حلقه راهنمای گرافیتی پوشش داده شده TAC

حلقه راهنمای گرافیتی پوشش داده شده TAC (Tantalum) یک مؤلفه مهم است که در ساخت نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد ، به طور خاص در فرآیندهای مانند رسوب اپی کلیسای و اچ پلاسما. این حلقه ها به گونه ای طراحی شده اند که ویفرهای سیلیکونی را به طور ایمن نگه داشته و موقعیت کنند و از تراز دقیق و ثبات در محیط های شیمیایی با درجه حرارت بالا و سخت اطمینان حاصل کنند. حلقه های راهنمای ما برای برآورده کردن خواسته های دقیق ساخت نیمه هادی مدرن ساخته شده و به بهبود بازده فرآیند و کیفیت ویفر کمک می کند.

ترکیب مواد و خصوصیات فیزیکی

هسته اصلی حلقه راهنمای گرافیت پوشش داده شده ما ، یک حلقه گرافیت با خلوص بالا است که سپس با یک لایه از کاربید Tantalum (TAC) پوشش داده می شود.

بستر گرافیت:

گرافیت چندین مزیت کلیدی را ارائه می دهد. این امر از ثبات حرارتی بسیار خوبی برخوردار است و در دمای بالا که در پردازش نیمه هادی مشترک است ، در برابر تغییر شکل مقاومت می کند. ماهیت سبک وزن آن جرم حرارتی را به حداقل می رساند و امکان چرخه سریع گرمایش و سرمایش را فراهم می آورد. گرافیت با خلوص بالا همچنین از آلودگی محفظه فرآیند جلوگیری می کند.

پوشش CVD TAC:

پوشش کاربید Tantalum کلید عملکرد برتر حلقه است. TAC یک ماده سرامیکی بسیار سخت است و مقاومت در برابر سایش استثنایی و عدم تحرک شیمیایی را ارائه می دهد. این گرافیت زیرین را در برابر گازهای تهاجمی پلاسما و خورنده محافظت می کند ، و طول عمر حلقه را به طور قابل توجهی گسترش می دهد. این پوشش همچنین از ریختن ذرات جلوگیری می کند ، که برای حفظ محیط فرآیند تمیز و جلوگیری از نقص در سطح ویفر بسیار مهم است.

نقش حلقه های راهنما در پردازش ویفر

حلقه راهنمای پوشش داده شده TAC ما نقش مهمی در تضمین کیفیت و کارآیی ساخت نیمه هادی دارد.

● تراز ویفر و ثبات: در حین رشد یا اچینگ اپیتاکسیال ، حلقه راهنما ویفر را در موقعیتی دقیق نگه می دارد. این مانع از تغییر ویفر می شود ، که برای رسوب لایه یکنواخت و انتقال الگوی دقیق در کل سطح ویفر ضروری است.

management مدیریت حرارتی: خصوصیات حرارتی پوشش کاربید گرافیت و تانتالوم ، توزیع و مدیریت گرمای کارآمد را امکان پذیر می کند. این برای حفظ مشخصات دمای یکنواخت در سراسر ویفر بسیار مهم است ، که برای ضخامت مداوم فیلم و خصوصیات مواد ضروری است.

control کنترل آلودگی: مواد با خلوص بالا و پوشش TAC با دوام ، تولید ذرات و پیشینه را به حداقل می رساند. این خطر آلودگی ویفر و نقص را کاهش می دهد و منجر به عملکرد و قابلیت اطمینان بیشتر دستگاه می شود.

l طول عمر مؤلفه گسترده: پوشش کاربید قوی تانتالوم مقاومت بسیار خوبی در برابر فرسایش پلاسما و حمله شیمیایی ایجاد می کند. این امر عمر عملیاتی حلقه راهنما را افزایش می دهد ، باعث کاهش خرابی و کاهش هزینه کل مالکیت می شود.