حامی اپی

نیمه هادی Vetek یک رهبر حرفه ای چین Epi است که انجام شده ، ALD Planetary Tugor و تولید کننده پشتیبانی گرافیتی با پوشش TAC. وت پشتیبانی EPI ما یک مؤلفه مهم ازرشددر فرآیند تولید نیمه هادی. عملکرد اصلی آن پشتیبانی و گرم کردن ویفر است تا یک لایه اپیتاکسیال با کیفیت بالا به طور یکنواخت در سطح ویفر پرورش یابد.

مستعد ابتلا به EPI نیمه هادی های Vetek معمولاً از گرافیت با خلوص بالا ساخته شده و با لایه ای از کاربید سیلیکون (SIC) پوشش داده می شوند.این طرح مزایای اصلی زیر را دارد:

patail ثبات درجه حرارت بالا: مستعد EPI می تواند در یک محیط با درجه حرارت بالا پایدار بماند و از رشد یکنواخت لایه اپیتاکسیال اطمینان حاصل کند.

reg مقاومت در برابر خوردگی: پوشش SIC دارای مقاومت در برابر خوردگی عالی است و می تواند در برابر فرسایش گازهای شیمیایی مقاومت کند و عمر سرویس سینی را گسترش می دهد.

ard هدایت حرارتی: هدایت حرارتی بالای مواد SIC توزیع دمای یکنواخت ویفر را در حین گرمایش تضمین می کند و در نتیجه کیفیت لایه اپیتاکسیال را بهبود می بخشد.

tant تطبیق ضریب انبساط حرارتی: ضریب انبساط حرارتی SIC شبیه به گرافیت است و از مشکل ریختن پوشش به دلیل انبساط حرارتی و انقباض جلوگیری می کند.

خصوصیات بدنی اساسی ازپوشش CVD SIC:

فروشگاه تولید پوشش CVD SIC:

نمای کلی زنجیره صنعت Epitaxy تراشه نیمه هادی: