حلقه راهنمای کاربید Tantalum

آن نیمه هادی استراهنمای کاربید Tantalum Ringساخته شده ازگرافیتوتپوشش داده شده با کاربید تانتالوم، ترکیبی که از بهترین خواص هر دو ماده برای اطمینان از عملکرد برتر و طول عمر استفاده می کند.

درپوشش TACدر حلقه راهنمای کاربید Tantalum تضمین می کند که از نظر شیمیایی در جوهای واکنشی کوره های رشد کریستالی SIC بی اثر باقی می ماند ، که اغلب شامل گازهایی مانند هیدروژن ، آرگون و نیتروژن می شوند. این عدم تحرک شیمیایی برای جلوگیری از آلودگی کریستال رو به رشد ، که می تواند منجر به نقص و کاهش عملکرد محصولات نیمه هادی نهایی شود ، بسیار مهم است. علاوه بر این ، پایداری حرارتی ارائه شده توسط پوشش TAC به حلقه راهنمای پوشش کاربید Tantalum اجازه می دهد تا به طور مؤثر در دماهای بالا مورد نیاز کار کندرشد کریستال SIC، به طور معمول بیش از 2000 درجه سانتیگراد.

علاوه بر این ، ترکیبی از گرافیت و TAC در حلقه پوشش کاربید Tantalum ، مدیریت حرارتی را در کوره رشد کریستال بهینه می کند. هدایت حرارتی بالا گرافیت به طور مؤثر گرما را توزیع می کند ، از نقاط مهم و ترویج رشد کریستال یکنواخت جلوگیری می کند. در همین حال ، پوشش کاربید Tantalum به عنوان یک سد حرارتی عمل می کند و از هسته گرافیت در معرض قرار گرفتن در معرض مستقیم در برابر درجه حرارت بالا و گازهای واکنشی محافظت می کند. این هم افزایی بین مواد هسته و پوشش منجر به یک حلقه راهنما می شود که نه تنها در برابر شرایط سخت رشد کریستال SIC مقاومت می کند بلکه باعث افزایش کارایی و کیفیت کلی فرآیند می شود.

خصوصیات مکانیکی کاربید نیمه هادی Vetek Tantalum Tantalum تا حد زیادی سایش و پارگی را روی حلقه پوشش کاربید Tantalum کاهش می دهد. این به دلیل ماهیت تکراریروند رشد کریستال، که حلقه راهنما را در برابر چرخه های حرارتی مکرر و تنش های مکانیکی قرار می دهد. مقاومت و مقاومت در برابر سایش Tantalum Carbide اطمینان حاصل می کند که حلقه راهنما یکپارچگی ساختاری و ابعاد دقیق خود را در دوره های طولانی حفظ می کند ، و نیاز به تعویض های مکرر و کاهش خرابی در فرآیند تولید را به حداقل می رساند.

حلقه راهنمای پوشش کاربید نیمه هادی Vetek Tantalum یک مؤلفه اساسی در صنعت نیمه هادی است ، که به طور خاص برای رشد طراحی شده استکریستال های کاربید سیلیکونبشر طراحی آن از نقاط قوت گرافیت و کاربید Tantalum برای ارائه عملکرد استثنایی در محیط های درجه حرارت بالا و استرس بالا استفاده می کند. پوشش TAC از عدم تحرک شیمیایی ، دوام مکانیکی و پایداری حرارتی برخوردار است که همه اینها برای تولید کریستال های SIC با کیفیت بالا بسیار مهم هستند. با حفظ یکپارچگی و عملکرد آن در شرایط شدید ، حلقه راهنما از رشد کارآمد و بدون نقص کریستال های SIC پشتیبانی می کند و به پیشرفت دستگاه های نیمه هادی با قدرت بالا و با فرکانس بالا کمک می کند.

پوشش کاربید Tantalum (TAC) در مقطع میکروسکوپی:

خصوصیات فیزیکی پوشش TAC: