اخبار

یک قایق گرافیتی PECVD چیست؟

ⅰ مواد قایق گرافیتی PECVD چیست؟


مواد اصلیقایق گرافیتی PECVD(قایق گرافیتی بخار شیمیایی تقویت شده پلاسما) از خلوص بالا ساخته شده استمواد گرافیتی ایزوتروپیک(خلوص معمولاً 99.999 ٪ است) و توسط فرآیندهای ویژه (مانند رسوب بخار شیمیایی CVD یا پوشش سطح) اصلاح می شود. گرافیت با خلوص بالا به دلیل هدایت الکتریکی عالی و هدایت حرارتی بالا (150 ~ 150 W/m · K) به طور گسترده ای در سیستم های PECVD مورد استفاده قرار می گیرد. اینمواد گرافیتی با خلوص بالامی تواند پایداری ساختاری خوب و ثبات شیمیایی را در محیط های درجه حرارت بالا حفظ کند و می تواند در برابر خوردگی در برابر گازهای واکنش پذیر و پلاسما مقاومت کند.


ⅱ خصوصیات فیزیکی قایق گرافیت چیست؟


خصوصیات فیزیکی قایق های گرافیتی PECVD شامل موارد زیر است:


● هدایت الکتریکی: گرافیت ایزوستاتیک دارای هدایت الکتریکی عالی است ، که به آن امکان می دهد تا به طور مؤثر انرژی الکتریکی را مدیریت کند و تولید و نگهداری پلاسما را در طی فرآیند PECVD ترویج کند.

●  هدایت حرارتی: هدایت حرارتی بالا گرافیت (حدود 150 ~ 150 W/m · K) به حفظ یک محیط دمای پایدار در طی فرآیند PECVD کمک می کند و از رسوب یکنواخت فیلم های نازک اطمینان می یابد.

●  تراکم: چگالی گرافیت پلی کریستالی تجاری از 1.30 گرم در سانتی متر مربع تا 1.88 گرم در سانتی متر مربع است. هرچه چگالی بالاتر باشد ، خصوصیات فیزیکی و مکانیکی بهتر می شود ، که می تواند عمر خدمات محصول را بهبود بخشد.


ⅲ مزایای قایق گرافیتی PECVD در مقایسه با قایق گرافیت معمولی چیست؟


در مقایسه با قایق های گرافیتی معمولی ، قایق های گرافیتی PECVD مزایای زیر را دارند:


ابعاد
قایق گرافیتی PECVD
قایق گرافیتی معمولی
خلوص و تراکم
99.99 ٪ ، تخلخل <5 ٪
خلوص کم (99 ~ 95) ، تخلخل بالا (> 10 ٪)
هزینه
هزینه اولیه بالا ، اما هزینه نگهداری جامع کم
هزینه اولیه پایین ، اما جایگزینی مکرر هزینه کل را افزایش می دهد
کنترل آلودگی
محتوای ناخالصی <1ppm ، نرخ ریختن ذرات پایین
ناخالصی های فلزی بالا ، خطر بالای آلودگی ذرات
مقاومت در برابر خوردگی
محافظت از پوشش در برابر خوردگی پلاسما/شیمیایی
به راحتی توسط گازهای واکنشی (مانند Cl₂ ، O₂) فاسد می شود
سازگاری فرآیند
سازگار با محیط پلاسما با انرژی کم و پر انرژی
فقط برای فرآیندهای CVD با درجه حرارت بالا مناسب است
زندگی
> 1000 چرخه فرآیند (پوشش ناموفق)
پودر و ترک خوردگی بعد از 500 چرخه پوند

ⅳ چرا قایق گرافیتی PECVD Veteksemicon را انتخاب کنید؟


همانطور که همه ما می دانیم ، Veteksemicon یک تولید کننده پیشرو و تأمین کننده محصولات پوشش نیمه هادی است ومحصولات گرافیتیدر چین ماقایق های گرافیتی PECVDبه طور عمده در صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک ، به ویژه در فرآیندهای PECVD و CVD استفاده می شود.


قایق های گرافیتی معمولاً به عنوان حامل برای حمل ویفرهای سیلیکون یا سایر مواد برای اطمینان از برخورد ایمن و حمل و نقل این مواد در محیط های با درجه حرارت بالا و پلاسما استفاده می شوند. به عنوان مثال ، در فرآیند تولید نیمه هادی ، قایق های گرافیتی PECVD Veteksemicon برای فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی تقویت شده پلاسما طراحی شده اند. قایق گرافیت نقش رسوب لایه های انفعال نیترید سیلیکون (SINₓ) و فیلم های ثابت دی الکتریک (کم K) را بازی می کند.


در میدان فتوولتائیک ، از قایق های گرافیتی PECVD برای تهیه سلولهای خورشیدی فیلم نازک مبتنی بر سیلیکون (مانند سیلیکون آمورف A-Si: H) و لایه های انفعال پشت سلول PERC استفاده می شود. قایق گرافیتی PECVD Veteksemicon با فاصله موثر ویفرهای سیلیکون و القای تخلیه درخشش برای دستیابی به رسوب پوشش یکنواخت ، فرآیند پوشش را بهینه می کند.


مهمتر از همه ، Veteksemicon می تواند محصولات و خدمات فنی سفارشی را ارائه دهد ، و می تواند با توجه به نیازهای فرآیند واقعی شما ، محصولات قایق گرافیتی را با مشخصات مختلف طراحی و تولید کند. انتخاب Veteksemicon به معنای انتخاب یک رهبر صنعت با قدرت قوی در صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک است. ما صمیمانه مشتاقانه منتظر تبدیل شدن به شریک بلند مدت شما هستیم.


what is a PECVD graphite boat?

اخبار مرتبط
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept