محصولات
صفحه پشتیبانی پایه پایه TAC
  • صفحه پشتیبانی پایه پایه TACصفحه پشتیبانی پایه پایه TAC

صفحه پشتیبانی پایه پایه TAC

پوشش TAC می تواند در برابر دمای بالای 2200 stound مقاومت کند. نیمه هادی Vetek پوشش TAC با خلوص بالا را با ناخالصی های زیر 5ppm در چین فراهم می کند. صفحه پشتیبانی پایه پایه پوشش TAC قادر به مقاومت در برابر هیدروژن آمونیاک ، آرگونین در محفظه واکنش دستگاه اپیتاکسیال است. این زندگی خدمات محصول را بهبود می بخشد. شما الزامات را ارائه می دهید ، ما سفارشی سازی را ارائه می دهیم.

نیمه هادی Vetek تولید کننده و تأمین کننده چین است که عمدتاً CVD Coan Coating Coancators ، حلقه ورودی ، Wafer Chunck ، نگهدارنده پوشش داده شده TAC ، صفحه پشتیبانی از پایه پایه TAC با سالها تجربه تولید می کند. امیدوارم با شما رابطه تجاری برقرار کنم.


سرامیک TAC دارای نقطه ذوب حداکثر 3880 ℃ ، سختی زیاد (Mohs Hardness 9 ~ 10) ، هدایت حرارتی بزرگ (22W · M-1· k−1) ، استحکام خمش بزرگ (400mpa 340 340) و ضریب انبساط حرارتی کوچک (10 66 6.−6K−1) ، و پایداری ترموشیمیایی عالی و خصوصیات بدنی عالی را نشان دهید. سازگاری شیمیایی و مکانیکی خوبی با مواد کامپوزیت گرافیت و C/C دارد ، بنابراین پوشش TAC به طور گسترده ای در محافظت از حرارتی هوافضا ، رشد کریستال تک و راکتورهای اپیتاکسیال مانند Aixstron ، راکتور LPE EPI در صنعت نیمه هادی استفاده می شود. 


گرافیت روکش شده TAC دارای مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی بهتری نسبت به جوهر سنگی لخت یا گرافیت روکش شده با SIC است ، می تواند به طور پایدار در دمای بالاتر از 2200 درجه استفاده شود ، با بسیاری از عناصر فلزی واکنش نشان نمی دهد ، نسل سوم رشد کریستال نیمه هادی ، اپیتاکسی و صحنه اتیچر و ویفر بهترین پوشش عملکرد ، می تواند به طور قابل توجهی فرایند دما و کنترل SILAF را بهبود بخشد ، آماده سازی دما و کنترل کنترل ، کنترل دما و کنترل کنترل. ویفرها این خصوصاً برای رشد کریستال GAN یا ALN در تجهیزات MOCVD و کریستال SIC در تجهیزات PVT مناسب است و کیفیت کریستال تک رشد یافته آشکارا بهبود یافته است.


پوشش TAC و قطعات یدکی پوشش SIC ما می توانیم انجام دهیم:

TaC coating and SiC coating Spare parts


پارامتر پوشش TAC:

خصوصیات فیزیکی پوشش TAC
چگالی پوشش TAC 14.3 (گرم در سانتی متر مربع)
انتشار گاز خاص 0.3
ضریب انبساط حرارتی 6.3 10-6/k
سختی پوشش TAC (HK) 2000 HK
مقاومت 1 × 10-5اهم*سانتی متر
ثبات حرارتی <2500
اندازه گرافیت تغییر می کند -10 ~ -20um
ضخامت روکش ≥20um مقدار معمولی (35m ± 10um)


چکمهزنجیره صنعتی زنجیره ای صنعتی تراشه نیمه هادی: زنجیره صنعتی:

VeTek Semiconductor chip epitaxy industry chain Industrial Chain


آن نیمه هادی استصفحه پشتیبانی پایه پایه TACفروشگاه تولیدی

VeTek Semiconductor TaC Coating Pedestal Support Plate Production Shop


تگ های داغ: TaC Coating Pedestal Support Plate
ارسال استعلام
اطلاعات تماس
  • نشانی

    جاده Wangda ، خیابان Ziyang ، شهرستان Wuyi ، شهر Jinhua ، استان ژجیانگ ، چین

  • پست الکترونیک

    anny@veteksemi.com

برای پرس و جو در مورد پوشش کاربید سیلیکون، پوشش کاربید تانتالم، گرافیت ویژه یا لیست قیمت، لطفا ایمیل خود را به ما بسپارید و ما ظرف 24 ساعت با شما تماس خواهیم گرفت.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept