گیرنده SiC Coating Epi

Vetek Semiconductor یک تولید کننده حرفه ای در چین برای گیرنده Epi Coating SiC است.

پوشش SiC Epi Susceptor نیمه هادی VeTek از گرافیت و کاربید سیلیکون ساخته شده است. این محصول SiC Coating از گرافیت وارداتی استفاده می کند که عملکرد پایدارتر و عمر طولانی تری دارد و مورد تحسین مشتریان اروپایی و آمریکایی ما قرار گرفته است. در عین حال، غلظت گیرنده SiC Coating Epi زیر 5ppm است و یکنواختی بسیار خوبی دارد. پس از ارتقای مداوم فناوری، نیمه هادی VeTek از فرآیند جدیدی برای ایجاد تطابق مناسب بین ضریب انبساط حرارتی پوشش SiC و مواد گرافیت استفاده می کند.

پوشش SIC SIC EPI Susticor به طور خاص در محیط های درجه حرارت بالا و خورنده در تجهیزات نیمه هادی استفاده می شود. پوشش SIC SIC EPI Susticor معمولاً در تجهیزات مانند Aixstron استفاده می شود ، به خصوص در فرآیند Epitaxy ماوراء بنفش عمیق (DUV Epitaxy) ، نقش اساسی را ایفا می کند.

در فرآیند اپیتاکسی عمیق فرابنفش (DUV Epitaxy)، همراه با مقاومت عالی در دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی SiC Coating Epi Susceptor، SiC Coating Epi Susceptor معمولاً در اطراف محفظه واکنش در تجهیزات AIXTRON به عنوان یک حامل در طول فرآیند اپیتاکسی نصب می‌شود. آسیب رساندن یا آلوده کردن تجهیزات

این گیرنده اپی پوشش SiC برای اپیتاکسی عمیق ماوراء بنفش طراحی شده است. ما به شدت پوشش کاربید سیلیکون را کنترل می کنیم، فناوری لایه بافر را برای کاهش مشکلات ناشی از تفاوت در ضرایب انبساط حرارتی بین پوشش های گرافیت و کاربید سیلیکون ترکیب می کنیم، بنابراین طول عمر محصول را افزایش می دهیم. در حال حاضر محصول ما جوایز متعددی را دریافت کرده و به عنوان یکی از بهترین ها در بازار داخلی شناخته شده است.

VeTek Semiconductor به عنوان پیشرو در صنعت محصولات SiC Coating از خدمات سفارشی‌سازی محصول و قیمت رضایت‌بخش محصول پشتیبانی می‌کند و مشتاقانه منتظر مشاوره بیشتر شماست.

داده های SEM فیلم CVD SIC:

فروشگاه های دامن پوشش SIC نیمه هادی Vetek Vetek:

نمای کلی زنجیره صنعت Epitaxy تراشه نیمه هادی: