AMAT Cover Top Quartz 8 inch PCII

AMAT Cover Top Quartz 8 inch PCII (Part No. 0200-00218) یک قطعه کوارتز با خلوص بالا است که برای استفاده در محفظه‌های فرآیند PVD 200 میلی‌متری (8 اینچی) طراحی شده است، به‌ویژه با پلتفرم Applied Materials Endura® (محفظه PCII) سازگار است.

این جزء که از کوارتز ذوب شده با خلوص فوق العاده بالا ساخته شده است، با به حداقل رساندن آلودگی و اطمینان از رفتار ثابت پلاسما، نقش مهمی در حفظ یک محیط رسوبی تمیز و پایدار ایفا می کند.

در Vetek Semiconductor، ما قطعات کوارتز مهندسی دقیق را با کنترل دقیق مواد و دقت ابعادی ارائه می‌کنیم، و جایگزین‌های قابل اعتمادی را برای تولیدکنندگان نیمه‌رسانا و ارائه‌دهندگان خدمات تجهیزات ارائه می‌کنیم.

مشخصات کلیدی:

فرآیند درخواست و موقعیت اتاق

این پوشش کوارتز به طور خاص برای فرآیندهای کندوپاش PVD طراحی شده است که به طور گسترده در ساخت نیمه هادی برای رسوب لایه نازک فلزی مانند آلومینیوم (Al)، تیتانیوم (Ti) و مس (Cu) استفاده می شود.

موقعیت اتاق

این قطعه در قسمت بالایی محفظه PVD، که معمولاً به عنوان ناحیه پوشش بالایی شناخته می شود، نصب می شود، جایی که در معرض موارد زیر است:

● مناطق تخلیه پلاسما

● مسیرهای جریان گاز فرآیند

● محیط های رسوب ذرات فلزی

نقش عملکردی در اتاق

در ساختار محفظه، Cover Top Quartz به عنوان یک مانع محافظ غیر فلزی و عنصر عایق عمل می کند که در بالای ویفر و نزدیک منطقه هدف قرار گرفته است.

قرار دادن آن برای موارد زیر حیاتی است:

● محافظت از اجزای محفظه حساس از رسوب فلز

● حفظ عایق الکتریکی در محیط های پلاسمای RF

● پشتیبانی از شرایط فرآیند پایدار و قابل تکرار

توابع اصلی و مزایای عملکرد

1) کنترل آلودگی

در طی فرآیندهای PVD، اتم های فلزی پراکنده نه تنها روی ویفرها بلکه روی سطوح محفظه داخلی نیز رسوب می کنند.

این پوشش کوارتز:

● به عنوان یک لایه محافظ قربانی عمل می کند

● از تجمع فلز در سازه های محفظه بحرانی جلوگیری می کند

● تولید ذرات و آلودگی متقابل را کاهش می دهد

نتیجه: بهبود عملکرد ویفر و تمیزی فرآیند

2) پایداری پلاسما و عایق الکتریکی

به لطف خواص دی الکتریک عالی، کوارتز با خلوص بالا تضمین می کند:

● توزیع میدان RF پایدار

● کاهش خطر تداخل الکتریکی

● چگالی پلاسما ثابت در طول چرخه فرآیند

نتیجه: افزایش یکنواختی و تکرارپذیری فیلم

3) خلوص مواد برتر

نیمه هادی Vetek از مواد کوارتز با خلوص فوق العاده بالا برای به حداقل رساندن ورود ناخالصی استفاده می کند.

● آلودگی فلزی کم

● حداقل خروج گاز در شرایط خلاء

● مناسب برای گره های نیمه هادی پیشرفته

نتیجه: مطابق با استانداردهای تمیزی دقیق در سطح fab است

4) پلاسما و مقاومت حرارتی عالی

این قطعه طوری طراحی شده است که مقاومت کند:

● فرسایش پلاسما و بمباران یونی

● چرخه حرارتی مکرر

نتیجه: عمر طولانی تر و کاهش فرکانس نگهداری

5) طراحی مقرون به صرفه مصرفی

به عنوان یک ماده مصرفی محفظه قابل تعویض، این قسمت:

● از سخت افزار گران قیمت محفظه محافظت می کند

● چرخه های تعمیر و نگهداری را ساده می کند

● هزینه کل مالکیت (TCO) را کاهش می‌دهد

چرا نیمه هادی Vetek را انتخاب کنید؟

در Vetek Semiconductor، ما تخصص علم مواد را با درک فرآیند نیمه هادی ترکیب می کنیم تا اجزای کوارتز با کارایی بالا را ارائه دهیم.

مزایای ما:

● ماشینکاری دقیق با تلورانس های تنگ

● انتخاب دقیق مواد خام و قابلیت ردیابی

● سازگاری ثابت شده با پلتفرم های AMAT Endura

● عرضه پایدار برای مشتریان نیمه هادی جهانی

● پشتیبانی مهندسی برای سفارشی سازی و بهینه سازی