محصولات

پوشش کاربید سیلیکون

نیمه هادی VeTek در تولید محصولات پوشش کاربید سیلیکون فوق خالص تخصص دارد، این پوشش ها برای اعمال بر روی گرافیت خالص، سرامیک و اجزای فلزی نسوز طراحی شده اند.


پوشش‌های با خلوص بالا عمدتاً برای استفاده در صنایع نیمه‌رسانا و الکترونیک هدف‌گذاری شده‌اند. آنها به عنوان یک لایه محافظ برای حامل‌های ویفر، گیرنده‌ها و عناصر گرمایشی عمل می‌کنند و از آنها در برابر محیط‌های خورنده و واکنش‌پذیری که در فرآیندهایی مانند MOCVD و EPI با آن مواجه می‌شوند، محافظت می‌کنند. این فرآیندها برای پردازش ویفر و ساخت دستگاه یکپارچه هستند. علاوه بر این، پوشش‌های ما برای کاربرد در کوره‌های خلاء و گرمایش نمونه، که در آن محیط‌های خلاء، واکنش‌پذیر و اکسیژن بالا وجود دارد، مناسب هستند.


در VeTek Semiconductor، ما یک راه حل جامع با قابلیت های پیشرفته ماشین آلات خود ارائه می دهیم. این ما را قادر می سازد تا اجزای پایه را با استفاده از گرافیت، سرامیک یا فلزات نسوز تولید کنیم و پوشش های سرامیکی SiC یا TaC را در داخل خود اعمال کنیم. ما همچنین خدمات پوشش را برای قطعات عرضه شده توسط مشتری ارائه می دهیم و انعطاف پذیری را برای رفع نیازهای مختلف تضمین می کنیم.


محصولات پوشش کاربید سیلیکون ما به طور گسترده ای در اپیتاکسی Si، اپیتاکسی SiC، سیستم MOCVD، فرآیند RTP/RTA، فرآیند اچینگ، فرآیند اچ کردن ICP/PSS، فرآیند انواع مختلف LED، از جمله LED آبی و سبز، LED UV و UV عمیق استفاده می شود. LED و غیره، که با تجهیزات LPE، Aixtron، Veeco، Nuflare، TEL، ASM، Annealsys سازگار است، TSI و غیره.


قطعات راکتوری که می توانیم انجام دهیم:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


پوشش سیلیکون کاربید چندین مزیت منحصر به فرد دارد:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



پارامتر پوشش سیلیکون کاربید نیمه هادی VeTek

خواص فیزیکی اولیه پوشش CVD SiC
اموال ارزش معمولی
ساختار کریستالی فاز β FCC پلی کریستالی، عمدتاً (111) گرا
چگالی پوشش SiC 3.21 گرم بر سانتی متر مکعب
سختی پوشش SiC سختی 2500 ویکرز (بار 500 گرم)
اندازه دانه 2 تا 10 میکرومتر
خلوص شیمیایی 99.99995%
ظرفیت حرارتی 640 ژون کیلوگرم-1· K-1
دمای تصعید 2700 ℃
قدرت خمشی 415 مگاپاسکال RT 4 نقطه
مدول یانگ 430 Gpa خم 4pt، 1300℃
هدایت حرارتی 300W·m-1· K-1
انبساط حرارتی (CTE) 4.5×10-6K-1

ساختار کریستالی فیلم CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
ald برتر

ald برتر

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده حرفه ای ALD Selesperor چین است. Vetek به طور مشترک پایه های سیاره ای ALD با پوشش SIC را با تولید کنندگان سیستم ALD توسعه داده و تولید کرده است تا نیازهای بالای فرآیند ALD را برآورده کند. از مشاوره خود خوش آمدید
سقف پوشش داده شده CVD

سقف پوشش داده شده CVD

سقف پوشش داده شده CVD نیمه هادی Vetek دارای خواص عالی مانند مقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت در برابر خوردگی ، سختی زیاد و ضریب انبساط حرارتی کم است و آن را به یک انتخاب ایده آل در ساخت نیمه هادی تبدیل می کند. به عنوان یک تولید کننده و تأمین کننده سقف CVD SIC پیشرو در چین ، نیمه هادی Vetek منتظر مشاوره شما است.
MOCVD EPI SUSCEPTER

MOCVD EPI SUSCEPTER

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده حرفه ای در MOCVD LED EPI Seleptor در چین است. MOCVD LED LED ما EPI Susticor برای خواستار برنامه های تجهیزات اپیتاکسیال طراحی شده است. هدایت حرارتی بالا ، پایداری شیمیایی و دوام آن از عوامل اصلی برای اطمینان از یک فرآیند رشد پایدار اپیتاکسیال و تولید فیلم نیمه هادی است.
پوشش SIC SIC ALD SUSIPITOR

پوشش SIC SIC ALD SUSIPITOR

پوشش SIC SIC ALD SESIPITOR یک مؤلفه پشتیبانی است که به طور خاص در فرآیند رسوب لایه اتمی (ALD) استفاده می شود. این نقش اساسی در تجهیزات ALD دارد و از یکنواختی و دقت فرآیند رسوب اطمینان می دهد. ما معتقدیم که محصولات حساس سیاره ALD ما می توانند راه حل های محصول با کیفیت بالا را برای شما به ارمغان بیاورند.
CVD SIC BAFFLE

CVD SIC BAFFLE

بافل پوشش CVD SIC Vetek عمدتاً در Epitaxy SI استفاده می شود. معمولاً با بشکه های پسوند سیلیکون استفاده می شود. این ترکیب دمای بالا و پایداری منحصر به فرد از بافل پوشش CVD SIC است که توزیع یکنواخت جریان هوا در ساخت نیمه هادی را تا حد زیادی بهبود می بخشد. ما معتقدیم که محصولات ما می توانند فناوری پیشرفته و راه حل های محصول با کیفیت بالا را برای شما به ارمغان بیاورند.
سیلندر گرافیت CVD SIC

سیلندر گرافیت CVD SIC

سیلندر گرافیتی CVD SIC نیمه هادی Vetek در تجهیزات نیمه هادی محوری است و به عنوان یک سپر محافظ در راکتورها برای محافظت از اجزای داخلی در تنظیمات درجه حرارت و فشار بالا عمل می کند. این به طور موثری در برابر مواد شیمیایی و گرمای شدید ، حفظ یکپارچگی تجهیزات محافظت می کند. با مقاومت در برابر سایش و خوردگی استثنایی ، طول عمر و ثبات را در محیط های چالش برانگیز تضمین می کند. استفاده از این پوشش ها باعث افزایش عملکرد دستگاه نیمه هادی ، طولانی شدن طول عمر و کاهش الزامات نگهداری و ریسک خسارت می شود.
ما به عنوان یک تولید کننده و تأمین کننده 77 پوند حرفه ای در چین ، کارخانه خودمان را داریم. این که آیا شما برای تأمین نیازهای خاص منطقه خود به خدمات سفارشی نیاز دارید یا می خواهید 77 پوند پیشرفته و با دوام ساخته شده در چین خریداری کنید ، می توانید برای ما پیام بگذارید.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept