حساس بشکه گرافیتی با روکش SIC برای EPI

✔ کاهش آلودگی: ماهیت بی اثر SIC مانع از ناخالصی ها به سطح حساسیت می شود و خطر آلودگی فیلم های سپرده شده را کاهش می دهد.

✔ افزایش مقاومت در برابر فرسایش: SiC به طور قابل توجهی نسبت به گرافیت معمولی در برابر فرسایش مقاوم‌تر است که منجر به طول عمر طولانی‌تری برای گیرنده می‌شود.

✔ بهبود پایداری حرارتی: SIC دارای هدایت حرارتی عالی است و می تواند بدون تحریف قابل توجهی در برابر درجه حرارت بالا مقاومت کند.

✔ بهبود کیفیت فیلم: پایداری حرارتی بهبود یافته و کاهش آلودگی منجر به فیلم های رسوب شده با کیفیت بالاتر با یکنواختی و کنترل ضخامت بهبود یافته است.

LED LED های مبتنی بر گان

✔ الکترونیک قدرت

✔ دستگاه های الکترونیکی نوری

transistors با فرکانس بالا

✔ حسگرها

پارامتر محصول از حساس بشکه گرافیتی پوشش داده شده SIC

        توجه: قبل از پوشش ، تصفیه اول ، پس از پوشش ، تصفیه دوم را انجام خواهیم داد.

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC