چاک الکترواستاتیک (ESC) چیست؟

چاک الکترواستاتیک (ESC) ، همچنین به عنوان چاک الکترواستاتیک (ESC ، E-Chuck) شناخته می شود ، یک فیکسچر است که از اصل جذب الکترواستاتیک برای نگه داشتن و رفع مواد جذب شده استفاده می کند. برای محیط های خلاء و پلاسما مناسب است. عملکرد اصلی آن جذب فوق العاده استورق های نازک تمیز (مانند ویفرهای سیلیکون) و مواد جذب شده را در یک صافی خوب نگه دارید ، که همچنین می تواند در طی فرآیند تغییر شکل مواد جذب شده را مهار کند و می تواند دمای جاذب را تنظیم کند.

یک چاک الکترواستاتیک (ESC) نوع خاصی از چاک است که از نیروی الکترواستاتیک برای نگه داشتن ، فشار و انتخاب اشیاء (قطعه های کاری) استفاده می کند. هر ماده ای دارای بار مثبت و منفی است که برای چشم غیر مسلح نامرئی است. هنگامی که مواد روی ESC قرار می گیرند و یک ولتاژ دو قطبی به الکترودهای داخلی ESC اعمال می شود ، بارهای مثبت و منفی در داخل مواد حرکت می کنند تا با قطبیت الکترودهای داخلی ESC مطابقت داشته باشد. این جذابیت بین ESC و مواد به نیروی الکترواستاتیک گفته می شود و همچنین اصل اساسی پشت چاک ما است.

مزایای محصول

دارای دامنه دمای کار گسترده (-50 تا 700 ℃)

این فنجان های مکش الکترواستاتیک دارای مقاومت عالی ، هدایت حرارتی و مقاومت در برابر شوک حرارتی هستند و می توانند از طریق کنترل مقاومت به حجم سرامیکی اختصاصی NGK با دامنه دما گسترده سازگار شوند.

مقاومت در برابر خوردگی بالا

این فنجان های مکش الکترواستاتیک مقاومت در برابر خوردگی عالی در برابر گازهای هالوژن دارند.

پردازش ذرات کم

درمان با ذرات کم از طریق تصفیه سطح و تمیز کردن ویژه قابل دستیابی است

خلوص بالا

محصولاتی با خلوص 99.9 ٪ یا بالاتر نیز در دسترس هستند.

تابع گرمایشی

فناوری تعبیه شده با دقت بالا می تواند با عملکرد بخاری یکپارچه شود و دمای ویفر را می توان در 1 ± inderct کنترل کرد.

تابع خنک کننده

این فنجان های مکش الکترواستاتیک با اتصال صفحات سرامیکی با هدایت حرارتی بالا و صفحات خنک کننده ، عملکرد خنک کننده بسیار بالایی دارند.

الکترود فرکانس رادیویی

الکترودهای فلزی فله به طور همزمان می توانند بستن ویفر پایدار و تولید پلاسما فرکانس رادیویی را فراهم کنند.

Pساقه

1.در زمینه نیمه هادی و تولید الکترونیکی: در طی فرایندهای نیمه هادی و تولید الکترونیکی ، از فنجان های مکش الکترواستاتیک برای رفع و رسیدگی به ویفرهای سیلیکونی نازک و شکننده ، ویفرها و غیره استفاده می شود.

2. صنعت شیشه و سرامیک: در طی فرآیندهای برش ، سنگ زنی و دست زدن به شیشه و سرامیک ، فنجان های مکش الکترواستاتیک می توانند عملیات غیر مخرب را روی مواد شکننده انجام دهند و میزان شکستگی محصول را کاهش دهند.

3. ساخت ماشین آلات دقیق و اجزای نوری: برای ماشین آلات دقیق و اجزای نوری ، فنجان های مکش الکترواستاتیک می توانند نیروی جذب پایدار را فراهم کنند ، از تغییر شکل یا خراش در طول پردازش جلوگیری کنند.

4. خطوط تولید خودکار: در خطوط تولید خودکار ، فنجان های مکش الکترواستاتیک به طور گسترده ای در موقعیت یابی ، کنترل و مونتاژ قطعات و غیره استفاده می شود و باعث افزایش درجه اتوماسیون و کارآیی خط تولید می شود.