کد QR
درباره ما
محصولات
با ما تماس بگیرید

تلفن

فکس
+86-579-87223657

پست الکترونیک

نشانی
جاده وانگدا، خیابان زیانگ، شهرستان ووی، شهر جین هوا، استان ژجیانگ، چین
مواد اصلیقایق گرافیتی PECVD(قایق گرافیتی بخار شیمیایی تقویت شده پلاسما) از خلوص بالا ساخته شده استمواد گرافیتی ایزوتروپیک(خلوص معمولاً 99.999 ٪ است) و توسط فرآیندهای ویژه (مانند رسوب بخار شیمیایی CVD یا پوشش سطح) اصلاح می شود. گرافیت با خلوص بالا به دلیل هدایت الکتریکی عالی و هدایت حرارتی بالا (150 ~ 150 W/m · K) به طور گسترده ای در سیستم های PECVD مورد استفاده قرار می گیرد. اینمواد گرافیتی با خلوص بالامی تواند پایداری ساختاری خوب و ثبات شیمیایی را در محیط های درجه حرارت بالا حفظ کند و می تواند در برابر خوردگی در برابر گازهای واکنش پذیر و پلاسما مقاومت کند.
خصوصیات فیزیکی قایق های گرافیتی PECVD شامل موارد زیر است:
● هدایت الکتریکی: گرافیت ایزوستاتیک دارای هدایت الکتریکی عالی است ، که به آن امکان می دهد تا به طور مؤثر انرژی الکتریکی را مدیریت کند و تولید و نگهداری پلاسما را در طی فرآیند PECVD ترویج کند.
● هدایت حرارتی: هدایت حرارتی بالا گرافیت (حدود 150 ~ 150 W/m · K) به حفظ یک محیط دمای پایدار در طی فرآیند PECVD کمک می کند و از رسوب یکنواخت فیلم های نازک اطمینان می یابد.
● تراکم: چگالی گرافیت پلی کریستالی تجاری از 1.30 گرم در سانتی متر مربع تا 1.88 گرم در سانتی متر مربع است. هرچه چگالی بالاتر باشد ، خصوصیات فیزیکی و مکانیکی بهتر می شود ، که می تواند عمر خدمات محصول را بهبود بخشد.
در مقایسه با قایق های گرافیتی معمولی ، قایق های گرافیتی PECVD مزایای زیر را دارند:
ابعاد
قایق گرافیتی PECVD
قایق گرافیتی معمولی
خلوص و تراکم
99.99 ٪ ، تخلخل <5 ٪
خلوص کم (99 ~ 95) ، تخلخل بالا (> 10 ٪)
هزینه
هزینه اولیه بالا ، اما هزینه نگهداری جامع کم
هزینه اولیه پایین ، اما جایگزینی مکرر هزینه کل را افزایش می دهد
کنترل آلودگی
محتوای ناخالصی <1ppm ، نرخ ریختن ذرات پایین
ناخالصی های فلزی بالا ، خطر بالای آلودگی ذرات
مقاومت در برابر خوردگی
محافظت از پوشش در برابر خوردگی پلاسما/شیمیایی
به راحتی توسط گازهای واکنشی (مانند Cl₂ ، O₂) فاسد می شود
سازگاری فرآیند
سازگار با محیط پلاسما با انرژی کم و پر انرژی
فقط برای فرآیندهای CVD با درجه حرارت بالا مناسب است
زندگی
> 1000 چرخه فرآیند (پوشش ناموفق)
پودر و ترک خوردگی بعد از 500 چرخه پوند
همانطور که همه ما می دانیم ، Veteksemicon یک تولید کننده پیشرو و تأمین کننده محصولات پوشش نیمه هادی است ومحصولات گرافیتیدر چین ماقایق های گرافیتی PECVDبه طور عمده در صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک ، به ویژه در فرآیندهای PECVD و CVD استفاده می شود.
قایق های گرافیتی معمولاً به عنوان حامل برای حمل ویفرهای سیلیکون یا سایر مواد برای اطمینان از برخورد ایمن و حمل و نقل این مواد در محیط های با درجه حرارت بالا و پلاسما استفاده می شوند. به عنوان مثال ، در فرآیند تولید نیمه هادی ، قایق های گرافیتی PECVD Veteksemicon برای فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی تقویت شده پلاسما طراحی شده اند. قایق گرافیت نقش رسوب لایه های انفعال نیترید سیلیکون (SINₓ) و فیلم های ثابت دی الکتریک (کم K) را بازی می کند.
در میدان فتوولتائیک ، از قایق های گرافیتی PECVD برای تهیه سلولهای خورشیدی فیلم نازک مبتنی بر سیلیکون (مانند سیلیکون آمورف A-Si: H) و لایه های انفعال پشت سلول PERC استفاده می شود. قایق گرافیتی PECVD Veteksemicon با فاصله موثر ویفرهای سیلیکون و القای تخلیه درخشش برای دستیابی به رسوب پوشش یکنواخت ، فرآیند پوشش را بهینه می کند.
مهمتر از همه ، Veteksemicon می تواند محصولات و خدمات فنی سفارشی را ارائه دهد ، و می تواند با توجه به نیازهای فرآیند واقعی شما ، محصولات قایق گرافیتی را با مشخصات مختلف طراحی و تولید کند. انتخاب Veteksemicon به معنای انتخاب یک رهبر صنعت با قدرت قوی در صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک است. ما صمیمانه مشتاقانه منتظر تبدیل شدن به شریک بلند مدت شما هستیم.


+86-579-87223657


جاده وانگدا، خیابان زیانگ، شهرستان ووی، شهر جین هوا، استان ژجیانگ، چین
حق چاپ © 2024 VeTek Semiconductor Technology Co., Ltd. کلیه حقوق محفوظ است.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |
