حامل ویفر ماهواره Aixstron

حامل ویفر ماهواره ای Aixstron بخشی جدایی ناپذیر از تجهیزات Aixstron MOCVD است که مخصوصاً برای حمل ویفرها برای رشد اپیتاکسیال استفاده می شود. این به ویژه برایرشدفرآیند دستگاههای کاربید گان و سیلیکون (SIC). طراحی منحصر به فرد "ماهواره ای" آن نه تنها یکنواختی جریان گاز را تضمین می کند ، بلکه یکنواختی رسوب فیلم را نیز در سطح ویفر بهبود می بخشد.

Aixstron'sحامل های ویفرمعمولاً از ساخته شده اندکاربید سیلیکون (SIC)یا گرافیت با پوشش CVD. در میان آنها ، کاربید سیلیکون (SIC) دارای هدایت حرارتی عالی ، مقاومت در برابر دمای بالا و ضریب انبساط حرارتی کم است. گرافیت روکش شده با CVD گرافیت با یک فیلم کاربید سیلیکون از طریق یک فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD) پوشش داده شده است ، که می تواند مقاومت در برابر خوردگی و مقاومت مکانیکی آن را تقویت کند. مواد گرافیتی SIC و روکش شده می توانند در برابر دمای تا 1400 درجه سانتیگراد -1،600 درجه سانتیگراد مقاومت کنند و از پایداری حرارتی عالی در دماهای بالا برخوردار باشند ، که برای فرآیند رشد اپیتاکسیال بسیار مهم است.

حامل ویفر ماهواره Aixstron عمدتا برای حمل و چرخش ویفرها درفرآیند MOCVDبرای اطمینان از جریان گاز یکنواخت و رسوب یکنواخت در طول رشد اپیتاکسیال.توابع خاص به شرح زیر است:

● چرخش ویفر و رسوب یکنواخت: از طریق چرخش حامل ماهواره ای Aixstron ، ویفر می تواند حرکت پایدار را در طول رشد اپیتاکسی حفظ کند و به گاز اجازه می دهد تا به طور مساوی از سطح ویفر جریان یابد تا از رسوب یکنواخت مواد اطمینان حاصل شود.

● تحمل درجه حرارت بالا و ثبات: کاربید سیلیکون یا مواد گرافیتی روکش شده می توانند در برابر دمای تا 1400 درجه سانتیگراد -1،600 درجه سانتیگراد مقاومت کنند. این ویژگی تضمین می کند که ویفر در طول رشد اپیتاکسیال با دمای بالا تغییر شکل نخواهد داد ، در حالی که از گسترش حرارتی خود حامل از تأثیرگذاری بر فرآیند اپیتاکسیال جلوگیری می کند.

● تولید ذرات کاهش یافته: مواد حامل با کیفیت بالا (مانند SIC) دارای سطوح صاف هستند که تولید ذرات را در حین رسوب بخار کاهش می دهند ، در نتیجه احتمال آلودگی را به حداقل می رساند ، که برای تولید مواد نیمه هادی با کیفیت بالا و با کیفیت بالا بسیار مهم است.

حامل ویفر ماهواره ای Aixstron Veteksemicon در اندازه های 100 میلی متر ، 150 میلی متر ، 200 میلی متر و حتی ویفر بزرگتر در دسترس است و می تواند بر اساس تجهیزات و نیازهای فرآیند شما خدمات محصول سفارشی را ارائه دهد. ما صمیمانه امیدواریم که شریک بلند مدت شما در چین باشیم.

داده های SEM ساختار کریستالی فیلم CVD SIC：

فروشگاه های تولیدی ویفر ماهواره ای Aixstron: