گیرنده گرافیت با پوشش SiC برای ASM

اطلاعات کلی محصول

شرایط کسب و کار محصول

✔ اپلیکیشن: بستر گرافیتی با پوشش SiC Veteksemicon یک ماده مصرفی کلیدی برای تجهیزات اپیتاکسیال سری ASM است. این ویفر مستقیماً از ویفر پشتیبانی می کند و یک میدان حرارتی یکنواخت و پایدار در حین اپیتاکسی در دمای بالا فراهم می کند و آن را به یک جزء اصلی برای اطمینان از رشد با کیفیت بالا مواد نیمه هادی پیشرفته مانند GaN و SiC تبدیل می کند.

✔ خدمات قابل ارائه: تجزیه و تحلیل سناریو برنامه مشتری، مواد تطبیق، حل مشکلات فنی. 

✔ مشخصات شرکت：Veteksemicon دارای 2 آزمایشگاه، تیمی از کارشناسان با 20 سال تجربه مواد، با قابلیت تحقیق و توسعه و تولید، آزمایش و تأیید است.

پارامترهای فنی

گیرنده گرافیت با پوشش SiC Veteksemicon برای مزایای هسته ASM

1. خلوص فوق العاده و میزان نقص کم

با استفاده از زیرلایه گرافیت با درجه خلوص بالا و درجه ذرات ریز، همراه با فرآیند پوشش دهی به شدت کنترل شده با بخار شیمیایی (CVD)، ما اطمینان حاصل می کنیم که پوشش متراکم، عاری از سوراخ سوزنی و عاری از ناخالصی است. این به طور قابل توجهی خطر آلودگی ذرات را در طول فرآیند همپایی کاهش می دهد و یک محیط بستر تمیز برای رشد لایه های همپایی با کیفیت بالا فراهم می کند.

2. مقاومت در برابر خوردگی و مقاومت در برابر سایش عالی

پوشش پیرولیتیک کاربید سیلیکون دارای سختی و بی اثری شیمیایی بسیار بالایی است و به طور موثر در برابر فرسایش منابع سیلیکونی (مانند SiH4، SiHCl3)، منابع کربن (مانند C3H8) و گازهای حکاکی (مانند HCl، H2) در دماهای بالا مقاومت می کند. این به طور قابل توجهی چرخه تعمیر و نگهداری پایه را افزایش می دهد و زمان خرابی دستگاه ناشی از تعویض قطعات را کاهش می دهد.

3. یکنواختی و پایداری حرارتی عالی

ما توزیع میدان حرارتی را در محدوده دمای عملیاتی از طریق طراحی دقیق ساختار بستر و کنترل ضخامت پوشش بهینه کردیم. این به طور مستقیم به ضخامت عالی و یکنواختی مقاومت در ویفر همپایی ترجمه می شود و به بهبود عملکرد تولید تراشه کمک می کند.

4. مقاومت چسبندگی پوشش عالی

فناوری منحصر به فرد پیش تصفیه سطح و پوشش گرادیان، پوشش کاربید سیلیکون را قادر می سازد تا یک لایه پیوندی قوی با بستر گرافیت ایجاد کند و به طور موثر از پوسته شدن، پوسته پوسته شدن یا ترک خوردن پوشش که ممکن است در طول چرخه حرارتی طولانی مدت رخ دهد، جلوگیری کند.

5. اندازه دقیق و تکرار ساختاری

ما دارای قابلیت‌های ماشین‌کاری و تست CNC بالغ هستیم که به ما امکان می‌دهد هندسه پیچیده، ابعاد حفره و رابط‌های نصب پایه اصلی را به طور کامل تکرار کنیم و از تطابق کامل و عملکرد plug-and-play با پلت فرم مشتری اطمینان حاصل کنیم.

6. تایید زنجیره زیست محیطی تایید

گیرنده گرافیت با پوشش Veteksemicon SiC برای تأیید زنجیره زیست محیطی ASM مواد خام را برای تولید پوشش می دهد، گواهی استاندارد بین المللی را گذرانده است و دارای تعدادی فناوری ثبت شده برای اطمینان از قابلیت اطمینان و پایداری آن در زمینه های نیمه هادی و انرژی های جدید است.

برای مشخصات فنی دقیق، کاغذهای سفید یا ترتیبات آزمایش نمونه، لطفاً با تیم پشتیبانی فنی ما تماس بگیرید تا بررسی کنید که چگونه Veteksemicon می تواند کارایی فرآیند شما را افزایش دهد.

فیلدهای برنامه اصلی

فروشگاه محصولات رقیب من