چگونه پوشش TaC عمر مفید اجزای گرافیت را بهبود می بخشد؟ - نیمه هادی VeTek

پوشش کاربید CVD Tantalumتوسط رسوب بخار کاربید Tantalum (TAC) بر روی سطح بستر گرافیت با خلوص بالا با استفاده از فرآیند رسوب بخار شیمیایی نیمه هادی Vetek (CVD) تولید می شود.

پوشش های کاربید تانتالم (TaC) به طور قابل توجهی عمر مفید را بهبود می بخشدقطعات گرافیتیاز طریق مکانیسم های متعدد ، به ویژه در محیط های با درجه حرارت بالا ، بسیار خورنده مانند تولید نیمه هادی و رشد کریستال. 

در اینجا دلایل خاص وجود داردپوشش های TACدوام قطعات گرافیتی را تقویت کنید:

●  مقاومت در برابر دمای بالا بهبود یافته است

پایداری حرارتی بسیار بالا: پوشش های TAC قادر به پایدار ماندن در دماهای بسیار زیاد بیش از 2000 درجه سانتیگراد هستند و حتی می توانند در 2200 درجه سانتیگراد به طور مؤثر کار کنند. این تحمل درجه حرارت بالا باعث می شود که پوشش در برابر فرسایش فلزات مذاب و گازهای شیمیایی در حین تولید نیمه هادی مقاومت کند و از این طریق عمر خدمات قطعات گرافیتی را گسترش می دهد.

reg مقاومت در برابر خوردگی عالی

مقاومت در برابر فرسایش شیمیایی: پوشش‌های TaC مقاومت بالایی در برابر گازهای خورنده مانند هیدروژن، آمونیاک و بخار سیلیکون دارند که می‌تواند به طور موثری از خوردگی این گازها بر بستر گرافیت جلوگیری کرده و خطر آسیب به قطعات گرافیت را در محیط‌های خشن کاهش دهد. این به این معنی است که در طول فرآیند رشد کریستال، پوشش می تواند از مهاجرت ناخالصی ها جلوگیری کرده و کیفیت و عملکرد کریستال را بهبود بخشد.

●  خواص مکانیکی پیشرفته

چسبندگی خوب و مقاومت در برابر شوک حرارتی: پوشش‌های TaC چسبندگی قوی به زیرلایه گرافیت دارند و تضمین می‌کنند که پوشش در طول عملیات در دمای بالا پوسته نمی‌شود یا لایه لایه نمی‌شود. علاوه بر این، مقاومت عالی در برابر شوک حرارتی آن می تواند در برابر تغییرات سریع دما بدون ترک یا پوسته شدن مقاومت کند و عمر مفید قطعات گرافیتی را بیشتر افزایش دهد.

●  آلودگی ناخالصی را کاهش دهید

خلوص فوق العاده بالا: پوشش های TAC دارای محتوای ناخالصی بسیار کمی هستند ، که به کاهش مشکلات آلودگی که ممکن است در شرایط دمای بالا رخ دهد ، کمک می کند. با جلوگیری از مهاجرت ناخواسته به لایه اپیتاکسیال ، پوشش های TAC به طور قابل توجهی خلوص و کیفیت فرآیند رشد کریستال را بهبود می بخشند.

management مدیریت حرارتی

بهبود رسانایی و مقاومت حرارتی: پوشش‌های TaC دارای رسانایی و مقاومت حرارتی نسبتاً پایینی هستند که کاربرد آن را در بخاری‌ها و سایر اجزای مدیریت حرارتی برای بهبود کارایی انرژی و کاهش اتلاف انرژی ممکن می‌سازد. این ویژگی نه تنها بازده عملیاتی را بهبود می بخشد، بلکه خستگی مواد و آسیب ناشی از گرمای بیش از حد را کاهش می دهد.