فناوری MOCVD

نیمه هادی VeTek دارای مزیت و تجربه در زمینه قطعات یدکی MOCVD Technology است.

MOCVD، نام کامل رسوب بخار شیمیایی فلز-آلی (رسوب بخار شیمیایی فلز-آلی)، را می توان اپیتاکسی فاز بخار فلز-آلی نیز نامید. ترکیبات آلی فلزی دسته ای از ترکیبات با پیوندهای فلز-کربن هستند. این ترکیبات حاوی حداقل یک پیوند شیمیایی بین یک فلز و یک اتم کربن هستند. ترکیبات آلی فلزی اغلب به عنوان پیش سازها استفاده می شوند و می توانند لایه های نازک یا نانوساختارهایی را بر روی بستر از طریق تکنیک های مختلف رسوب ایجاد کنند.

رسوب بخار شیمیایی فلز-آلی (فناوری MOCVD) یک فناوری رشد همپایه متداول است، فناوری MOCVD به طور گسترده در ساخت لیزرهای نیمه هادی و LED استفاده می شود. MOCVD به ویژه هنگام تولید ledها، یک فناوری کلیدی برای تولید نیترید گالیم (GaN) و مواد مرتبط است.

دو شکل اصلی اپیتاکسی وجود دارد: اپیتاکسی فاز مایع (LPE) و اپیتاکسی فاز بخار (VPE). اپیتاکسی فاز گاز را می توان بیشتر به رسوب بخار شیمیایی فلز-آلی (MOCVD) و اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE) تقسیم کرد.

تولید کنندگان تجهیزات خارجی عمدتاً توسط Aixtron و Veeco نمایندگی می شوند. سیستم MOCVD یکی از تجهیزات کلیدی برای تولید لیزر، ال ای دی، قطعات فوتوالکتریک، برق، دستگاه های RF و سلول های خورشیدی است.

ویژگی های اصلی قطعات یدکی فناوری MOCVD تولید شده توسط شرکت ما:

1) چگالی بالا و کپسولاسیون کامل: پایه گرافیت به طور کلی در دمای بالا و محیط کاری خورنده است، سطح باید به طور کامل پیچیده شود و پوشش باید چگالی خوبی داشته باشد تا نقش محافظتی خوبی داشته باشد.

2) مسطح بودن سطح خوب: از آنجایی که پایه گرافیتی که برای رشد تک کریستال استفاده می شود نیاز به صافی سطح بسیار بالایی دارد، پس از تهیه پوشش باید صافی اولیه پایه حفظ شود، یعنی لایه پوشش باید یکنواخت باشد.

3) استحکام پیوند خوب: اختلاف ضریب انبساط حرارتی بین پایه گرافیت و ماده پوشش را کاهش می دهد، که می تواند به طور موثر استحکام پیوند بین این دو را بهبود بخشد، و ترک به راحتی پس از تجربه گرمای با دمای بالا و پایین ممکن نیست. چرخه

4) هدایت حرارتی بالا: رشد تراشه با کیفیت بالا نیاز به پایه گرافیت برای ارائه گرمای سریع و یکنواخت دارد، بنابراین مواد پوشش باید رسانایی حرارتی بالایی داشته باشد.

5) نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی: پوشش باید بتواند به طور پایدار در دمای بالا و محیط کاری خورنده کار کند.

بستر 4 اینچی را قرار دهید
اپیتاکسی سبز-آبی برای رشد LED
در محفظه واکنش قرار دارد
تماس مستقیم با ویفر بستر 4 اینچی را قرار دهید
برای رشد فیلم Epitaxial LED UV استفاده می شود
در محفظه واکنش قرار دارد
تماس مستقیم با ویفر ماشین Veeco K868/Veeco K700
اپیتاکسی ال ای دی سفید/ اپیتاکسی ال ای دی آبی-سبز مورد استفاده در تجهیزات VEECO
برای MOCVD Epitaxy
گیرنده پوشش SiC تجهیزات Aixtron TS
اپیتاکسی عمیق فرابنفش
بستر 2 اینچی تجهیزات Veeco
اپیتاکسی LED قرمز-زرد
بستر ویفر 4 اینچی گیرنده با پوشش TaC
(گیرنده SiC Epi/UV LED) گیرنده با پوشش SiC
(ALD/Si Epi/ LED MOCVD Susceptor)