کوارتز بل نیمه هادی

دانه هانیمه هادیکوارتز بلچندین نقش اصلی را در پردازش نیمه هادی ایفا می کند. در سیستم وکیوم بل جارنه تنها یک محیط واکنش پایدار و کنترل شده را فراهم می کند ، بلکه بهره وری و دقت فرآیندهای مختلف را از طریق پایداری حرارتی عالی ، عدم تحرک شیمیایی و شفافیت نوری نیز تضمین می کند. این خصوصیات همچنین این را تعیین می کندمحفظه خلایک محصول جزء ضروری در فرآیند تولید نیمه هادی است.

دانه هاکوارتز نیمه هادی یک محیط پردازش مهر و موم شده ایجاد می کند که گازهای فرآیند را قادر می سازد تا به طور مساوی توزیع شوند و تحت شرایط کنترل شده با سطح ویفر واکنش دهند. بنابراین،کورتز کوارتز نیمه هادیمعمولاً در فرآیندهایی مانند CVD، انتشار و اکسیداسیون برای کنترل دقیق ترکیب و فشار اتمسفر استفاده می شود و در نتیجه از یکنواختی فیلم و خلوص مواد اطمینان حاصل می شود.

در عین حال، مواد کوارتز دارای پایداری حرارتی عالی، مقاومت در برابر دمای بالا (محیط دمای بالا در پردازش نیمه هادی معمولاً تا 1000 درجه سانتیگراد یا بیشتر است) و ویژگی های محصول حفظ شکل و اندازه پایدار در طول گرمایش و سرمایش است. این مشخص می کند کهکوارتز بلمی تواند یکنواختی دمای سطح ویفر را در محیط دمای بالا انتشار و اکسیداسیون به طور کامل تضمین کند و از این طریق کیفیت و یکنواختی لایه رسوب شده یا پراکنده را بهبود بخشد.

مهمتر از همه ،کوارتز خلوص بالا وتک واکنش با گازهای فرآیند در محیط های درجه حرارت بالا آسان نیست و مقاومت در برابر خوردگی قوی دارد. این ویژگی محصول تعیین می کند که در فرآیندهای با استفاده از گازهای خورنده (مانند برخی از فرآیند CVD) ،کورتز کوارتز نیمه هادیمی تواند پایداری شیمیایی را به طور کامل حفظ کند ، در نتیجه از آلودگی دستگاه های نیمه هادی جلوگیری می کند.

نیمه هادی VeTekکوارتز بل:

نمای کلی زنجیره صنعت Epitaxy تراشه نیمه هادی: