CVD SIC پوشش اپیتاکس حساس

CVD SIC CVD CVD CVD SIC SISPITOR یک ابزار مهندسی دقیق است که برای پردازش ویفر نیمه هادی طراحی شده است. این SIC SIC Epitaxy Sustonor نقش مهمی در ترویج رشد فیلم های نازک ، اپیلارها و سایر پوشش ها دارد و دقیقاً می تواند دما و خصوصیات مواد را کنترل کند. از سوالات بیشتر خود استقبال کنید.

پایهخصوصیات فیزیکی پوشش CVD SIC:

CVD SIC Coating Epitaxy Sustensor مزایای محصول:

● رسوب دقیق: Sustence یک بستر گرافیتی بسیار رسانا با یک پوشش SIC ترکیب می کند تا یک بستر پشتیبانی پایدار برای بسترها (مانند یاقوت کبود ، SIC یا GAN) فراهم کند. هدایت حرارتی بالا آن (مانند SIC حدود 120 W/m · K است) می تواند به سرعت گرما را منتقل کرده و توزیع دمای یکنواخت را در سطح بستر تضمین کند ، از این طریق رشد با کیفیت بالا لایه اپی کلیسا را ​​ارتقا می بخشد.

● کاهش آلودگی: پوشش SIC تهیه شده توسط فرآیند CVD دارای خلوص بسیار بالایی (محتوای ناخالصی <5 ppm) است و در برابر گازهای خورنده (مانند CL₂ ، NH₃) بسیار مقاوم است و از آلودگی لایه اپیتاکسیال جلوگیری می کند.

● دوام: سختی زیاد SIC (سختی MOHS 9.5) و مقاومت در برابر سایش باعث از بین رفتن مکانیکی پایه در هنگام استفاده مکرر می شود و برای فرآیندهای تولید نیمه هادی با فرکانس بالا مناسب است.

Veteksemicon متعهد به ارائه محصولات با کیفیت بالا و قیمت های رقابتی است. ما مشتاقانه منتظر شریک زندگی بلند مدت شما در چین هستیم.

آن نیمه هادی است مغازه های محصول: