حلقه کوارتز نیمه هادی

نقش حلقه کوارتز نیمه هادی Vetek در فرآیند اچینگ

رافرآیند اچینگ نیمه هادیبخش مهمی از فرآیند تولید است که با حذف مناطق خاصی از ویفر، الگوهای مدار پیچیده ای را تشکیل می دهد. این فرآیند به موادی نیاز دارد که بتوانند در شرایط سخت مقاومت کنند و عملکرد پایدار را در طول عملیات طولانی مدت حفظ کنند. حلقه‌های کوارتز ذوب شده VeTek به گونه‌ای بهینه شده‌اند که به طور کامل چنین الزامات با دقت بالایی را برآورده کنند و از کارایی و قابلیت اطمینان اطمینان حاصل کنند.فرآیند اچینگ.

مزایای اصلی حلقه کوارتز ذوب شده نیمه هادی VeTek

1. خلوص بی نظیر

حلقه های کوارتز ذوب شده VeTeksemi دارای SiO هستند₂خلوص حداکثر 99.995 ٪ تا 99.999 ٪. این سطح خلوص بالا به طور موثری خطر آلودگی فرآیند را کاهش می دهد و از کیفیت بالا و قوام نتایج اچینگ اطمینان می دهد. در تولید نیمه هادی ، حتی ناخالصی های بسیار کوچک ممکن است بر عملکرد نهایی دستگاه تأثیر بگذارد ، بنابراین خلوص بالا برای بهبود کیفیت محصول بسیار مهم است.

2. پایداری حرارتی عالی

حلقه های کوارتز ذوب شده قادر به حفظ ثبات عالی در شرایط دمای شدید ، با دمای عملیاتی تا 1250 درجه سانتیگراد و دمای نرم کننده تا 1730 درجه سانتیگراد هستند. این به آنها اجازه می دهد تا یکپارچگی ساختاری را حفظ کرده و از تخریب عملکرد در محیط های اچ با دمای بالا جلوگیری کنند.

3.ضریب انبساط بسیار پایین

ضریب کم انبساط حرارتی حلقه کوارتز به آن مقاومت شدیدی در برابر شوک حرارتی می دهد. حتی با تغییر سریع درجه حرارت در طی فرآیند اچینگ ، حلقه کوارتز هنوز هم می تواند پایداری را حفظ کند و به دلیل استرس حرارتی مستعد ترک خوردگی یا آسیب نیست.

4. مقاومت شیمیایی عالی

حلقه های کوارتز ذوب شده VeTek دارای مقاومت اسیدی و قلیایی قوی هستند و می توانند در برابر واکنشگرهای شیمیایی مختلف مورد استفاده در فرآیند اچ مقاومت کنند. این ویژگی عملکرد پایدار طولانی مدت در محیط های شیمیایی پیچیده را تضمین می کند و عمر مفید آن را افزایش می دهد.

5. بدون میکرو حباب و محتوای هیدروکسیل کم

حلقه های کوارتز نیمه هادی VeTeksemi به شدت محتویات میکروحباب و هیدروکسیل را کنترل می کنند تا از پایداری و قابلیت اطمینان آن در فرآیندهای حکاکی با دقت بالا اطمینان حاصل کنند. وجود میکروحباب‌های بیش از حد و محتوای هیدروکسیل ممکن است باعث ایجاد نقص در فرآیند شده و بر عملکرد دستگاه نهایی تأثیر بگذارد.

6. هدایت حرارتی کم و خواص دی الکتریک عالی

حلقه های کوارتز ذوب شده رسانایی حرارتی و ثابت دی الکتریک بسیار پایینی دارند و مماس تلفات آنها نزدیک به کمترین مقدار در بین تمام مواد شناخته شده است. هدایت حرارتی پایین به طور موثر خطر گرم شدن بیش از حد ویفر را کاهش می دهد، در حالی که خواص دی الکتریک عالی عایق الکتریکی خوب را تضمین می کند، تداخل الکتریکی را کاهش می دهد و در نتیجه کارایی کلی فرآیند اچ را بهبود می بخشد.

از طریق این ویژگی‌ها، حلقه‌های کوارتز ذوب شده VeTeksemi راه‌حلی پایدار و قابل اعتماد در تولید نیمه‌هادی ارائه می‌کنند و به پیشرفت روان فرآیندهای اچینگ با دقت بالا کمک می‌کنند.

به عنوان یک تولید کننده و تأمین کننده محصولات کوارتز نیمه هادی پیشرفته ، Veteksemi انواع محصولات کوارتز مانندمخزن کوارتز نیمه هادی, قایق ویفر کوارتز, کورتز کوارتز نیمه هادیوتکوارتز ذوب شده. نیمه هادی VeTek متعهد به ارائه فناوری های پیشرفته و قابل تنظیم و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است. ما صمیمانه امیدواریم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.