از فرآیند تولید فنجان های مکش الکترواستاتیک گرفته تا تولید کنندگان تولید انبوه

اصل dechuck ازچاک الکترواستاتیکبخش مهمی از گردش کار آن است که شامل از بین بردن نیروی الکترواستاتیک و مکانیسم های انتشار ویفر است. در زیر یک تحلیل دقیق است:

هسته DeChuck از بین بردن یا خنثی کردن نیروی الکترواستاتیک جذب شده بر روی ویفر است و روشهای خاص عبارتند از:

youdaoplaceholder0 قدرت را قطع کرد

استفاده از ولتاژ جریان مستقیم روی الکترود را متوقف کنید تا به تدریج میدان الکتریکی را از بین ببرید.

youdaoplaceholder0 ولتاژ معکوس یا تزریق گاز

برخی از سیستم ها ولتاژ معکوس را اعمال می کنند یا گازهای بی اثر (مانند او ، N₂) را برای تسریع در خنثی سازی بار یا جداسازی فیزیکی معرفی می کنند.

بیایید تکنیک های حرفه ای تولید ESC را مقایسه کنیم و ابتدا ببینیم که آیا شرکت می تواند به چنین مقیاس برسد.

فناوری تجزیه و تحلیل CAE ، مواد عملکردی صفحه ، طراحی الکترود ، فناوری تجزیه و تحلیل ، فناوری کانال خنک کننده ، فناوری طراحی بخاری ، پرسنل ارشد در تجهیزات نیمه هادی.

شرکت های ژاپنی و کره جنوبی باید کاملاً با چنین پرسنل مربوطه کار کنند. اگر اینگونه نباشد ، دیگر نیازی به صحبت در مورد فناوری شرکت نیست.

فناوری چاک ، الکترودها ، دیسک ها و حتی اصل جریان او هنوز روشن نشده است. بیایید یک فنجان مکش الکترواستاتیک خشن درست کنیم. چنین شرکت هایی مستقیماً منتقل می شوند. آنها اساساً برای تأمین پول سرمایه گذاران استفاده می شوند. این سطح اساسی می داند که چگونه. سرمایه گذاران همچنین باید از شرکتی که با بازی های کارت بازی می کند ، تسلیم شود و هیچ کارمندی با بیش از 10 سال تجربه در تجهیزات اچینگ ندارد ، زیرا این شرکتی نیست که کارهای عملی انجام دهد.

وقتی صحبت از شلیک پودر در صنعت می شود ، همه در یک زمینه هستند. هر کدام فرمول منحصر به فرد خود را دارند. کدام یک قدرت مجهز به سطوح سرامیکی سنگی ندارد؟ سرمایه گذاران همچنین می توانند این تنظیمات یا شرکت هایی را که کاملاً آنها را درک نکرده اند ، منتقل کنند ، زیرا منطق اساسی آنها یکسان است: آنها قصد دارند درآمد کسب کنند ، نه توسعه محصولات.

با توجه به تعمیر ، بسیاری از شرکت های داخلی باید تاکنون از قابلیت های مربوطه برای L1 تا L3 برخوردار باشند. حتی اگر قابلیت ها کمی فاقد آن باشند ، L1 هنوز هم می تواند آن را اداره کند. برای L3 و بالاتر ، یا نمی توان آن را تعمیر کرد یا می توان آن را فرعی کرد. در هر صورت ، هنوز راهی برای ترمیم آن وجود دارد.

ترمیم سطح L1 ، بهبود زبری سطح/بهبود صافی/بازسازی دست انداز.

تعمیر L2: تعمیر لایه مشترک ، بازگرداندن پایه فلزی و دیسک سرامیکی/پر کردن مجدد لایه مشترک.

تعویض دیسک سرامیکی L3 ، ساخت دیسک سرامیکی/بازسازی پایه فلزی و دیسک سرامیکی.

شرکت فناوری تجهیزات دقیق نوآوری Guangdong Haituo ، با مسئولیت محدود

این شرکت دارای موقعیت پیشرو در طراحی و تولید چاک و تجهیزات الکترواستاتیک داخلی بر اساس چاک های الکترواستاتیک به عنوان فناوری اصلی است. در حال حاضر ، Haituo Innovation به تولید تجاری فنجان های مکش الکترواستاتیک دست یافته است و تحویل چاک های الکترواستاتیک نیمه هادی 4 اینچی تا 12 اینچی را به پایان رسانده است.

شرکت فناوری پکن Huazhuo Jingke ، Ltd

فنجان های مکش الکترواستاتیک که به طور مستقل توسط این شرکت توسعه یافته است مطابق با استانداردهای مربوطه و پردازشالزامات صنعت نیمه هادی. فنجان مکش الکترواستاتیک نیترید آلومینیوم PVD 12 اینچی که در مراحل اولیه توسعه یافته است ، تا حدی انحصار طولانی مدت تولید کنندگان خارجی را در این زمینه محصول شکسته است. در حال حاضر ، Huazhuo Jingke از فناوری مربوط به فنجان های مکش الکترواستاتیک برای تولید محصول استفاده کرده و به تولید انبوه در مقیاس کوچک رسیده است. همچنین می تواند محصولات سفارشی را برای مشتریان فراهم کند.

تأسیس شده در سال 2016 ، ارائه دهنده پیشرو در زمینه پوشش های پیشرفته برای صنعت نیمه هادی است. بنیانگذار ما ، یک متخصص سابق انستیتوی مواد آکادمی علوم چین ، این شرکت را با تمرکز بر توسعه راه حل های پیشرفته برای صنعت تأسیس کرد.

ارائه محصولات اصلی ما شامل پوشش های CVD Carbide (SIC) CVD ، پوشش های کاربید Tantalum (TAC) ، فله SIC ، پودرهای SIC و مواد SIC با خلوص بالا است. محصولات اصلی عبارتند از: SIC SIC GRAPHITE SUSCIPOR ، حلقه های پیش گرم ، حلقه انحرافی پوشش داده شده با TAC ، قطعات Halfmoon و غیره ، خلوص زیر 5ppm است ، می تواند نیازهای مشتری را برآورده کند.

شرکت فناوری ژجیانگ Xinna شرکت ، با مسئولیت محدود

محصولات فنجان مکش الکترواستاتیک که توسط آن تولید شده است دارای شاخص های عملکردی است که می تواند خواسته های شرکت های تولید تراشه را برآورده کند. آنها دارای خواص برجسته ای از قبیل دمای قابل کنترل ، نیروی جذب یکنواخت ، بدون خراش یا چین و چروک در هنگام جذب و هیچ اثر محرومیت لبه بر ویفرها نیستند. آنها توسط شرکتهای پیشرو در صنعت نیمه هادی داخلی مانند Technologies Yangtze Memory Technologies ، Microelectronics Silan و نوآوری در شمال چین تأیید شده و به فروش رسیده اند. این انحصار تولید کنندگان خارجی را در این زمینه محصول شکسته است.

شرکت فناوری الکترونیکی Hebei Zhongci ، Ltd

در سال 2022 ، این شرکت حرکات استراتژیک را در زمینه اجزای سرامیکی دقیق انجام داد و به بومی سازی قطعات دقیق فنی مانند صفحات گرمایش و چاک های الکترواستاتیک دست یافت. شاخص های فنی اصلی صفحات گرمایش سرامیکی تولید شده توسط الکترونیک Zhongci به سطح محصولات بین المللی مشابه رسیده و توسط کاربران تأیید شده است. آنها در تجهیزات کلیدی نیمه هادی داخلی در دسته ها اعمال شده اند. صفحات گرمایش سرامیکی به صورت عمده تحویل داده شده است و چاک های الکترواستاتیک برای آزمایش نمونه ارسال شده است.