حساس گرافیت روکش شده SIC برای MOCVD

گیرنده گرافیت با پوشش SiC نیمه هادی VeTek برای MOCVD یک حامل گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا است که به طور خاص برای رشد لایه همپایه روی تراشه های ویفر طراحی شده است. به عنوان یک جزء اصلی در پردازش MOCVD، که معمولاً به شکل چرخ دنده یا حلقه شکل می‌گیرد، مقاومت فوق‌العاده‌ای در برابر حرارت و مقاومت در برابر خوردگی دارد و ثبات را در محیط‌های شدید تضمین می‌کند.

ویژگی های کلیدی گیرنده گرافیت پوشش داده شده MOCVD SiC:

stover پوشش مقاوم در برابر پوسته: پوشش یکنواخت پوشش SiC روی تمام سطوح را تضمین می کند و خطر جدا شدن ذرات را کاهش می دهد.

star مقاومت اکسیداسیون با دمای بالا عالیce: در دماهای تا 1600 درجه سانتی گراد پایدار می ماند

●   خلوص بالا: تولید شده از طریق رسوب بخار شیمیایی CVD ، مناسب برای شرایط کلر با دمای بالا

●   مقاومت در برابر خوردگی برتر: در برابر اسیدها ، قلیایی ها ، نمک ها و معرفهای آلی بسیار مقاوم است

●   الگوی جریان هوای آرام بهینه شده: یکنواختی دینامیک جریان هوا را افزایش می دهد

توزیع حرارتی یکنواخت: توزیع پایدار گرما را در فرآیندهای با دمای بالا تضمین می کند

reging پیشگیری از آلودگی: از انتشار آلاینده ها یا ناخالصی ها جلوگیری می کند و تمیزی ویفر را تضمین می کند

در نیمه هادی Vetek ، ما به استانداردهای دقیق کیفیت پایبند هستیم و محصولات و خدمات قابل اعتماد را به مشتریان خود ارائه می دهیم. ما فقط مواد پریمیوم را انتخاب می کنیم ، تلاش می کنیم تا نیازهای عملکرد صنعت را برآورده کنیم و فراتر از آن باشیم. حساس گرافیت پوشش داده شده ما برای MOCVD این تعهد به کیفیت را نشان می دهد. برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد چگونگی پشتیبانی از نیازهای پردازش ویفر نیمه هادی شما با ما تماس بگیرید.

ساختار کریستالی فیلم CVD SIC:

خصوصیات بدنی اساسی پوشش CVD SIC:

نیمه هادی VeTek ماتری گیرنده گرافیت با پوشش SiC: