دامن روکش شده CVD

نیمه هادی Vetek یک تولید کننده حرفه ای برای دامن روکش CVD SIC در چین است.

فناوری اپیتاکسی فرابنفش عمیق تجهیزات Aixtron نقش مهمی در تولید نیمه هادی ایفا می کند. این فناوری از یک منبع نور ماوراء بنفش عمیق استفاده می کند تا مواد مختلف را از طریق رشد همپایی روی سطح ویفر رسوب دهد تا کنترل دقیق عملکرد و عملکرد ویفر را به دست آورد. فناوری اپیتاکسی فرابنفش عمیق در طیف گسترده ای از کاربردها استفاده می شود که تولید دستگاه های الکترونیکی مختلف از led گرفته تا لیزرهای نیمه هادی را پوشش می دهد.

در این فرایند ، دامن روکش شده با CVD نقش اساسی دارد. این برنامه برای پشتیبانی از ورق اپیتاکسیال و هدایت ورق اپیتاکسیال برای چرخش برای اطمینان از یکنواختی و ثبات در طول رشد اپیتاکسی طراحی شده است. با کنترل دقیق سرعت چرخش و جهت گیری حساس گرافیت ، فرآیند رشد حامل اپیتاکسیال می تواند به طور دقیق کنترل شود.

این محصول از گرافیت با کیفیت بالا و پوشش کاربید سیلیکون ساخته شده است که عملکرد عالی و عمر طولانی آن را تضمین می کند. مواد گرافیتی وارداتی، پایداری و قابلیت اطمینان محصول را تضمین می کند، به طوری که می تواند در انواع محیط های کاری عملکرد خوبی داشته باشد. از نظر پوشش، یک ماده کاربید سیلیکون کمتر از 5ppm برای اطمینان از یکنواختی و پایداری پوشش استفاده می شود. در عین حال، فرآیند جدید و ضریب انبساط حرارتی مواد گرافیت مطابقت خوبی را تشکیل می دهند، مقاومت در برابر حرارت بالا و مقاومت در برابر شوک حرارتی محصول را بهبود می بخشد، به طوری که هنوز می تواند عملکرد پایدار را در محیط دمای بالا حفظ کند.

خواص فیزیکی پایه دامن با پوشش سی سی سی سی وی دی:

Vetek نیمه هادی CVD SIC محصولات دامن پوشیده از محصولات:

نمای کلی زنجیره صنعت Epitaxy تراشه نیمه هادی: