چگونه سینی گرافیت MOCVD را انتخاب کنیم؟

سوال 1: سینی گرافیتی MOCVD چیست و چرا برای فرآیند epitaxial اینقدر مهم است؟

صفحه گرافیت بخار شیمیایی فلزی و آلی (MOCVD) ، همچنین به عنوان سینی گرافیت MOCVD یا Socvd Graphite Susinceor شناخته می شود ، یک مؤلفه با خلوص بالا است که برای رفع ویفرهای نیمه هادی در طول رشد اپیتاکسیال استفاده می شود. در فرآیند اپیتاکسیال ، به عنوان یک عنصر گرمایش عمل می کند و توزیع دمای یکنواخت را تضمین می کند ، که نقش غیر قابل تعویض در سپردن فیلم های نازک در برنامه هایی مانند دستگاه های نیمه هادی پیشرفته ، تولید LED و سلول های خورشیدی دارد.

سینی گرافیت می تواند در برابر دمای شدید (تا 1800 درجه سانتیگراد) و محیط های گاز خورنده مقاومت کند و آن را به یک ماده ضروری برای سیستم های MOCVD با دمای بالا و مقاوم در برابر خوردگی تبدیل می کند. عملکرد آن به طور مستقیم بر قوام فرآیند و عملکرد ویفر تأثیر می گذارد.

سوال 2: در انتخاب سینی های گرافیتی MOCVD ، کدام خصوصیات مواد باید در اولویت قرار گیرد؟

انتخاب صفحه گرافیت مناسب نیاز به ارزیابی خواص فیزیکی و شیمیایی آن دارد:

● خلوص بالا (بیش از 99.999 ٪):

به طور معمول ، ناخالصی هایی مانند فلزات یا خاکستر می توانند فرآیند اپیتاکسیال را آلوده کنند. انتخاب یک تأمین کننده حساس گرافیت با خلوص بالا مانند Veteksemicon حداقل نقص در اپیلایر نیمه هادی را تضمین می کند.

●  ثبات حرارتی عالی:

در طول پردازش واقعی ، صفحات گرافیتی باید بتوانند در برابر برخی از شوک های حرارتی مقاومت کنند و یکپارچگی ساختاری را در چرخه های سریع دمای حفظ کنند. گرافیت با چگالی بالا Veteksemicon توزیع گرمای یکنواخت را تضمین می کند ، که برای رشد یکنواخت فیلم بسیار مهم است.

●  مقاومت در برابر خوردگی عالی:

در محیط فرآیند MOCVD ، گرافیت به طور کلی در معرض گازهای خورنده است (به عنوان مثال ، آمونیاک ، هیدروژن). صفحات گرافیتی MOCVD مقاوم در برابر خوردگی با دمای بالا با ساختار ریز دانه ، خوردگی را به حداقل می رساند و عمر سرویس را گسترش می دهد.

●  قدرت مکانیکی با کارایی بالا:

در فرآیند اپیتاکسیال ، سینی های گرافیتی MOCVD باید بدون پیچ و تاب از ویفرهای مختلف پشتیبانی کنند. براساس آمار Veteksemicon در پردازش واقعی ، برای جلوگیری از ترک سینی ، قدرت خمش صفحه گرافیت باید 50 MPa باشد.

Q3: سناریوی برنامه چگونه بر انتخاب سینی های گرافیتی MOCVD تأثیر می گذارد؟

فرآیندهای مختلف MOCVD به طرح های صفحه گرافیتی متناسب نیاز دارند:

●  رشد اپیتاکسی LED/Photonics:

صفحات گرافیتی فوق العاده صاف MOCVD در فرآیند Epitaxy برای کاهش تولید ذرات و اطمینان از لایه های بدون نقص استفاده می شود.

به عنوان مثال ، صفحات گرافیتی Veteksemicon Mocvd (یا صفحات گرافیتی Veteksemicon برای MOCVD) برای GAN و GAAS Epitaxy طراحی شده و مدیریت حرارتی بهینه شده را ارائه می دهند.

●  تولید نیمه هادی قدرت:

همراه با آمار تجربی نیمه هادی Semikera ، صفحات با مقاومت اکسیداسیون پیشرفته به طور کلی برای فرآیندهای کاربید سیلیکون (SIC) یا گالیم نیترید (GAN) ترجیح داده می شوند.

●  تولید با توان بالا:

سینی های چند ویفر برای تراز کردن با طراحی راکتور نیاز به پردازش دقیقی دارند. سینی های گرافیتی MOCVD قابل تنظیم از نیمه هادی قابل اعتماد Semikera می توانند با تنظیمات ابزار خاص مطابقت داشته باشند.

Q4: ملاحظات اصلی برای یافتن یک تأمین کننده قابل اعتماد MOCVD Graphite Plate Plate چیست؟

●  صدور گواهینامه و آزمایش:

تأیید کنید که تأمین کننده صدور گواهینامه مواد (به عنوان مثال گزارش خلوص ، آزمایش چگالی) را ارائه می دهد و درمان سطح پس از پردازش (به عنوان مثال پوشش برای کاهش تخلخل) را فراهم می کند. به عنوان یک تولید کننده پیشرو در پوشش نیمه هادی چینی و تولید کننده تجهیزات فرآیند اپیتاکسیال ، صفحات گرافیتی Veteksemicon Mocvd توسط ادارات دولتی برای آزمایش های محدود سخت تأیید شده اند و نتایج آزمایش خلوص و تراکم محصولات آن بسیار جلوتر از همسالان خود است.

●  قابلیت های سفارشی سازی:

تأمین کنندگان برتر گرافیت با خلوص بالا باید اندازه ، الگوی سوراخ و پوشش را سفارشی کنند تا نیازهای راکتور شما را برآورده کنند. هر دو نیمه هادی Veteksemicon و Semikera قابلیت خدمات شخصی سازی محصولات و فناوری های مرتبط را دارند و کاملاً قادر به تأمین نیازهای مختلف سفارشی شما هستند.

●  طول عمر و راندمان هزینه:

در حالی که گرافیت ارزان تر می تواند هزینه های پیشرو را صرفه جویی کند ، صفحات گرافیت تحتانی منجر به تعویض مکرر و خرابی می شوند و به طور جدی بر راندمان تولید طبیعی تأثیر می گذارند. انتخاب صفحات گرافیتی Veteksemicon و سایر محصولات با کیفیت ، تجارت شما را قادر می سازد تا به تولید قابل اعتماد بلند مدت برسد.

Q5: چگونه می توان عمر سینی های گرافیتی MOCVD را گسترش داد؟

●  از اکسیداسیون جلوگیری کنید: در طول چرخه گرمایش/سرمایش از پاکسازی گاز بی اثر استفاده کنید.

●  مرتباً تمیز کنید: برای از بین بردن باقیمانده های سپرده شده از روشهای غیر ساینده (مانند اچ خشک) استفاده کنید.

●  از استرس مکانیکی خودداری کنید: در هنگام بارگیری/بارگیری ویفر ، سینی را با دقت کنترل کنید.

بهترین توصیه Veteksemicon به شما:

برای صفحات گرافیتی MOCVD که در برابر خوردگی درجه حرارت بالا مقاوم هستند ، با تخصص در مواد نیمه هادی ، به تهیه کنندگان اولویت می دهند.

برای تأیید عملکرد ، نمونه های آزمایش را در شرایط واقعی فرآیند آزمایش کنید.

پوشش های پیشرفته (مانند پوشش SIC ، پوشش TAC) را برای افزایش دوام و قابلیت اطمینان در محیط های شدید کاوش کنید.

برای اطلاعات بیشتر در مورد صفحه گرافیت SIC SIC MOCVD PLATTITE ، اینجا را کلیک کنید.

برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد صفحه گرافیت MOCVD پوشش TAC ، اینجا را کلیک کنید.