اصول و فناوری پوشش رسوب بخار فیزیکی (1/2) - نیمه هادی Vetek

روند فیزیکیروکش خلا

پوشش خلاء اساساً می تواند به سه فرآیند تقسیم شود: "تبخیر مواد فیلم" ، "حمل و نقل خلاء" و "رشد فیلم نازک". در روکش خلاء ، اگر مواد فیلم جامد باشد ، باید اقدامات لازم برای تبخیر یا تعقیب مواد فیلم جامد به گاز انجام شود ، و سپس ذرات مواد فیلم بخار شده در خلاء منتقل می شوند. در طی فرآیند حمل و نقل ، ذرات ممکن است برخورد را تجربه نکنند و مستقیماً به بستر برسند ، یا ممکن است در فضا برخورد کنند و پس از پراکندگی به سطح بستر برسند. سرانجام ، ذرات روی بستر متراکم می شوند و به یک فیلم نازک تبدیل می شوند. بنابراین ، فرآیند پوشش شامل تبخیر یا تصویب مواد فیلم ، حمل و نقل اتمهای گازی در خلاء و جذب ، انتشار ، هسته و دفع اتمهای گازی بر روی سطح جامد است.

طبقه بندی پوشش خلاء

با توجه به روش های مختلفی که در آن مواد فیلم از جامد به گازی تغییر می کنند ، و فرآیندهای حمل و نقل مختلف اتم های مواد فیلم در خلاء ، پوشش خلاء اساساً به چهار نوع تقسیم می شود: تبخیر خلاء ، پاشیدن خلاء ، آبکاری خلاء یون و رسوب بخار شیمیایی خلاء. سه روش اول نامیده می شودرسوب بخار فیزیکی (PVD)، و دومی خوانده می شودرسوب بخار شیمیایی (CVD).

روکش تبخیر خلاء

پوشش تبخیر خلاء یکی از قدیمی ترین فن آوری های پوشش خلاء است. در سال 1887 ، R. Nahrwold از تهیه فیلم پلاتین با تصویب پلاتین در خلاء خبر داد ، که منشأ پوشش تبخیر محسوب می شود. اکنون پوشش تبخیر از پوشش اولیه تبخیر مقاومت به فن آوری های مختلفی مانند پوشش تبخیر پرتو الکترونی ، پوشش تبخیر گرمایش القایی و پوشش تبخیر لیزر پالس توسعه یافته است.

گرمایش مقاومتروکش تبخیر خلاء

منبع تبخیر مقاومت وسیله ای است که از انرژی الکتریکی استفاده می کند تا مستقیم یا غیرمستقیم مواد فیلم را گرم کند. منبع تبخیر مقاومت معمولاً از فلزات ، اکسیدها یا نیتریدها با نقطه ذوب بالا ، فشار بخار کم ، پایداری شیمیایی و مکانیکی خوب مانند تنگستن ، مولیبدن ، تانتالوم ، گرافیت خلوص بالا ، سرامیک اکسید آلومینیوم ، سرامیک های نیترید و سایر مواد ساخته می شود. اشکال منابع تبخیر مقاومت عمدتاً شامل منابع رشته ، منابع فویل و صلیب است.

هنگام استفاده ، برای منابع رشته و منابع فویل ، کافی است دو انتهای منبع تبخیر را به پست های ترمینال با آجیل برسانید. Crucible معمولاً در یک سیم مارپیچ قرار می گیرد و سیم مارپیچی برای گرم کردن صلیب قابل استفاده است و سپس Crucible گرما را به مواد فیلم منتقل می کند.

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده حرفه ای چینی استپوشش کاربید Tantalum, پوشش کاربید سیلیکون, گرافیت خاص, سرامیک کاربید سیلیکونوتسرامیک های نیمه هادی دیگر.نیمه هادی Vetek متعهد به ارائه راه حل های پیشرفته برای محصولات مختلف پوشش برای صنعت نیمه هادی است.

اگر سؤالی دارید یا به جزئیات بیشتری احتیاج دارید ، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

ایمیل: anny@veteksemi.com