پشتیبانی چرخش گرافیت

Wafer Sosector یک فرآیند رشد اپیتاکسیال ضروری است. در طول رشد اپیتاکسیال ، بستر ویفر در Sustinator قرار می گیرد. VETEK نیمه هادی گرافیت با خلوص گرافیت باختگی در تجهیزات پردازش مواد تحت محیط های با درجه حرارت بالا و خلاء بالا استفاده می شود. در رشد اپیتاکسی نیترید گالیم (فرآیند MOCVD) ، آنها نقش مهمی در چرخش بستر دارند. SESIPTOR GRAPHITE ROTATING GRAPHITE VETEK مزایای زیر را دارد:

● خلوص بالا: محتوای ناخالصی در حساسیت های چرخشی گرافیت با خلوص بالا زیر 5ppm است. این سطح از گرافیت خلوص می تواند از انتشار ناخالصی ها در دماهای بالا جلوگیری کند تا از پاکیزگی فرآیند رسوب اطمینان حاصل شود. بنابراین ، برای پاسخگویی به نیازهای کاری ، هیچ روکش لازم نیست.

گرافیت خلوص بالا

properties خواص حرارتی عالی: گرافیت با خلوص بالا دارای هدایت حرارتی عالی است و هدایت حرارتی آن بسیار بیشتر از سایر مواد است. ضریب انبساط حرارتی اندک است و می تواند هنگام تجربه تغییرات دما ، عملکرد پایدار را حفظ کند.

properties خصوصیات مکانیکی خوب: گرافیت با خلوص بالا از مقاومت و چقرمگی سایش خوبی برخوردار است که می تواند نیازهای پیچیده فرآیند CVD را برآورده کند.

ard هدایت عالی: رسانایی صد برابر بیشتر از مواد معدنی غیر فلزی عمومی است.

stability ثبات شیمیایی: می تواند در برابر خوردگی اسیدها ، قلیایی ها و حلالهای آلی مقاومت کند

علاوه بر این ، به عنوان یک تولید کننده پیشرو و تأمین کننده حساسیت چرخشی گرافیت بالا در چین ، نیمه هادی Vetek نیز با کیفیت بالا تأمین می کندحساس گرافیت روکش شده SIC برای MOCVD, حساس بشکه روکش شده, پشتیبانی از گرافیت پوشش داده شده TACوتMOCVD SIC SICATING.نیمه هادی Vetek متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است و همچنین از خدمات سفارشی پشتیبانی می کند. ما صمیمانه مشتاقانه منتظر تبدیل شدن به شریک بلند مدت شما در چین هستیم.

آن نیمه هادی استمغازه های محصول Susptor Rotating Graphite: