حلقه اچ کوارتز با خلوص بالا

1.ویژگی ها و مزایا

• کوارتز ذوب شده دهیدروکسیله درجه نیمه هادی با SiO2 ≥ 99.999٪ و ناخالصی های فلزی کاملاً کنترل شده

• عملکرد مداوم پایدار تا 1100 درجه سانتیگراد، با قابلیت کوتاه مدت نزدیک به 1200 درجه سانتیگراد

• مقاومت قوی در برابر مواد شیمیایی اچ مبتنی بر فلوئور و کلر و قرار گرفتن در معرض پلاسما با انرژی بالا

• انبساط حرارتی کم و عملکرد شوک حرارتی خوب تحت چرخه های مکرر دمای محفظه

• خروج گاز با خلاء کم برای محافظت از فشار پایه محفظه و ترکیب گاز فرآیند

• کنترل ابعادی در سطح میکرون با سطوح تماس صیقلی برای تناسب محفظه ثابت و تعریف مرز پلاسما

• طرح‌های قابل تنظیم: حلقه‌های مسطح، حلقه‌های اچ پلکانی، حلقه‌های مکان‌یابی/نگهداری، و پروفایل‌های کاملاً سفارشی برای پلتفرم‌های ابزار اصلی اچ

2.برنامه های کاربردی معمولی

حلقه های اچ کوارتز با خلوص بالا در محفظه های فرآیند اچ پلاسما خشک برای موارد زیر استفاده می شوند:

• مراحل اچ پلاسما دستگاه منطق و حافظه

• فرآیندهای اچ کردن دستگاه قدرت SiC و GaN

• اچ ساختار با نسبت تصویر بالا

• پردازش پلاسما بستر نوری و نیمه هادی مرکب

• اچ پلاسما بسته بندی پیشرفته و مراحل تمیز کردن مربوطه

• آزمایشگاه RIE / ICP و ابزار اچ تولید

3.پارامترهای فنی کلیدی

• مواد: کوارتز ذوب شده دهیدروکسیله درجه نیمه هادی، SiO2 ≥ 99.999٪

• سازگاری ویفر: سیلیکون 2 / 4 / 6 / 8 / 12 اینچ، SiC، GaN و یاقوت کبود

• دمای عملیاتی: -20 درجه سانتیگراد تا 1100 درجه سانتیگراد مداوم. اوج کوتاه مدت تقریباً 1200 درجه سانتیگراد

• عملکردهای اولیه: محصور کردن لبه پلاسما، هدایت جریان گاز، حفاظت لبه، و جداسازی محفظه

• کیفیت ماشینکاری: تحمل در سطح میکرون، سطوح صیقلی، لبه های کنترل شده، و پرداخت تمیز

• گزینه های ساختار: حلقه مسطح، حلقه اچ پلکانی، حلقه مکان یابی/نگهداری، و هندسه های سفارشی

• سفارشی سازی: قطر بیرونی/داخلی، ضخامت، ارتفاع پله، ویژگی های مکان یابی، پخ ها و جزئیات رابط در هر نقشه

4.چرا حلقه های اچ کوارتز با خلوص بالا VeTek را انتخاب کنید؟

VeTek Semiconductor سخت افزار کوارتز حیاتی فرآیند را برای اچ و ابزارهای حرارتی تامین می کند. برای حلقه های اچ، تمرکز بر روی موارد زیر است:

• خلوص مواد و تمیزی سطح مناسب برای محیط های پیشرفته خشک اچ

• دقت ابعادی که از کنترل مرزی پایدار پلاسما و تناسب محفظه قابل تکرار پشتیبانی می کند

• انعطاف‌پذیری طراحی برای جایگزینی به سبک OEM و رابط‌های محفظه کاملاً سفارشی

• طیف کاملی از اجزای کوارتز که شامل حامل های ویفر، لوله های کوره، قایق ها و قطعات فرآیند مربوطه نیز می شود.

حلقه‌های اچ کوارتز با خلوص بالا VeTek با ترکیب خلوص بالا، دوام پلاسما و کنترل هندسی محکم، به بهبود یکنواختی اچ بین ویفر، کاهش عیوب مربوط به لبه و پشتیبانی از چرخه‌های تولید طولانی‌تر و پایدارتر در ابزار اچ پلاسما خشک کمک می‌کنند.