پوشش TAC چیست؟ - نیمه هادی وتک

پوشش TAC (پوشش کاربید Tantalum) یک ماده پوشش با کارایی بالا است که توسط فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD) تولید می شود. با توجه به خواص عالی پوشش TAC در شرایط شدید ، از آن در فرآیند تولید نیمه هادی ، به ویژه در تجهیزات و مؤلفه هایی که به درجه حرارت بالا و محیط خورنده قوی نیاز دارند ، استفاده می شود. از پوشش TAC معمولاً برای محافظت از بسترها (مانند گرافیت یا سرامیک) در برابر آسیب در دمای بالا ، گازهای خورنده و سایش مکانیکی استفاده می شود.

خصوصیات فیزیکی پوشش TAC

ویژگی های محصول و مزایا

patail ثبات حرارتی بسیار بالا:

توضیحات ویژگی: پوشش TAC دارای نقطه ذوب بیش از 3880 درجه سانتیگراد است و می تواند بدون تجزیه یا تغییر شکل در محیط دمای بسیار بالا ثبات را حفظ کند.

مزیت: این باعث می شود آن را به یک ماده ضروری در تجهیزات نیمه هادی درجه حرارت بالا مانند پوشش CVD TAC و مستعد پوشش داده شده TAC ، به ویژه برای برنامه های کاربردی در راکتورهای MOCVD ، مانند تجهیزات Aixstron G5 تبدیل کند.

reg مقاومت در برابر خوردگی عالی:

توضیحات ویژگی: TAC دارای عدم تحرک شیمیایی بسیار قوی است و می تواند به طور موثری در برابر فرسایش گازهای خورنده مانند کلریدها و فلورایدها مقاومت کند.

مزایا: در فرآیندهای نیمه هادی که شامل مواد شیمیایی بسیار خورنده است ، پوشش TAC اجزای تجهیزات را از حمله شیمیایی محافظت می کند ، عمر سرویس را طولانی می کند و ثبات فرآیند را بهبود می بخشد ، به خصوص در استفاده از قایق ویفر کاربید سیلیکون و سایر اجزای کلیدی.

sturness سختی مکانیکی عالی:

توضیحات ویژگی: سختی پوشش TAC به اندازه 9-10 MOHS است که باعث می شود در برابر سایش مکانیکی و استرس درجه حرارت بالا مقاوم باشد.

مزیت: خاصیت سختی ، پوشش TAC را به ویژه برای استفاده در محیط های سایش و استرس زیاد مناسب می کند و از ثبات طولانی مدت و قابلیت اطمینان تجهیزات در شرایط سخت اطمینان می دهد.

inception واکنش شیمیایی کم:

توضیحات ویژگی: با توجه به عدم تحرک شیمیایی ، پوشش TAC می تواند واکنش پذیری کم در محیط های درجه حرارت بالا را حفظ کرده و از واکنش های شیمیایی غیر ضروری با گازهای واکنشی جلوگیری کند.

مزیت: این امر به ویژه در فرآیند تولید نیمه هادی بسیار مهم است زیرا خلوص محیط فرآیند و رسوب با کیفیت بالا مواد را تضمین می کند.

نقش پوشش TAC در پردازش نیمه هادی

● محافظت از اجزای تجهیزات کلیدی:

توضیحات عملکرد: پوشش TAC به طور گسترده ای در اجزای اصلی تجهیزات تولید نیمه هادی ، مانند Selemsor پوشش داده شده TAC ، که نیاز به کار در شرایط شدید دارند ، استفاده می شود. با پوشش با TAC ، این مؤلفه ها می توانند برای مدت زمان طولانی در محیط های با درجه حرارت بالا و گاز خورنده بدون آسیب رساندن کار کنند.

عمر تجهیزات را گسترش دهید:

توضیحات عملکرد: در تجهیزات MOCVD مانند Aixstron G5 ، پوشش TAC می تواند دوام اجزای تجهیزات را به میزان قابل توجهی بهبود بخشد و نیاز به نگهداری و تعویض تجهیزات را به دلیل خوردگی و سایش کاهش دهد.

● ثبات فرآیند را تقویت کنید:

توضیحات عملکرد: در ساخت نیمه هادی ، پوشش TAC با فراهم کردن یک درجه حرارت بالا و محیط شیمیایی پایدار ، یکنواختی و قوام فرآیند رسوب را تضمین می کند. این امر به ویژه در فرآیندهای رشد اپیتاکسیال مانند اپیتاکسی سیلیکون و نیترید گالیم (GAN) از اهمیت ویژه ای برخوردار است.

● بازده فرآیند را بهبود بخشید:

توضیحات عملکرد: با بهینه سازی پوشش روی سطح تجهیزات ، پوشش TAC می تواند راندمان کلی فرآیند را بهبود بخشد ، میزان نقص را کاهش داده و عملکرد محصول را افزایش دهد. این برای تولید مواد نیمه هادی با دقت بالا و با دقت بالا بسیار مهم است.

ثبات حرارتی بالا ، مقاومت در برابر خوردگی عالی ، سختی مکانیکی و واکنش شیمیایی کم به نمایش گذاشته شده توسط پوشش TAC در طول پردازش نیمه هادی ، آن را به یک انتخاب ایده آل برای محافظت از اجزای تجهیزات تولید نیمه هادی تبدیل می کند. از آنجا که تقاضای صنعت نیمه هادی برای درجه حرارت بالا ، خلوص بالا و فرآیندهای تولید کارآمد همچنان در حال افزایش است ، پوشش TAC دارای چشم انداز کاربردهای گسترده ای است ، به خصوص در تجهیزات و فرآیندهای مربوط به پوشش CVD TAC ، SoSejector پوشش داده شده TAC و Aixstron G5.

شرکت فناوری نیمه هادی Vetek ، Ltd ارائه دهنده پیشرو در مواد پوشش پیشرفته برای صنعت نیمه هادی است. شرکت ما بر توسعه راه حل های برش برای صنعت تمرکز دارد.

پیشنهادات اصلی محصول ما شامل می شودپوشش های کاربید سیلیکون CVD (SIC), پوشش های کاربید Tantalum (TAC)، فله SIC ، پودرهای SIC و مواد SIC با خلوص بالا ، حساس گرافیت با روکش SIC ، حلقه های پیش گرم ، حلقه انحرافی پوشش داده شده TAC ، قطعات نیمه کاره و غیره ، خلوص زیر 5ppm است ، می تواند نیازهای مشتری را برآورده کند.

نیمه هادی Vetek بر توسعه فناوری برش و راه حل های توسعه محصول برای صنعت نیمه هادی تمرکز دارد.ما صمیمانه امیدواریم که شریک بلند مدت شما در چین باشیم.