گرافیت متخلخل چیست؟ - نیمه هادی VeTek

گرافیت متخلخلیک ماده کربن مهندسی شده حاوی شبکه ای از منافذ در ساختار گرافیت آن است. ویژگی های کلیدی آن عبارتند از تخلخل، توزیع اندازه منافذ، نفوذپذیری، چگالی ظاهری و خواص حرارتی. در تولید نیمه هادی، اجزای گرافیت متخلخل با خلوص بالا انتخاب شده در سیستم های رشد کریستالی انتقال بخار فیزیکی (PVT) کاربید سیلیکون (SiC) برای پشتیبانی از عملکردهای انتقال گاز و میدان حرارتی خاص استفاده می شود. عملکرد مواد به درجه گرافیت، ساختار منافذ، خلوص و شرایط عملیاتی بستگی دارد.

ساختار متخلخل گرافیت

گرافیت متخلخل یک محصول ساختار متخلخل است که از گرافیت به عنوان ماده پایه ساخته شده است. مواد آن از گرافیت با خلوص بالا ساخته شده است. پارامترهای فیزیکی گرافیت متخلخل نیمه هادی VeTek با توجه به فرآیند تولید و کاربرد خاص متفاوت است. پارامترهای فیزیکی رایج زیر هستند:

گرافیت متخلخل از گرافیت با خلوص بالا ساخته شده است و دارای رسانایی الکتریکی عالی، هدایت حرارتی، مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون، پایداری شیمیایی و ویژگی های دیگر است. این به طور گسترده ای در صنعت پردازش نیمه هادی استفاده می شود.

در فرآیند پردازش نیمه هادی، گرافیت متخلخل به طور گسترده در جنبه های زیر استفاده می شود:

همراه با مقاومت عالی گرافیت متخلخل در دمای بالا و پایداری شیمیایی مانند مقاومت در برابر خوردگی خوب در برابر اکثر مواد شیمیایی مانند اسیدها، قلیایی ها و حلال ها، گرافیت متخلخل اغلب در تجهیزات پخت و عملیات حرارتی در دمای بالا استفاده می شود. به عنوان مثال، گرافیت متخلخل را می توان به عنوان پوشش، مواد عایق یا مواد پشتیبانی برای کوره های با دمای بالا استفاده کرد.

علاوه بر این،

مولفه گرافیت متخلخل رشد کریستال SiCدارای هدایت الکتریکی و پایداری حرارتی عالی برای ایجاد میدان حرارتی یکنواخت و خواص الکتریکی پایدار است. بنابراین، این محصول اغلب در فرآیند انتشار یا اکسیداسیون پردازش نیمه هادی به عنوان منبع انتشار یا ماده الکترود استفاده می شود.

ساختار متخلخل گرافیت متخلخل می تواند گازهای مورد استفاده در پردازش نیمه هادی را فیلتر و خالص کند، آلودگی ذرات احتمالی را کاهش دهد و تمیزی بالا را در طول پردازش تضمین کند. قطعات گرافیت متخلخل با ساختار متخلخل و نفوذپذیری خوب هوا، می توانند به عنوان پایه و فیکسچر در سیستم جذب خلاء برای تثبیت ویفرها یا سایر اجزا از طریق جذب کارآمد خلاء استفاده شوند.

با تنظیم فرآیند تف جوشی گرافیت، VeTek Semiconductor می تواندمواد گرافیتی متخلخل را با اندازه‌های منافذ و تخلخل‌های مختلف سفارشی کنید تا نیازهای کاربردی مختلف را برآورده کنید.

                                                                                                  گرافیت متخلخل                 گرافیت متخلخل رشد کریستال SiC           بوته گرافیتی سه گلبرگ

در واقع، VeTek Semiconductor در بازار گیره‌های گرافیتی با روکش sic، بازار بوته‌های گرافیتی با روکش tac و بازار سینی‌های گرافیتی با روکش کاربید سیلیکون، موقعیت پیشرو در بازار مطلق دارد. VeTek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای چینی، تامین کننده، کارخانه محصولات ویژه گرافیت، مانندگرافیت متخلخل رشد کریستال SiC, پوشش کربن پیرولیتیک, پوشش کربن زجاجیه, گرافیت ایزوتروپیک, گرافیت سیلیکون شدهوورق گرافیت با خلوص بالا. ما متعهد به ارائه راه حل های پیشرفته برای محصولات مختلف گرافیت ویژه برای صنعت نیمه هادی هستیم.

اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

Mob/WhatsAPP: 0752 6922 180-86+

ایمیل: anny@veteksemi.com