بخاری MOCVD

بخاری Mocvd Veteksemi از مواد گرافیتی با خلوص بالا با محتوای ناخالصی که به شدت زیر 5 ppm کنترل می شود ، ساخته شده است و با کاربید سیلیکون خلوص فوق العاده بالا (SIC) با خلوص بیش از 99.99995 از طریق یک پوشش داده می شود.فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD). این ترکیب از مواد به بخاری یک سری ویژگی های کلیدی می دهد که عملکرد عالی آن را تضمین می کندرسوب بخار شیمیایی آلی فلزی (MOCVD)روند

یکی از ویژگی های بارز بخاری VEECO MOCVD خلوص شیمیایی فوق العاده آن است. هسته گرافیتی با خلوص بالا تا حد زیادی احتمال ورود آلاینده‌ها را در فرآیند دمای بالا کاهش می‌دهد و فرآیند رسوب فیلم فوق‌العاده تمیز را تضمین می‌کند. راپوشش CVD SICمحافظت بیشتری برای بخاری فراهم می کند و یک مانع قوی برای جلوگیری از واکنش های شیمیایی که ممکن است به کیفیت فیلم آسیب برساند ، ایجاد می کند. این خلوص بی نظیر برای تولید دستگاه های نیمه هادی قابل اطمینان و قابل اعتماد ضروری است.

در عین حال، بخاری پایداری حرارتی و راندمان بسیار بالایی را نشان می دهد. SiC دارای نقطه ذوب بالا و هدایت حرارتی عالی است که به بخاری اجازه می دهد تا گرما را به طور موثر مدیریت و هدایت کند. این امر گرمایش یکنواخت را در سراسر بستر تضمین می کند که به نوبه خود به رسوب یکنواخت فیلم و کاهش عیوب ناشی از گرادیان های حرارتی کمک می کند. چنین بازده حرارتی به ویژه برای ساخت دقیق مهم است.

بخاری VEECO MOCVD همچنین در عملکرد الکتریکی عالی است. هسته گرافیتی با خلوص بالا دارای رسانایی الکتریکی عالی است و به بخاری اجازه می دهد تا نیازهای بار الکتریکی بالا را تحمل کند. این عملکرد الکتریکی پایدار به بخاری اجازه می دهد تا کنترل دقیق دما و نرخ رسوب را در شرایط بار بالا حفظ کند، که برای اطمینان از شرایط فرآیند سازگار و بهبود راندمان تولید نیمه هادی بسیار مهم است.

طراحی سطح بخاری به دقت بهینه شده است تا دارای تابش زیرلایه بالایی باشد که به طور قابل توجهی کارایی انتقال حرارت تابشی را بهبود می بخشد. توانایی گرم کردن یکنواخت یک عامل کلیدی در تضمین ضخامت و ویژگی‌های رسوب لایه ثابت است. طراحی سطح با انتشار بالا همچنین بازده حرارتی کلی بخاری را بهبود می بخشد و در نتیجه مصرف انرژی و هزینه های عملیاتی را کاهش می دهد.

از نظر دوام، بخاری VEECO MOCVD VeTeksemi مقاومت بسیار خوبی در برابر خوردگی، مقاومت در برابر اکسیداسیون و استحکام مکانیکی از خود نشان می دهد. پوشش CVD SiC یک سد محکم در برابر گازهای خورنده و مواد شیمیایی رایج در فرآیندهای MOCVD ایجاد می کند، در نتیجه عمر تجهیزات را افزایش می دهد و نیازهای تعمیر و نگهداری و هزینه های جایگزینی را کاهش می دهد. مقاومت در برابر اکسیداسیون آن تضمین می کند که بخاری در دماهای بالا بدون کاهش عملکرد پایدار می ماند و پایداری طولانی مدت را تضمین می کند.

علاوه بر این ، قدرت مکانیکی بالای بخاری MOCVD Veteksemi ، آن را قادر می سازد تا در برابر فشارهای فیزیکی ایجاد شده در طول دوچرخه سواری حرارتی و کنترل بستر مقاومت کند. استحکام آن خطر خرابی مکانیکی را کاهش می دهد و عملکرد قابل اعتماد تجهیزات را در شرایط سخت فرآیند تضمین می کند.

VeTeksemi به عنوان یک تولید کننده و تامین کننده پیشرفته محصولات هیتر VEECO MOCVD، انواع محصولات بخاری باکیفیت مانندبخاری روکش TAC, گرم کن گرافیتی با پوشش سرامیک کاربید سیلیکون, بخاری با پوشش سرامیکی کاربید سیلیکونو غیره. VeTek Semiconductor متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و قابل تنظیم و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است. ما صمیمانه امیدواریم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.