گرافیت متخلخل رشد کریستال SiC

گرافیت متخلخل متخلخل رشد کریستال SIC ماده ای است که از گرافیت متخلخل با ساختار منافذ بسیار قابل کنترل ساخته شده است. در پردازش نیمه هادی ، هدایت حرارتی عالی ، مقاومت در برابر دمای بالا و پایداری شیمیایی را نشان می دهد ، بنابراین در رسوب بخار فیزیکی ، رسوب بخار شیمیایی و سایر فرآیندها به طور قابل توجهی مورد استفاده قرار می گیرد ، و به طور قابل توجهی کارایی فرآیند تولید و کیفیت محصول را بهبود می بخشد و به یک نیمه هادی بهینه تبدیل می شود. مواد بسیار مهم برای تولید تجهیزات.

در فرآیند PVD، گرافیت متخلخل رشد کریستال SiC معمولا به عنوان تکیه گاه یا فیکسچر بستر استفاده می شود. عملکرد آن پشتیبانی از ویفر یا سایر بسترها و اطمینان از پایداری مواد در طول فرآیند رسوب است. رسانایی حرارتی گرافیت متخلخل معمولاً بین 80 W/m·K و 120 W/m·K است که به گرافیت متخلخل این امکان را می‌دهد تا گرما را سریع و یکنواخت هدایت کند، از گرمای بیش از حد موضعی جلوگیری می‌کند، در نتیجه از رسوب ناهموار لایه‌های نازک جلوگیری می‌کند و راندمان فرآیند را تا حد زیادی بهبود می‌بخشد. .

علاوه بر این ، محدوده تخلخل معمولی گرافیت متخلخل رشد کریستال SIC 40 ~ 40 ٪ است. این ویژگی می تواند به پراکندگی جریان گاز در محفظه خلاء کمک کند و از تأثیر جریان گاز در یکنواختی لایه فیلم در طی فرآیند رسوب جلوگیری کند.

در فرآیند CVD، ساختار متخلخل گرافیت متخلخل رشد کریستال SiC مسیر ایده آلی را برای توزیع یکنواخت گازها فراهم می کند. گاز راکتیو از طریق یک واکنش شیمیایی فاز گاز بر روی سطح بستر رسوب می‌کند تا یک لایه نازک تشکیل شود. این فرآیند مستلزم کنترل دقیق جریان و توزیع گاز راکتیو است. تخلخل 20% تا 40% گرافیت متخلخل می تواند به طور موثری گاز را هدایت کرده و به طور یکنواخت آن را روی سطح بستر توزیع کند و یکنواختی و قوام لایه فیلم رسوب شده را بهبود بخشد.

گرافیت متخلخل معمولاً به عنوان لوله های کوره، حامل بستر یا مواد ماسک در تجهیزات CVD، به ویژه در فرآیندهای نیمه هادی که به مواد با خلوص بالا نیاز دارند و نیازهای بسیار بالایی برای آلودگی ذرات دارند، استفاده می شود. در عین حال، فرآیند CVD معمولاً شامل دماهای بالا می‌شود و گرافیت متخلخل می‌تواند پایداری فیزیکی و شیمیایی خود را در دماهای تا 2500 درجه سانتی‌گراد حفظ کند و آن را به یک ماده ضروری در فرآیند CVD تبدیل کند.

علیرغم ساختار متخلخل آن ، گرافیت متخلخل متخلخل رشد کریستال هنوز هم از قدرت فشاری 50 مگاپاسکال برخوردار است ، که برای تحمل تنش مکانیکی تولید شده در تولید نیمه هادی کافی است.

Veteksemi به عنوان رهبر محصولات گرافیت متخلخل در صنعت نیمه هادی چین، همیشه از خدمات سفارشی سازی محصول و قیمت رضایت بخش محصولات پشتیبانی می کند. مهم نیست که نیازهای خاص شما چیست، ما بهترین راه حل را برای گرافیت متخلخل شما مطابقت خواهیم داد و منتظر مشاوره شما در هر زمان هستیم.

خواص فیزیکی پایه گرافیت متخلخل رشد کریستال SiC:

فروشگاه های محصولات گرافیتی متخلخل رشد کریستال سی سی سی سی نیمه هادی VeTek:

مروری بر زنجیره صنعت اپیتاکسی تراشه های نیمه هادی: