کوارتز مات ذوب شده

کوارتز مات ذوب شده عمدتاً توسط همجوشی الکتریکی ساخته می شود که از گرمایش الکتریکی با دمای بالا برای ذوب شن کوارتز با خلوص بالا برای تولید شیشه کوارتز با تعداد زیادی میکروحباب با خواص مات استفاده می کند. کوارتز ذوب شده الکتریکی حاوی تعداد زیادی حباب کوچک در داخل است که باعث مات شدن آن می شود و به انعکاس و پخش گرما کمک می کند. علاوه بر این، دارای مقاومت دمایی بالا، هدایت حرارتی پایین، پایداری شیمیایی خوب و غیره است. این ویژگی‌ها کوارتز مات ذوب شده را به یک ماده ایده‌آل برای فرآیندهای مختلف در ساخت نیمه‌رسانا تبدیل می‌کند. 

در حال حاضر، کوارتز مات کاربردهای کلیدی بسیاری در زمینه نیمه هادی دارد:

●  لوله‌های کوره در فرآیندهای انتشار و اکسیداسیون

کوارتز مات ذوب شده را می توان به عنوان مواد لوله کوره برای کوره های انتشار و کوره های اکسیداسیون استفاده کرد. مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر شوک حرارتی و پایداری شیمیایی خوب تضمین می کند که خواص شیمیایی پایدار را می توان در دماهای بالا حفظ کرد، در نتیجه محیطی عاری از آلودگی را فراهم می کند و ثبات و سازگاری فرآیندهای نیمه هادی را تضمین می کند.

plates صفحات ماسک و مواد انزوا

در پردازش نیمه هادی، کوارتز مات ذوب شده را می توان به عنوان صفحات ماسک و مواد جداسازی استفاده کرد. به دلیل مات بودن و عبور نور کم، می تواند به طور موثری نور و گرمای غیر ضروری را مسدود کند و از تاثیر تابش حرارتی تولید شده در فرآیند دوپینگ و انتشار اکسیداسیون بر سایر قسمت ها جلوگیری کند. این امر به ویژه برای کنترل دقیق دوپینگ و محافظت از مناطق حساس بسیار مهم است.

●  بوته‌ها و هودهای گرمایشی

در طی فرآیند کشیدن ویفرهای نیمه هادی ، از صلیب کوارتز ذوب شده برای نگه داشتن سیلیکون مذاب با درجه بالا به دلیل مقاومت عالی در دمای بالا و هدایت حرارتی کم استفاده می شود. هدایت حرارتی کم می تواند باعث از بین رفتن گرما ، گرم شدن یکنواخت تر شود و از پایداری کشش تک کریستال اطمینان حاصل شود. هودهای گرمایش کوارتز ذوب شده برای عایق حرارتی ، جلوگیری از از بین رفتن گرما و بهبود بهره وری انرژی استفاده می شود.

●  مواد پشتیبانی در رسوب بخار شیمیایی (CVD)

در طی فرآیند رسوب بخار شیمیایی، کوارتز مات ذوب شده به عنوان یک ماده پشتیبانی ویفر استفاده می شود. هدایت حرارتی کم و مقاومت در برابر دمای بالا به حفظ یک میدان دمایی پایدار و جلوگیری از گرمای بیش از حد یا گرمای ناهموار کمک می کند. بی اثر بودن شیمیایی تضمین می کند که با گازهای واکنش پذیر در دماهای بالا واکنش نشان نمی دهد و در نتیجه خلوص و کیفیت لایه رسوب شده را حفظ می کند.

●  قطعات محافظ حرارتی و عایق

تجهیزات تولید نیمه هادی اغلب نیاز به کار مداوم در دماهای بالا دارند و هدایت حرارتی کم و مقاومت شوک حرارتی کوارتز مات ذوب شده آن را به یک محافظ حرارتی و جزء عایق ایده آل تبدیل می کند. استفاده از کوارتز مات ذوب شده به عنوان یک ماده محافظ حرارتی می تواند به طور موثری اتلاف انرژی را کاهش دهد و از انتقال گرمای تجهیزات به مناطق دیگر جلوگیری کند و در نتیجه از قطعات دقیق محافظت کند.

●  مواد محافظ در تجهیزات حکاکی و تمیز کردن

کوارتز مات ذوب شده دارای مقاومت اسید و قلیایی بسیار قوی است و آن را به عنوان یک ماده محافظ در تجهیزات اچ و تمیز کردن نیمه هادی برای جلوگیری از آسیب رساندن به مواد شیمیایی خورنده به تجهیزات تبدیل می کند. عدم تحرک شیمیایی آن همچنین به پایدار ماندن در محیط های شیمیایی سخت و افزایش عمر تجهیزات تجهیزات کمک می کند.

●  مواد ماسک فوتولیتوگرافی

خواص مات کوارتز مات ذوب شده را می توان به عنوان یک ماده ماسک در فرآیندهای فوتولیتوگرافی خاص برای کمک به کنترل دقیق ناحیه نوردهی و جلوگیری از تأثیر نور اضافی بر مناطق حساس ویفر استفاده کرد.

این خواص کوارتز مات ذوب شده آن را به یک ماده کلیدی در فرآیندهای با دقت و دمای بالا تبدیل می کند. با توسعه مداوم دستگاه ها و فرآیندهای نیمه هادی، کوارتز مات ذوب شده همچنان نقش مهمی را در نسل بعدی فناوری تولید ایفا می کند تا نیازهای فرآیند سخت گیرانه تری را برآورده کند.

به عنوان یک تامین کننده و سازنده حرفه ای کوارتز مات ذوب شده در چین، VeTek Semiconductor مایل و قادر است کوارتز مات ذوب شده با کیفیت بالا را به مشتریان ارائه دهد و مشتاقانه منتظر درخواست شما است. ما صمیمانه امیدواریم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.

ویژگی فیزیکی کوارتز مات ذوب شده نیمه هادی VeTek

شکل الف. انتقال کوارتز مات ذوب شده                                                           شکل ب. بازتاب کوارتز مات ذوب شده

فروشگاه های کوارتز مات ذوب شده نیمه هادی VeTek