه شده توسط مشتری ارائه می دهیم و انعطاف پذیری را برای رفع نیازهای مختلف تضمین می کنیم.


محصولات پوشش کاربید سیلیکون ما به طور گسترده ای در اپیتاکسی Si، اپیتاکسی SiC، سیستم MOCVD، فرآیند RTP/RTA، فرآیند اچینگ، فرآیند اچ کردن ICP/PSS، فرآیند انواع مختلف LED، از جمله LED آبی و سبز، LED UV و UV عمیق استفاده می شود. LED و غیره، که با تجهیزات LPE، Aixtron، Veeco، Nuflare، TEL، ASM، Annealsys سازگار است، TSI و غیره.


قطعات راکتوری که می توانیم انجام دهیم:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


پوشش سیلیکون کاربید چندین مزیت منحصر به فرد دارد:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



پارامتر پوشش سیلیکون کاربید نیمه هادی VeTek

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC
اموال ارزش معمولی
ساختار کریستالی فاز β FCC پلی کریستالی، عمدتاً (111) گرا
چگالی پوشش SiC 3.21 گرم بر سانتی متر مکعب
سختی پوشش SiC سختی 2500 ویکرز (بار 500 گرم)
اندازه دانه 2 تا 10 میکرومتر
خلوص شیمیایی 99.99995%
ظرفیت حرارتی 640 ژون کیلوگرم-1· K-1
دمای تصعید 2700 ℃
قدرت خمشی 415 مگاپاسکال RT 4 نقطه
مدول یانگ 430 Gpa خم 4pt، 1300℃
هدایت حرارتی 300W·m-1· K-1
انبساط حرارتی (CTE) 4.5×10-6K-1

ساختار کریستالی فیلم CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
حساس کننده سیاره ای ALD

حساس کننده سیاره ای ALD

فرآیند ALD ، به معنای فرآیند اپیتاکس لایه اتمی است. تولید کنندگان نیمه هادی Vetek و سیستم ALD System System SIC با پوشش SIC ALD Planetary SensePtors که نیازهای بالای فرآیند ALD را برآورده می کند تا به طور مساوی جریان هوا را بر روی بستر توزیع کند. در عین حال ، پوشش CVD SIC با خلوص بالا ما خلوص را در این فرآیند تضمین می کند. به بحث در مورد همکاری با ما خوش آمدید.
بنابراین پوشش پشتیبانی

بنابراین پوشش پشتیبانی

نیمه هادی Vetek بر تحقیق و توسعه و صنعتی شدن پوشش CVD SIC و پوشش CVD TAC تمرکز دارد. با استفاده از حساس کننده پوشش SIC به عنوان نمونه ، این محصول با دقت بالا ، پوشش CVD متراکم CVD ، مقاومت در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی قوی بسیار فرآوری می شود. سؤال شما درباره ما خوش آمدید.
بلوک CVD SIC برای رشد کریستال SIC

بلوک CVD SIC برای رشد کریستال SIC

بلوک CVD SIC برای رشد کریستال SIC ، یک ماده اولیه خلوص بالا است که توسط نیمه هادی Vetek ساخته شده است. این نسبت ورودی خروجی بالایی دارد و می تواند کریستال های تک کاربید با کیفیت بالا و با اندازه بزرگ را رشد دهد ، که یک ماده نسل دوم برای جایگزینی پودر مورد استفاده در بازار امروز است. به بحث در مورد مسائل فنی خوش آمدید.
رشد کریستال SIC فناوری جدید

رشد کریستال SIC فناوری جدید

کاربید خلوص فوق العاده نیمه هادی وتک (SIC) که توسط رسوب بخار شیمیایی (CVD) تشکیل شده است ، به عنوان یک منبع منبع برای رشد کریستال های کاربید سیلیکون توسط حمل و نقل بخار فیزیکی (PVT) استفاده می شود. در فن آوری جدید رشد کریستال SIC ، ماده منبع در یک مصلوب بارگذاری شده و بر روی یک کریستال بذر تصویب می شود. از بلوک های CVD-SIC با خلوص بالا استفاده کنید تا به عنوان منبع رشد کریستال های SIC باشد. برای ایجاد همکاری با ما خوش آمدید.
سر دوش CVD

سر دوش CVD

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده پیشرو CVD SIC Head Head و مبتکر در چین است. ما سالهاست که در مواد SIC تخصص داریم. CVD SIC HEAD به دلیل ثبات ترموشیمیایی عالی ، مقاومت مکانیکی بالا و مقاومت در برابر فرسایش پلاسما به عنوان یک ماده حلقه تمرکز انتخاب می شود. ما مشتاقانه منتظر تبدیل شدن به شریک بلند مدت شما در چین هستیم.
سر دوش sic

سر دوش sic

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده پیشرو و مبتکر Head Shows در چین است. ما سالهاست که در مواد SIC تخصص داریم. سر دوش با توجه به ثبات ترموشیمیایی عالی ، قدرت مکانیکی بالا و مقاومت در برابر فرسایش پلاسما ، به عنوان یک ماده حلقه متمرکز انتخاب می شود.
ما به عنوان یک تولید کننده و تأمین کننده 77 پوند حرفه ای در چین ، کارخانه خودمان را داریم. این که آیا شما برای تأمین نیازهای خاص منطقه خود به خدمات سفارشی نیاز دارید یا می خواهید 77 پوند پیشرفته و با دوام ساخته شده در چین خریداری کنید ، می توانید برای ما پیام بگذارید.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept