Providence Veeco Mocvd

این نیمه هادی استVeeco MocvdWafer Suspicor یک مؤلفه مهم است که با استفاده از گرافیت Ultrapure با A با دقت مهندسی شده استروکش کاربید سیلیکون (SIC)بشر اینروکشمزایای بی شماری را فراهم می کند ، مهمترین آنها امکان انتقال حرارتی کارآمد به بستر را فراهم می کند. دستیابی به توزیع حرارتی بهینه در بستر برای کنترل دمای یکنواخت ، اطمینان از رسوب سازگار با فیلم نازک با کیفیت بالا ، که در ساخت دستگاه نیمه هادی بسیار مهم است.

پارامترهای فنی

ماتریس خصوصیات مواد

شاخص های کلیدی راه حل های سنتی استاندارد Vetek

خلوص مواد پایه 6n گرافیت ایزوستاتیک 5N گرافیت قالب

درجه تطبیق CTE (25-1400 ℃) Δα ≤0.3 × 10 ⁻⁶/ k δα ≥1.2 × 10 ⁻⁶/ k

هدایت حرارتی @800 ℃ 110 w/m · k 85 w/m · k

زبری سطح (RA) ≤0.1μm ≥0.5 میکرومتر

تحمل اسید (pH = 1@80 ℃) 1500 چرخه 300 چرخه

بازسازی مزیت اصلی

نوآوری مدیریت حرارتی

تکنیک تطبیق CTE اتمی

ژاپن Toyo Carbon Graphite/SGL بستر + پوشش شیب SIC

استرس چرخه حرارتی 82 ٪ کاهش یافته است (اندازه گیری 500 چرخه RRT بدون ترک خوردگی)

طراحی میدان حرارتی هوشمند

ساختار جبران دمای 12 منطقه: یکنواختی 0.5 ℃ به یکنواختی در سطح ویفر φ200mm دست می یابد

پاسخ حرارتی پویا: گرادیان دما 1.2 ℃/سانتی متر با سرعت گرمایش 5 ℃ در ثانیه

سیستم حفاظ شیمیایی
سد کامپوزیت سه گانه

50μm لایه محافظ SIC متراکم SIC

لایه انتقال Nanotac (اختیاری)

تراکم نفوذ فاز گاز

تأیید شده توسط ASTM G31-21:

میزان خوردگی پایه CL <0.003mm/سال

NH3 به مدت 1000 ساعت بدون خوردگی مرز دانه در معرض

سیستم تولید هوشمند

پردازش دوقلوی دیجیتال

مرکز ماشینکاری پنج محور: دقت موقعیت 1.5μm

بازرسی اسکن سه بعدی آنلاین: 100 ٪ تأیید اندازه کامل (مطابق با ASME Y14.5)

ارائه ارزش مبتنی بر سناریو

نسل سوم تولید توده نیمه هادی

پارامترهای فرآیند سناریوی برنامه مزایای مشتری

GAN HEMT 6 اینچ /150μm نوسان چگالی گاز دو بعدی اپیتاکسیال <2 ٪

یکنواختی دوپینگ MOSFET SIC ± 3 ٪ انحراف ولتاژ آستانه 40 ٪ کاهش می یابد

یکنواختی طول موج میکرو LED 1.2 نانومتر سطل تراشه 15 ٪ افزایش یافته است

بهینه سازی هزینه نگهداری

دوره تمیز کردن 3 بار تمدید می شود: HF: HNO ₃ = 1: 3 تمیز کردن با شدت بالا پشتیبانی می شود

قطعات یدکی سیستم پیش بینی زندگی: دقت الگوریتم AI 5 ٪ پوند

Vetek نیمه هادی VETEK VEOECO MOCVD مغازه های حساس: